【技术实现步骤摘要】
一种化学品供应系统本技术涉及半导体制造
，具体地说是一种化学品供应系统。随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。并且，由于半导体制程的不断发展，线宽越来越窄，工艺的要求也越来越高，这些因素都对化学品供应系统的无故障运行能力提出了更高的要求。气体、化学和纯水系统为整条芯片生产线提供气体、化学品和纯水，它们与芯片直接接触，所以这些系统被称为制程相关系统，该制程相关系统即为化学品供应系统，其稳定与否直接关系到生产线制造是否正常。而且，该化学品供应系统为生产线提供一年365天无中断的系统，其所供应的化学品不仅要达到一定量(大量的机台使用该化学品或单个机台用量很大)，而且还要具有长距离(如100m)输送不易变质的特点，其一般供应到湿法清洗、黄光、CMP、零部件清洗等部门。然而，目前传统的化学品供应系统总是存在安全系数低、运行的稳定性不高等缺陷，给现场人员的安全带来了威胁，且操作起来非常不方便。本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统，不仅结构简单、成本低，而且运行稳定、可靠，安全系数高。为实现上述目的设计一种化学品供应系统，包括供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，所述供应柜部分包括桶槽1、泵2和过滤器3，所述管路部分包括管路4和阀箱5，所述桶槽1、泵2、过滤器3、阀箱5通过管路4相连。所述化学品供应系统中还设有监控部分，所述监控部分通过PLC连接供应柜部分和管路部分。所述监控部分包括泄漏侦测器6，所述泄漏侦测器6安装在阀箱5或桶槽I的底...
【技术保护点】
一种化学品供应系统，包括供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，其特征在于：所述供应柜部分包括桶槽（1）、泵（2）和过滤器（3），所述管路部分包括管路（4）和阀箱（5），所述桶槽（1）、泵（2）、过滤器（3）、阀箱（5）通过管路（4）相连。
【技术特征摘要】
1.一种化学品供应系统，包括供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，其特征在于:所述供应柜部分包括桶槽(I)、泵(2)和过滤器(3)，所述管路部分包括管路(4)和阀箱(5)，所述桶槽(I)、泵(2)、过滤器(3)、阀箱(5)通过管路(4)相连。2.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于:所述化学品供应系统中还设有监控部分，所述监控部分通过PLC连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：简建至，胡厚福，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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