晶舟承载器具制造技术

技术编号:8976599 阅读:149 留言:0更新日期:2013-07-26 05:11
本实用新型专利技术公开了一种晶舟承载器具,它包括具有定位孔的承载板、两个承载臂和至少四个挂钩,每个承载臂具有两个承载柱,承载柱的下端均穿过承载板,并与承载板焊接,承载柱上穿出承载板的部分形成支撑脚,每个承载臂还具有两个与挂钩相配合的钩部,挂钩通过钩部勾住承载臂。本实用新型专利技术减化了结构,减少了清洗时的障碍,又能保证工作过程中的安全性和准确性。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

Boat carrier

The utility model discloses a boat carrying apparatus, comprising a carrier plate with positioning holes, two bearing arm and at least four hooks, each bearing arm has two columns, columns of the lower ends through the bearing plate, and is welded with a bearing plate, carrying out column bearing plate forming part the supporting foot, each bearing arm also has two matched with the hook hook, hook hook hook through the bearing arm. The utility model has the advantages that the structure is reduced, the obstacles in cleaning are reduced, and the safety and the accuracy in the working process can be ensured.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶舟承载器具,用于半导体清洗设备中。
技术介绍
目前,在半导体清洗设备中,社会上应用于高温高酸碱液内晶片清洗零件的器具非常多,怎样去设计好它,怎么样保证了功能和安全性外,尽可能的考虑结构简单,制作方便,降低成本,是这个行业设计人员考虑的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种晶舟承载器具,它减化了结构,减少了清洗时的障碍,又能保证工作过程中的安全性和准确性。为了解决上述技术问题,本技术的技术方案是:一种晶舟承载器具,它包括具有定位孔的承载板、两个承载臂和至少四个挂钩,每个承载臂具有两个承载柱,承载柱的下端均穿过承载板,并与承载板焊接,承载柱上穿出承载板的部分形成支撑脚,每个承载臂还具有两个与挂钩相配合的钩部,挂钩通过钩部勾住承载臂。 进一步,所述的四个承载柱的中部还焊接有承载板,承载板上也具有放置晶舟的定位孔。进一步,承载板的下部固定有光纤感应块。进一步,每个承载臂的钩部呈向四个承载柱的中心收拢状结构。更进一步,承载板、承载臂和挂钩均由石英材料制成。采用了上述技术方案后,考虑到是在强酸碱环境下清洗,不能产生本体污染,本技术的材料采用高纯度的石英材料制成。本技术的承载柱实现了放置的360°定位,极大的保证了工作过程的安全性和准确性,本技术的结构简洁,使用材料少,在实现了功能的同时,大大减少了清洗时的障碍,节约了材料的成本。附图说明图1为本技术的四寸的晶舟承载器具的立体图;图2为本技术的二寸的晶舟承载器具的结构示意图;图3为图2的右视图;图4为图2的仰视图。具体实施方式为了使本技术的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本技术作进一步详细的说明,实施例一如图1所示,一种晶舟承载器具,它包括具有定位孔1-2的承载板1、两个承载臂2和至少四个挂钩3,每个承载臂2具有两个承载柱2-1,承载柱2-1的下端均穿过承载板1,并与承载板I焊接,承载柱2-1上穿出承载板I的部分形成支撑脚2-1-1,每个承载臂2还具有两个与挂钩3相配合的钩部2-2,挂钩3通过钩部2-2勾住承载臂2。承载板I的下部固定有光纤感应块1-1。每个承载臂2的钩部2-2呈向四个承载柱2-1的中心收拢状结构。承载板1、承载臂2和挂钩3均由石英材料制成。本实施例为四寸尺寸的晶舟承载器具。实施例二如图2 4所示,一种晶舟承载器具,它包括具有定位孔1-2的承载板1、两个承载臂2和至少四个挂钩3,每个承载臂2具有两个承载柱2-1,承载柱2-1的下端均穿过承载板1,并与承载板I焊接,承载柱2-1上穿出承载板I的部分形成支撑脚2-1-1,每个承载臂2还具有两个与挂钩3相配合的钩部2-2,挂钩3通过钩部2-2勾住承载臂2。下层的承载板I的下部固定有光纤感应块1-1。每个承载臂2的钩部2-2呈向四个承载柱2-1的中心收拢状结构。承载板1、承载臂2和挂钩3均由石英材料制成。四个承载柱2-1的中部还焊接有承载板1,承载板I上也具有放置晶舟的定位孔1-2。本实施例为二寸尺寸的晶舟承载器具。考虑到是在强酸碱环境下清洗,不能产生本体污染,本技术的材料采用高纯度的石英材料制成。本技术的承载柱实现了放置的360°定位,极大的保证了工作过程的安全性和准确性,本技术的结构简洁,使用材料少,在实现了功能的同时,大大减少了清洗时的障碍,节约了材料的成本。以上所述的具体实施例,对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本技术的具体实施例而已,并不用于限制本技术,凡在本实 用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶舟承载器具,其特征在于:它包括具有定位孔(1?2)的承载板(1)、两个承载臂(2)和至少四个挂钩(3),每个承载臂(2)具有两个承载柱(2?1),承载柱(2?1)的下端均穿过承载板(1),并与承载板(1)焊接,承载柱(2?1)上穿出承载板(1)的部分形成支撑脚(2?1?1),每个承载臂(2)还具有两个与挂钩(3)相配合的钩部(2?2),挂钩(3)通过钩部(2?2)勾住承载臂(2)。

【技术特征摘要】
1.一种晶舟承载器具,其特征在于:它包括具有定位孔(1-2)的承载板(I)、两个承载臂(2)和至少四个挂钩(3),每个承载臂(2)具有两个承载柱(2-1),承载柱(2-1)的下端均穿过承载板(1),并与承载板(I)焊接,承载柱(2-1)上穿出承载板(I)的部分形成支撑脚(2-1-1),每个承载臂(2 )还具有两个与挂钩(3 )相配合的钩部(2-2 ),挂钩(3 )通过钩部(2-2)勾住承载臂(2)。2.根据权利要求1所述的晶舟承载器具,其特征在于:所述的四个承载柱(2-1)的中部还焊接有承载板(I ),承载板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:卡尔·罗伯特·休斯特
申请(专利权)人:硅密常州电子设备有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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