【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺，其特征在于：它包括不带释放孔的压电圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，驱动电极，平衡电极，隔离电极以及检测电极，其中：所述圆盘振子通过所述圆柱形的支撑柱固定在基板上，且所述圆盘振子垂直于所述基板的z轴；所述驱动电极、所述平衡电极和所述隔离电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述驱动电极、所述平衡电极和所述隔离电极按照两个平衡电极、一个隔离电极、两个驱动电极、一个隔离电极、两个平衡电极的排列顺序交叉循环分布；所述检测电极分布于所述圆盘振子上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张卫平，成宇翔，张弓，许仲兴，唐健，陈文元，汪濙海，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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