化学品供应系统用液气分离装置制造方法及图纸

技术编号:9013650 阅读:214 留言:0更新日期:2013-08-08 23:54
本实用新型专利技术涉及化学品供应技术领域,具体地说是一种化学品供应系统用液气分离装置,包括管状的分离器本体,所述分离器本体顶部设有气体出口(1)和液体出口(2),所述分离器本体侧面设有气液两相进口(3),所述气体出口(1)连接导气型腔(4),所述液体出口(2)连接导液管(5),所述导液管(5)穿过导气型腔(4)延伸至分离器本体底部,所述导液管(5)与导气型腔(4)分离;本实用新型专利技术同现有技术相比,结构新颖、简单,不仅能够很好地消除化学品输送初期的大型气泡以及后续输送泵与管道内扰流引起的小型气泡,避免了气泡对管道系统中重要部件的正常工作所带来的影响,而且占地空间小,排污效果良好,具有较好的经济性。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

化学品供应系统用液气分离装置本技术涉及化学品供应
,具体地说是一种化学品供应系统用液气分离装置。在集成电路及半导体制造领域的高纯度化学品供应系统中,常常会因为输送泵的做动及管道扰流等原因而形成气泡,特别是对于散装桶式供应系统,在更换桶后的化学品供应初期,会有较大量的气体进入管道,这些气泡都会影响供应系统的正常使用。如:对供应系统出口位置使用流量计的准确测量造成影响,从而无法获知准确的出口流量;或者,降低管道系统中化学品过滤器的过滤效率,如果气泡的累积量达到一定程度,甚至会出现较大局部压力使液体无法进入过滤器,并造成爆管的现象。同时,由于部分半导体厂不配备大容量缓冲槽(Buffer Tank),如果化学品供应系统将含有气泡的化学品直接供应到终端制程设备,将会极大地影响制程设备发挥应有的作用。因此,为有效消除管道中的气泡,需要运用液气分离装置以达到消除管道中有害气泡的目的。然而,目前常用的液气分离装置在应用于高压和低表面张力管道系统中,常常会形成液泛的现象。由于半导体工业中常使用的化学品,如氢氟酸又属于比较典型的表面张力较低的液体(其表面张力仅为水的1/7,氢氟酸零度时表面张力为10.lmN/m,对比水在零度时的表面张力为72.75mN/m),在分离器使用空间受限同时分离器材质必须具有较高的耐腐蚀特性的条件下,大流量的化学品进入分离器后使得分离器内的液体负荷较大,同时由于分离器的降液管管径较小,将使气泡来不及从两相流中分离出来,造成气液混合液经降液管下方出口进入管道,降液管阻力将进一步增大,从而更容易触发液泛现象的发生。·本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统用液气分离装置,能够有效消除管道中的气泡,避免了气泡对管道系统中重要部件的正常工作所带来的影响,且占地空间小,排污效果良好,具有较好的经济性。为实现上述目的设计一种化学品供应系统用液气分离装置,包括管状的分离器本体,所述分离器本体顶部设有气体出口 I和液体出口 2,所述分离器本体侧面设有气液两相进口 3,所述气体出口 I连接导气型腔4,所述液体出口 2连接导液管5,所述导液管5穿过导气型腔4延伸至分离器本体底部,所述导液管5与导气型腔4分离。所述分离器本体侧面气液两相进口 3下方装有液位高度传感器6,所述气体出口 I处设有气动阀门7,所述液位高度传感器6通过PLC连接气动阀门7。所述分离器本体底部设有排污口 8,所述排污口 8处设有排污控制阀9,所述排污口 8连接排污管道。所述分离器本体采用全氟烷氧基树脂制作的耐压管制成。本技术同现有技术相比,结构新颖、简单,通过利用液体与气体密度不同而受到的重力不同,从而实现液气分离,该重力式液气分离装置的使用,最大程度避免了气泡对管道系统中重要部件的正常工作所带来的影响,如过滤器、流量计等;而且,本技术采用特殊的结构设计以及PLC连接液位高度传感器与气动阀门的联动作用,使得液气分离装置能够很好地处理化学品输送初期的大型气泡以及后续输送泵与管道内扰流引起的小型气泡,从而能够有效消除管道中的气泡;此外,本技术所述的液气分离装置占地空间小,排污效果良好,具有较好的经济性,值得推广应用。附图说明图1是本技术的结构示意图;图2是本技术的应用原理不意图;图中:1、气体出口 2、液体出口 3、气液两相进口 4、导气型腔5、导液管6、液位高度传感器7、气动阀门8、排污口 9、排污控制阀10、气相段11、积液段12、基本相分离段。以下结合附图对本技术作以下进一步说明:如附图所示,本技术包括:管状的分离器本体,分离器本体顶部设有气体出口I和液体出口 2,分离器本体侧面设有气液两相进口 3,气体出口 I连接导气型腔4,液体出口 2连接导液管5,导液管5穿过导气型腔4延伸至分离器本体底部,导液管5与导气型腔4分离,分离器本体侧面气液两相进口 3下方装有液位高度传感器6,气体出口 I处设有气动阀门7,液位高度传感 器6通过PLC连接气动阀门7,分离器本体底部设有排污口 8,排污口 8处设有排污控制阀9,排污口 8连接排污管道。本技术基于的原理为:利用液体与气体密度不同而受到的重力的不同,从而实现液气分离,主要将整个液气分离装置设置成基本相分离段、重力沉降段以及积液段。其中,基本相分离段主要进行两相混合液动能的控制和消除,避免扰流对分离效果的影响;重力沉降段主要进行两相流分离和液相的沉降;积液段将分别导出分离后的无气液体并同时引出分离出的气体,不允许它们有彼此重新掺混的机会。本技术首先根据浮动沉降流速、液体密度、气体密度以及制作材料的相关参数进行计算,以获得液气分离装置的最小直径、气相高度、液相高度以及气液两相流进入高度。该液气分离装置的分离器本体使用全氟烷氧基树脂制作的耐压管制成,将分离出的气体出口和脱气的液体出口分别设置在分离器本体的顶部,根据计算出的气液混合流进入高度,将分离器本体的气液两相进口布置在侧面,同时在底部设置排污管道,整个分离器将呈现立式状态,即分离器本体直径与分离器本体长度比例不小于1:8。本技术中,将具有降低流速的基本相分离段12由设置在气液两相进口位置的大小头通过放大管径来实现;在整个液气分离中间位置布置导液管连接具有将去气的化学品导出作用的积液段11,并在分离器本体顶部气体出口位置穿过导气型腔结构,形成互不干涉的气液导出区域;在分离器本体气液两相进口位置下方布置液位高度传感器,通过PLC使其与气体出口处的气动阀门互动,从而控制液气分离器内气相段10的高度,避免积液段高度过低无法获得有效的重力分离空间;此外,液位高度传感器还同时兼具有液气混合液 供应停止时的报警功能。权利要求1.一种化学品供应系统用液气分离装置,其特征在于:包括管状的分离器本体,所述分离器本体顶部设有气体出口(I)和液体出口(2),所述分离器本体侧面设有气液两相进口(3),所述气体出口( I)连接导气型腔(4),所述液体出口(2)连接导液管(5),所述导液管(5)穿过导气型腔(4)延伸至分离器本体底部,所述导液管(5)与导气型腔(4)分离。2.如权利要求1所述的液气分离装置,其特征在于:所述分离器本体侧面气液两相进口(3)下方装有液位高度传感器(6),所述气体出口(I)处设有气动阀门(7),所述液位高度传感器(6 )通过PLC连接气动阀门(7 )。3.如权利要求1或2所述的液气分离装置,其特征在于:所述分离器本体底部设有排污口(8),所述排污口(8)处设有排污控制阀(9),所述排污口(8)连接排污管道。4.如权利要求3所述的液气分离装置,其特征在于:所述分离器本体采用全氟烷氧基树脂制作的耐 压管制成。专利摘要本技术涉及化学品供应
,具体地说是一种化学品供应系统用液气分离装置,包括管状的分离器本体,所述分离器本体顶部设有气体出口(1)和液体出口(2),所述分离器本体侧面设有气液两相进口(3),所述气体出口(1)连接导气型腔(4),所述液体出口(2)连接导液管(5),所述导液管(5)穿过导气型腔(4)延伸至分离器本体底部,所述导液管(5)与导气型腔(4)分离;本技术同现有技术相比,结构新颖、简单,不仅能够很好地消除化学品输送初期的大型气泡以及后续本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种化学品供应系统用液气分离装置,其特征在于:包括管状的分离器本体,所述分离器本体顶部设有气体出口(1)和液体出口(2),所述分离器本体侧面设有气液两相进口(3),所述气体出口(1)连接导气型腔(4),所述液体出口(2)连接导液管(5),所述导液管(5)穿过导气型腔(4)延伸至分离器本体底部,所述导液管(5)与导气型腔(4)分离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:简建至江献茂黄自柯
申请(专利权)人:冠礼控制科技上海有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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