加速度传感器制造技术

技术编号:9089118 阅读:165 留言:0更新日期:2013-08-29 02:25
本发明专利技术提供一种即便在气氛温度发生了变化时加速度检测精度也难以下降、且制造容易的加速度传感器。压电基板(11)包括被极化的中央部(11A)、第1端部(11B)和第2端部(11C)。第1电极(12a)在压电基板11的第1主面(11a)之上被形成为从第1端部(11B)至第2端部(11C)。第2电极(13a)在压电基板11的内部被形成为遍及第2端部(11C)和中央部(11A)。第2电极(13a)在中央部(11A)于厚度方向和第1电极(12a)对置。支承部件(30)夹持第2端部(11C)。压电基板(11)被构成为第2端部(11C)中的第1电极(12a)与第2电极(13a)之间的距离变得大于中央部(11A)中的第1电极(12a)与第2电极(13a)之间的距离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:洼木孝昌
申请(专利权)人:株式会社村田制作所
类型:
国别省市:

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