全铝型静电驱动微镜及其制备方法技术

技术编号:9223046 阅读:183 留言:0更新日期:2013-10-04 17:11
本发明专利技术提供了一种全铝型静电驱动微镜,包括:微镜、支柱、下电极,其连接方式为:最上层为微镜,中间为支柱,下层为下电极,微镜与下电极通过支柱连接和支撑;微镜、支柱、下电极均采用全铝结构,微镜兼做反射镜和上电极,堆积层少。本发明专利技术结构、工艺简单,易于实现,成本低廉,完全静电驱动,可以实现连续角度偏转,应用广泛,方便推广;另外本发明专利技术的全铝镜面提高镜面反射面积效率,不但可以用于扫描,还可以用于显影与光通信。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种全铝型静电驱动微镜,其特征在于,包括微镜部、支柱和下电极,其中:最上层为微镜部,中间为支柱,下层为下电极,微镜部兼做反射镜与上电极,微镜部与下电极通过支柱连接和支撑,微镜部、下电极和支柱三层均为铝结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李以贵李新鹏
申请(专利权)人:上海交通大学
类型:发明
国别省市:

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