一种洁净室开孔辅助治具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种洁净室开孔辅助治具，用于辅助开孔器在无尘室中对需开孔件进行无污染的开孔，该开孔器具有本体、设置在本体底端部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口。现有技术中直接使用开孔器在洁净室中开孔时易造成粉尘污染。本实用新型专利技术的洁净室开孔辅助治具具有与该缺口形状相匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道，在使用该开孔器开孔时通过该抽风装置抽风以确保该封闭空间为负压。采用本实用新型专利技术可避免在洁净室开孔时产生粉尘污染。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及开孔治具，尤其涉及一种洁净室开孔辅助治具。技术背景确保洁净室的洁净度是确保半导体制造行业较高成品率的最基本和最重要 的因素，故尽量避免在洁净室中进行可能引起洁净度降低的施工作业，现通常 将需进行维修或改装的设备移出洁净间进行维修或改装，但是在设备体积过大 时将设备移出洁净间进行维修或改装并不可行，此时只能在洁净室内进行维修 或改装作业。在进行上述维修或改装作业时，需使用开孔器在设备上进行开孔以形成连 接孔或维修窗口，开孔时所产生的碎屑会在洁净室中产生粉尘污染，从而造成 严重的经济损失。因此，如何提供一种洁净室开孔辅助治具以避免在洁净室中开孔时产生粉 尘污染，已成为业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种洁净室开孔辅助治具，通过所述治具可避 免在洁净室开孔时产生粉尘污染。本技术的目的是这样实现的 一种洁净室开孔辅助治具，设置在一开 孔器上，该开孔器具有本体、设置在本体底部中央的开孔刀具、用于支撑本体 及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件 上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口，该治具具有与该缺口形状相 匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体 上具有一供抽风装置连接的连接通道。在上述的洁净室开孔辅助治具中，该缺口为弧面缺口，相应地该罩体为弧面板。在上述的洁净室开孔辅助治具中，该抽风装置具有一抽风管，该抽风管连 接在该连接通道上。在上述的洁净室开孔辅助治具中，该连接通道为一与抽风管直径相匹配的通孔。在上述的洁净室开孔辅助治具中，该连接通道为一与抽风管直径相匹配的凸管。在上述的洁净室开孔辅助治具中，该抽风装置为一吸尘器。与现有技术中直接使用开孔器在洁净室开孔易造成粉尘污染相比，本实用 新型的洁净室开孔辅助治具具有 一形状恰与开孔器支架底部的缺口相匹配的罩 体，当将罩体罩设在该缺口上时该罩体与支架和本体形成封闭空间，在洁净室 中开孔时通过与封闭空间相连的抽风设备抽风从而确保封闭空间为负压，如此 开孔所产生的碎屑就会被抽风装置所抽走，从而可避免了由此产生的粉尘污染。附图说明本技术的洁净室开孔辅助治具由以下的实施例及附图给出。图1为开孔器的组成结构示意图；图2为本技术的洁净室开孔辅助治具的组成结构示意图； 图3为通过本技术的洁净室开孔辅助治具辅助开孔器开孔时的安装结 构示意图。具体实施方式以下将对本技术的洁净室开孔辅助治具作进一步的详细描述。 参见图1至图3,本技术的洁净室开孔辅助治具2,用于辅助开孔器1 在无尘室中对需开孔件(未图示)进行无污染的开孔，如图1所示，开孔器1 具有本体10、设置在本体IO底部中央的开孔刀具11和用于支撑本体IO及开孔 刀具11的支架12,所述支架12底部具有一缺口 120。开孔器1还在本体10上 设置有电源、驱动开孔刀具11沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块和用于调整开孔刀具11进刀深浅(即支架12将本体10支撑起的高度)的 调整模块，为筒化图示及说明，所述电源、驱动控制模块和所述调整模块并未 在图1至图3中进行图示。在本实施例中，所述需开孔件为洁净室中的设备，其需开孔部位为聚丙烯 塑料，在本技术的其他实施例中，需开孔件的需开孔部位也可为钢板或合 金板等。继续参见图1至图3，本技术的洁净室开孔辅助治具2具有与所述缺口 120形状相匹配的罩体20,所述罩体20设置在缺口 120处时恰与支架12和本 体10组成封闭空间(未图示)，所述罩体20上具有供抽风装置3连接的连接 通道200,其中，所述抽风装置3具有抽风管30，所述抽风管30连接在所述连 接通道200上，所述连接通道200可实施为与抽风管30直径相匹配的通孔或凸 管。在本实施例中，所述缺口 120为弧面缺口，相应地所述罩体20为弧面^1， 所述连接通道200为凸管，所述抽风装置3为吸尘器。参见图3，在使用开孔器l在需开孔件上开孔时，首先将本技术的洁净 室开孔辅助治具2的罩体20罩设在缺口 120上，此时，罩体20与本体i0和支 架12围成一封闭空间，然后将抽风装置3的抽风管30连接在连接通道200上， 随后开启抽风装置3驱使封闭空间为负压，此时，即可开启开孔器1在需开孔 件上开孔，开孔时所产生的粉尘即被抽风装置3直接抽走，从而避免了在洁净 室产生粉尘污染。综上所述，本技术的洁净室开孔辅助治具具有一形状恰与开孔器支架 底部的缺口相匹配的罩体，当将罩体罩设在所述缺口上时所述罩体与支架和本 体形成封闭空间，在使用开孔器进行开孔时通过与封闭空间相连的抽风设备抽 风从而确保封闭空间为负压，如此开孔所产生的碎屑就会被抽风装置所抽走， 从而可避免了粉尘污染。权利要求1、一种洁净室开孔辅助治具，设置在一开孔器上，该开孔器具有本体、设置在本体底部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口，其特征在于，该治具具有与该缺口形状相匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道。2、 如权利要求1所述的洁净室开孔辅助治具，其特征在于，该缺口为弧面 缺口，相应地该罩体为弧面板。3、 如权利要求1所述的洁净室开孔辅助治具，其特征在于，该抽风装置具 有一抽风管，该抽风管连接在该连接通道上。4、 如权利要求3所述的洁净室开孔辅助治具，其特征在于，该连接通道为 一与抽风管直径相匹配的通孔。5、 如权利要求3所述的洁净室开孔辅助治具，其特征在于，该连接通道为 一与抽风管直径相匹配的凸管。6、 如权利要求1所述的洁净室开孔辅助治具，其特征在于，该抽风装置为 一吸尘器。专利摘要本技术提供了一种洁净室开孔辅助治具，用于辅助开孔器在无尘室中对需开孔件进行无污染的开孔，该开孔器具有本体、设置在本体底端部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口。现有技术中直接使用开孔器在洁净室中开孔时易造成粉尘污染。本技术的洁净室开孔辅助治具具有与该缺口形状相匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道，在使用该开孔器开孔时通过该抽风装置抽风以确保该封闭空间为负压。采用本技术可避免在洁净室开孔时产生粉尘污染。文档编号B23B47/34GK201115877SQ200720074479公开日2008年9月17日 申请日期2007年9月7日 优先权日2007年9月7日专利技术者周树国 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种洁净室开孔辅助治具，设置在一开孔器上，该开孔器具有本体、设置在本体底部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口，其特征在于，该治具具有与该缺口形状相匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周树国，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]