【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种全铝型静电驱动微镜,其特征在于,包括微镜部、支柱和下电极,其中:最上层为微镜部,中间为支柱,下层为下电极,微镜部兼做反射镜与上电极,微镜部与下电极通过支柱连接和支撑,微镜部、下电极和支柱三层均为铝结构。
【技术特征摘要】
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