化学机械研磨机台的改良型喷头结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种化学机械研磨机台的改良型喷头结构。现有的喷头结构具有固定的喷嘴，只能从一个位置向研磨垫上喷洒研磨液，容易造成研磨垫局部磨损过快以及无法根据需要调节研磨液流量分布的问题。本实用新型专利技术的化学机械研磨机台的改良型喷头结构，包括本体，其一端连接至数根液体输送管路，另一端设有数个喷嘴，其中，所述每个喷嘴由两根喷管组成，所述两根喷管通过轴接结构连接至本体。本实用新型专利技术的改良型喷头结构，不仅能防止研磨垫局部磨损过快，还能保证研磨液在研磨垫上分布的均匀性，从而有效控制晶圆表面的研磨厚度。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种化学机械研磨机台的改良型喷头结构，所述喷头包括本体，其一端连接至数根液体输送管路，另一端设有数个喷嘴，其特征在于：所述每个喷嘴由两根喷管组成，所述两根喷管通过轴接结构连接至本体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵铁军，刘兆琪，张伟光，王莉，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]