【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种静电梳齿谐振器,包括基底(7)及基底(7)上的结构层,结构层包括上锚点(1?1)、下锚点(1?2)、第一叉指电容(2?1)、第二叉指电容(2?2)、第三叉指电容(2?3)、第四叉指电容(2?4)、上弹性梁(3?1)、下弹性梁(3?2)、振子质量块、左锚点(6?1)和右锚点(6?2);所述振子质量块包括左部质量块(4?1)和右部质量块(4?2),左部质量块(4?1)和右部质量块(4?2)由连接梁(5)连接;所述上弹性梁(3?1)和下弹性梁(3?2)分别包括多条折梁,上弹性梁(3?1)的折梁分别连接上锚点(1?1)和振子质量块,下弹性梁(3?2)的折梁分别连接下锚点(1?2)和振子质量块;其特征是:所述左部质量块(4?1)左侧的中部向左部质量块(4?1)右侧凹进形成左部槽体(4?11),左部槽体(4?11)将左部质量块(4?1)分隔形成上下两部分;所述右部质量块(4?2)右侧的中部向右部质量块(4?2)左侧凹进形成右部槽体(4?21),右部槽体(4?21)将右部质量块分隔形成上下两部分;在所述左部质量块(4?1)的上部和下部的左侧面上设有梳齿状排列的第一叉齿电容(2?1),在右部质量块 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:薛惠琼,王玮冰,田龙坤,
申请(专利权)人:江苏物联网研究发展中心,
类型:发明
国别省市:
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