一种基板储运箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基板储运箱，用以在收纳传送基板的同时，对储运箱中装载的基板进行破损检测，以及时发现基板破损情况。该基板储运箱包括箱盖、箱底及位于箱盖和箱底之间用于放置基板的基板储运箱，还包括检测控制设备、至少一个探测信号发生装置、至少一个探测信号接收装置和至少一个通报装置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶生产制造领域，尤其涉及ー种基板储运箱。
技术介绍
在液晶生产过程中，尤其是在TFT-IXD阵列エ艺、OLED阵列エ艺等半导体制作过程中，基板破损是影响良品率的重要因素，大概在O. 5%左右。以阵列基板生产过程为例，在阵列基板生产过程中，需要多次进行镀膜、涂光刻胶、刻蚀、剥离等一系列操作，而每次操作都需要将基板在不同的设备之间搬运，通常是将基板放入储运箱中再进行搬运，且整个搬运过程为全自动化操作。其中，基板储运箱的侧视图结构如附图IA和图IB所示，包括箱盖101、箱底102、支撑杆103和基板放置架104，多个支撑杆103用以连接并支撑箱盖101和箱底102，多组基板放置架104设置于各支撑杆103上，其中，每组基板放置架104在设置时，垂直设置于各支撑杆103上，设置于各支撑杆103上的每组基板放置架104位于同一水平面上，且每组基板放置架104上可放置ー块基板105。例如，在箱盖101和箱底102为规则的四边形吋，4个支撑杆103分别连接箱盖101和箱底102的四个角，以支撑整个储运箱，在各支撑杆上位于同一水平面的位置上各设置一基板放置架104，该位于同一水平面上的4个基板放置架104为ー组，用以承载ー块基板 105。假设エ艺设备发生故障而导致基板破损时，由于缺少基板破损检测装置或设备检测能力的限制，而不能及时获知基板破损，这将导致问题设备继续生产，破损情况连续发生而造成巨大损失。其中，最常见的是基板的边缘发生破损，而基板的边角发生破损又不容易检测，但是若基板的边角发生破损，由于碎片较小，一旦落在其他基板表面并进入后续生产流程，则对后续生产设备造成损害，从而造成巨大经济损失。假如在每台エ艺设备商增设破损检测装置，会极大提高设备改造成本，并且，有些设备工作环境是高温环境，在设备上改造上存在很大的困难。
技术实现思路
本技术提供ー种基板储运箱，用以在收纳基板的同吋，对储运箱中装载的基板进行破损检测，从而能够及时发现基板破损情況。本技术提供的具体技术方案如下ー种基板储运箱，包括箱盖、箱底及位于箱盖和箱底之间用于放置基板的基板放置架，还包括检测控制设备和至少ー个探測信号发生装置、至少ー个探測信号接收装置和至少ー个通报装置；所述探测信号发生装置，设置在所述箱盖/箱底上，用于发射出探測信号；所述探测信号接收装置，设置在所述箱底/箱盖上与所述探测信号发生装置相对应的位置处，接收所述探測信号发生装置发射出的探測信号；所述检测控制设备，分别与所述探测信号发生装置和所述探测信号接收装置相连接;通报装置，与检测控制设备相连接。其中，所述通报装置为声音报警装置；或者，所述通报装置为显示通报装置。其中，所述探测信号发·生装置设置在所述箱盖/箱底与所述基板放置架上放置基板的相应区域内，具体为所述探测信号发生装置设置在所述箱盖/箱底上对应所述基板的每个角相对应的设定区域内。其中，还包括导轨，设置在所述箱盖/箱底朝向储运箱内部的一面上，该导轨的延伸路径与所储运的基板轮廓形状一致，所述导轨上设有滑动部件；所述探测信号发生装置，设置在所述箱盖/箱底与所述基板放置架上放置基板的相应区域内，具体为所述探测信号发生装置，与所述导轨上的滑动部件相连接并随所述滑动部件在所述导轨上滑动；所述探测信号接收装置包括一可接受所述探测信号发生装置在导轨的任何位置所发射探測信号的板状或框状的接收面。其中，还包括多个条状导轨，设置在所述箱盖/箱底朝向储运箱内部的一面上，分别位于所述箱盖/箱底朝向储运箱内部的一面的四周，相邻两个条状导轨首尾相接，每个条状导轨上设有滑动部件；所述探测信号发生装置与所述条状导轨的滑动部件相连接并随所述滑动部件在所述条状导轨上滑动；所述探测信号接收装置包括可接受所有所述探测信号发生装置在导轨的任何位置所发射探測信号的接收面。其中，所述检测控制设备包括发送模块、接收模块和处理模块，其中，所述发送模块与所述探测信号发生装置相连接，所述接收模块与所述探测信号接收装置和处理模块相连接。其中，所述检测控制设备进一歩包括存储模块，分别与所述接收模块和处理模块相连接。基于上述技术方案，通过设置在箱盖/箱底与基板放置架上放置基板的相应区域内设置的探測信号发生装置发送探測信号，并通过设置在箱底/箱盖上与探測信号发生装置相对应的位置处的探測信号接收装置，接收探测信号发生装置发射出的穿过基板放置架上各基板后的探測信号，从而可以确定出探測信号强度数据，检测控制设备分析该探测信号强度数据后得出基板状况信息并进行通报，从而能够通过探測信号对基板储运箱中装载的多个基板进行破损检测，在液晶面板生产的每道エ序中，通过储运箱搬运基板的过程中，即可对基板进行破损检测，保证了基板破损检测的及时性，降低了由于未及时检测出基板破损情况而造成的经济损失。附图说明图IA为现有的基板储运箱侧视图结构不意图；图IB为现有的基板储运箱主视图结构不意图；图2A为本技术一实施例基板储运箱的侧视结构示意图；图2B为本技术实施例基板储运箱的立体结构示意图；图3为本技术另一实施例中基板储运箱的另一立体结构不意图；图4为本实施例中检测控制设备的结构示意图。 具体实施方式为了能够及时检测基板破损情况，降低由于未及时发现基板破损而造成的经济损失，本技术提供了ー种基板储运箱，包括检测控制设备和至少ー个探測信号发生装置以及至少ー个探測信号接收装置。以下结合附图对本技术所提供的优选的实施例进行详细说明。本实施例中，检测控制设备可以设置于基板储运箱的任意位置，此处以将检测控制装置设置于支撑杆下半部分为例进行说明。本实施例中，探測信号发生装置可以设置在箱盖或箱底，相应的，探測信号接收装 置可以设置在箱底或箱盖，以下实施例中，仅以探測信号发生装置设置在箱盖，探測信号接收装置设置在箱底为例进行说明。如附图2A和附图2B所示，本实施例提供的基板储运箱包括箱盖201、箱底202及位于箱盖201和箱底202之间用于放置基板的基板放置架203，还包括检测控制设备204和至少ー个探測信号发生装置205、至少ー个探測信号接收装置206和至少ー个与检测控制设备相连接的通报装置(图未示)。其中检测控制设备204，分别与探測信号发生装置205和探測信号接收装置206相连接，向探測信号发生装置205发送探測信号发射指令，接收探测信号接收装置206发送的探測信号强度数据，并根据该探测信号强度数据确定出基板状况信息并传递给通报装置由通报装置进行通报；探測信号发生装置205设置在箱盖201与基板放置架203上放置基板的相应区域内，接收检测控制设备204发送的探測信号发射指令，并发射出探測信号；探測信号接收装置206设置在箱底201上与探測信号发生装置205相对应的位置处，接收探测信号发生装置205发射出的穿过基板放置架203上各基板后的探測信号，并确定出接收的探測信号强度数据发送给检测控制设备204。例如，箱盖和箱底为矩形的金属板，采用4根支撑杆分别连接箱盖和箱底的四个角，以支撑整个储运箱，在每个支撑杆上每隔预定距离设置有基板放置架，4个支撑杆上位于同一水平面的4个基板放置架为ー组，用以放置ー块基板，假设储运箱包含20组基板放置架，则可放置20块基板，在箱盖上设置的探測信号发生装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板储运箱，包括箱盖、箱底及位于箱盖和箱底之间用于放置基板的基板放置架，其特征在于，还包括检测控制设备、至少一个探测信号发生装置、至少一个探测信号接收装置和至少一个通报装置；所述探测信号发生装置，设置在所述箱盖/箱底上，用于发射出探测信号；所述探测信号接收装置，设置在所述箱底/箱盖上与所述探测信号发生装置相对应的位置处，接收所述探测信号发生装置发射出的探测信号；所述检测控制设备，分别与所述探测信号发生装置和所述探测信号接收装置相连接；通报装置，与检测控制设备相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董云，彭志龙，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：