铝衬垫形成方法技术

技术编号：9114353 阅读：153 留言：0更新日期：2013-09-05 03:32

本发明专利技术揭示了一种铝衬垫形成方法，包括将铝衬垫分至少两次沉积，其中，第一次沉积的温度低于第二次沉积的温度。本发明专利技术的铝衬垫形成方法，第一次沉积在低温下生长薄的第一铝层，第二铝层在高温下生长，由于所述第一铝层生长的环境温度低，所以，所述第一铝层晶粒较小，表面平整，表面介质层也得到了有效的控制；在所述第二铝层高温环境下生长时，由于有了冷却缓冲时间，晶圆表面温度会下降，而且所述第一铝层介质表面平整，从而容易释放应力，减少了须状缺陷，使得在后续的金属线图形形成过程中容易被蚀刻掉，从而避免或减少铝衬垫的缺陷，以提高产品的良率。