化学品供应系统用强制抽风排气储气罐技术方案

技术编号:9020863 阅读:169 留言:0更新日期:2013-08-09 03:04
本实用新型专利技术涉及化学品供应技术领域,具体地说是一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐,包括气罐本体(1),所述气罐本体(1)顶部设有排气口(2),所述排气口(2)连接强制抽风管道,所述气罐本体(1)侧面设有进气口(3),所述进气口(3)处设有内置式限流孔板(4),所述气罐本体(1)底部设有排污口(5);本实用新型专利技术同现有技术相比,结构新颖、简单,不仅通过管道中气体流速的加速以及湿气在气罐本体内的有效累积,实现了消除化学品管道中排出气体中的有害湿气,而且气罐本体内积液能够自动排放,以及对气管内补气以实现气压平衡,避免了气罐本体内形成负压从而导致排污过程无法正常进行的情况发生,且成本较低,占地空间较小。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

化学品供应系统用强制抽风排气储气罐本技术涉及化学品供应
,具体地说是一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐。在集成电路及半导体制造领域的高纯度化学品供应系统中,由于大部分的输送化学品都具有较高的挥发性,因此,在通过液气分离器处理后排出的气体中一般都含有较多的化学品液体分子,这样的气体在未经处理后直接进入废气排风管道后,将会对废气排风管道产生较大的危害,主要体现在对废气排风管道的腐蚀,以及化学品液体在管道内的累积,为避免这样的情况,需要采用储气罐装置以达到消除管道中有害湿气的目的。目前,对于排风系统中的湿气处理,大多都是使用气体加热系统或者高效率吸附式干燥器对高湿度气体进行处理,但是由于化学品管道中排出的气体具有较高的腐蚀性,因此,以上两类除湿设备并不适合所有应用在化学品管道中的湿气去除。本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐,为实现上述目的设计一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐,包括气罐本体1,所述气罐本体I顶部设有排气口 2,所述排气口 2连接强制抽风管道,所述气罐本体I侧面设有进气口 3,所述进气口 3处设有内置式限流孔板4,所述气罐本体I底部设有排污口5。所述气罐本体I外 侧布置有液位管6,所述液位管6处设有液位传感器,所述排污口 5处设有气动阀门,所述液位传感器通过PLC连接气动阀门。所述气罐本体I侧面布置有平衡补气口 7,所述平衡补气口 7处设有内置式限流孔板二 8。所述气罐本体I的进气口 3处设有单向阀9。所述气罐本体I采用聚丙烯材料制成。本技术同现有技术相比,结构新颖、简单,通过在气罐本体侧面的进气口处使用内置式限流孔板,从而实现了管道中气体流速的加速以及湿气在气罐本体内的有效累积,最终能够消除化学品管道中排出气体中的有害湿气;利用气罐本体外侧液位管处的液位传感器对气罐本体中的积液量进行监控,并通过PLC使其与排污口处的气动阀门互动,实现了气罐本体内积液的自动排放;另外,气罐本体侧面所设置的平衡补气口,则用于对气管内补气以实现气压平衡,避免了气罐本体内形成负压从而导致排污过程无法正常进行的情况发生;此外,本技术所述的强制抽风排气储气罐,不仅成本较低,具有较好的经济性,而且占地空间较小,安装和使用非常灵活、方便。[附图说明]图1是本技术的结构示意图一;图2是本技术的结构示意图二 ;图3是本技术的应用原理示意图;图中:1、气罐本体2、排气口 3、进气口 4、内置式限流孔板5、排污口 6、液位管7、平衡补气口 8、内置式限流孔板二 9、单向阀。以下结合附图对本技术作以下进一步说明:如附图所示,本技术包括:气罐本体I,气罐本体顶部设有排气口 2,排气口连接强制抽风管道,气罐本体侧面设有进气口 3,进气口处设有内置式限流孔板4,气罐本体底部设有排污口 5,排污口处设有排污控制阀门,并根据使用量将排污控制阀门设置为气动阀门或手动阀门。 本技术的基本原理为,通过管道微孔结构将管道中气体流速加速,使得气体中的化学品液体分子进行聚拢,从而达到湿气处理的效果。为实现上述原理,本技术首先使用具有一定耐腐蚀作用的聚丙烯PP为材料制作气罐本体,将气罐本体顶部的排气口连接强制抽风管道,气罐本体底部的排污口连接废气化学品排放管道,气罐本体侧面布置的进气口使用限流孔板实现管道中气体流速加速以及湿气在气罐本体中有效累积,进气口的半径为5mm ;在气罐本体外侧布置液位管6,并布置液位传感器对气罐本体中的积液量进行监控,通过PLC使其与排污口处的气动阀门互动,实现气罐本体内积液的自动排放,同时兼具气罐本体进气口停止进气的报警功能;另夕卜,为了避免气罐本体内形成负压,导致排污过程无法正常进行,气罐本体侧面还将额外设置另外一个进气口,即平衡补气口 7,平衡补气口的半径为8mm,用于对气管内进行补气以实现气压平衡,该平衡补气口处还设有内置式限流孔板二 8 ;为了避免管道系统液体出现倒灌的现象,气罐本体的进气口处将布置有可调压的单向阀9。本技术并不受上述实施方式的限制,其他的任何未背离本技术的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐,其特征在于:包括气罐本体(I),所述气罐本体(I)顶部设有排气口(2),所述排气口(2)连接强制抽风管道,所述气罐本体(I)侧面设有进气口( 3 ),所述进气口( 3 )处设有内置式限流孔板(4 ),所述气罐本体(I)底部设有排污口(5)。2.如权利要求1所述的强制抽风排气储气罐,其特征在于:所述气罐本体(I)外侧布置有液位管(6),所述液位管(6)处设有液位传感器,所述排污口(5)处设有气动阀门,所述液位传感器通过PLC连接气动阀门。3.如权利要求1或2所述的强制抽风排气储气罐,其特征在于:所述气罐本体(I)侧面布置有平衡补气口( 7 ),所述平衡补气口( 7 )处设有内置式限流孔板二( 8 )。4.如权利要求3所述的强制抽风排气储气罐,其特征在于:所述气罐本体(I)的进气口(3)处设有单向阀(9)。5.如权利要求4所述的强制抽风排气储气罐,其特征在于:所述气罐本体(I)采用聚丙烯材料制成。 ·专利摘要本技术涉及化学品供应
,具体地说是一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐,包括气罐本体(1),所述气罐本体(1)顶部设有排气口(2),所述排气口(2)连接强制抽风管道,所述气罐本体(1)侧面设有进气口(3),所述进气口(3)处设有内置式限流孔板(4),所述气罐本体(1)底部设有排污口(5);本技术同现有技术相比,结构新颖、简单,不仅通过管道中气体流速的加速以及湿气在气罐本体内的有效累积,实现了消除化学品管道中排出气体中的有害湿气,而且气罐本体内积液能够自动排放,以及对气管内补气以实现气压平衡,避免了气罐本体内形成负压从而导致排污过程无法正常进行的情况发生,且成本较低,占地空间较小。文档编号F17C13/02GK203115489SQ20122072674公开日2013年8月7日 申请日期2012年12月25日 优先权日2012年12月25日专利技术者简建至, 江献茂, 黄自柯 申请人:冠礼控制科技(上海)有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种化学品供应系统用强制抽风排气储气罐,其特征在于:包括气罐本体(1),所述气罐本体(1)顶部设有排气口(2),所述排气口(2)连接强制抽风管道,所述气罐本体(1)侧面设有进气口(3),所述进气口(3)处设有内置式限流孔板(4),所述气罐本体(1)底部设有排污口(5)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:简建至江献茂黄自柯
申请(专利权)人:冠礼控制科技上海有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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