静电梳齿谐振器制造技术

技术编号:9173292 阅读:176 留言:0更新日期:2013-09-19 22:45
本发明专利技术涉及一种静电梳齿谐振器,包括上下锚点、第一叉指电容、第二叉指电容、第三叉指电容、第四叉指电容、上下弹性梁、振子质量块和左右锚点,振子质量块包括左部质量块和右部质量块;其特征是:所述左部质量块左侧的中部向左部质量块右侧凹进形成左部槽体,右部质量块右侧的中部向右部质量块左侧凹进形成右部槽体;在所述左部质量块的上部和下部的左侧面上设有第一叉齿电容,在右部质量块的上部和下部的右侧面上设有第二叉指电容;在所述左锚点上设有第三叉指电容,在右锚点上设有第四叉电容;所述第一叉指电容与第三叉指电容等距离交叉配置,第二叉指电容与第四叉指电容等距离交叉配置。本发明专利技术避免了质量块翘起从而影响谐振器正常工作的隐患,从而避免了制造过程中质量块翘起从而影响谐振器正常工作的隐患。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种静电梳齿谐振器,包括基底(7)及基底(7)上的结构层,结构层包括上锚点(1?1)、下锚点(1?2)、第一叉指电容(2?1)、第二叉指电容(2?2)、第三叉指电容(2?3)、第四叉指电容(2?4)、上弹性梁(3?1)、下弹性梁(3?2)、振子质量块、左锚点(6?1)和右锚点(6?2);所述振子质量块包括左部质量块(4?1)和右部质量块(4?2),左部质量块(4?1)和右部质量块(4?2)由连接梁(5)连接;所述上弹性梁(3?1)和下弹性梁(3?2)分别包括多条折梁,上弹性梁(3?1)的折梁分别连接上锚点(1?1)和振子质量块,下弹性梁(3?2)的折梁分别连接下锚点(1?2)和振子质量块;其特征是:所述左部质量块(4?1)左侧的中部向左部质量块(4?1)右侧凹进形成左部槽体(4?11),左部槽体(4?11)将左部质量块(4?1)分隔形成上下两部分;所述右部质量块(4?2)右侧的中部向右部质量块(4?2)左侧凹进形成右部槽体(4?21),右部槽体(4?21)将右部质量块分隔形成上下两部分;在所述左部质量块(4?1)的上部和下部的左侧面上设有梳齿状排列的第一叉齿电容(2?1),在右部质量块(4?2)的上部和下部的右侧面上设有梳齿状排列的第二叉指电容(2?2);在所述左锚点(6?1)靠近左部质量块(4?1)的侧面上设有梳齿状排列的第三叉指电容(2?3),在右锚点(6?2)靠近右部质量块(4?2)的侧面上设有梳齿状排列的第四叉电容(2?4);所述第一叉指电容(2?1)位于两个第三叉指电容(2?3)的空隙之间,且第一叉指电容(2?1)与第三叉指电容(2?3)呈等距离的交叉配置;所述第二叉指电容(2?2)位于两个第四叉指电容(2?4)的空隙之间,且第二叉指电容(2?2)与第四叉指电容(2?4)呈等距离的交叉配置。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:薛惠琼王玮冰田龙坤
申请(专利权)人:江苏物联网研究发展中心
类型:发明
国别省市:

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