【技术实现步骤摘要】
本申请是2005 年 5 月 2 日提交的申请号为 200580022583. 7 (PCT/US2005/015352 ;201010154616. 6)、专利技术名称为“”的母案申请的分案申请。优先权声明本申请要求各个下面申请的优先权2005年2月14日提出的美国专利申请No. 11/058,106 ;2005年I月25日提出的美国专利申请No. 11/043,895 ;2004年6月23日提出的No. 10/876, 046 ;以及2004年5月2日提出的美国专利申请No. 10/837, 885 ;各个申请通过引用以用于所有目的的其全文被结合。相关申请的交叉引用本申请还涉及2004年4月5日提出的美国专利申请No. 10/818,642 ;2003年4月3日提出的美国临时专利申请No. 60/460,634 ;2004年4月5日提出的美国专利申请No. 10/819,088 ;2004年4月5日提出的美国专利申请No. 10/818,642 ;2002年11月27日提出的美国专利申请No. 10/3063, 798 ;2002年6月24日提出的美国临时专利申请No. 60/391,529 ;以及美国临时申请No. 60/335,292 ;各个申请通过引用以用于所有目的的其全文被结合。背景近来,为了实施提供用于准备和分析应用的各种化学和生化分析及合成,已经进行开发和制造微流体系统的尝试。因为相对于在宏大规模上实施的分析及合成根据微型化可以实现大量的优点,因此出现制造这种设备的目标。这种优点包括利用这种设备实施分析或合成所需要的时间、成本及空间的真正的减 ...
【技术保护点】
一种实现弹性材料块中纵横比特征的方法,所述方法包括步骤:·提供第一弹性材料层;·将光致抗蚀剂层应用在所述第一弹性材料层表面上;·将光图案应用至所述光致抗蚀剂层,以形成已反应的光致抗蚀剂材料图案;·去除未反应的光致抗蚀剂材料,在所述第一弹性材料层的所述表面上剩下已反应的光致抗蚀剂材料图案;·将蚀刻剂应用到所述第一弹性材料表面,以蚀刻没有由已反应的光致抗蚀剂材料的所述图案所覆盖的所述第一弹性材料层的所述表面,从而去除没有由已反应的光致抗蚀剂的所述图案所覆盖的所述第一弹性材料层的区域,进而剩下对应于已反应的光致抗蚀剂材料的所述图案的所述弹性材料层的图案,其中从侧面看去时,纵横比等于或大于:高度是特征宽度的长度的至少两倍。
【技术特征摘要】
2004.05.02 US 10/837,885;2004.06.23 US 10/876,0461.一种实现弹性材料块中纵横比特征的方法,所述方法包括步骤 提供第一弹性材料层; 将光致抗蚀剂层应用在所述第一弹性材料层表面上; 将光图案应用至所述光致抗蚀剂层,以形成已反应的光致抗蚀剂材料图案; 去除未反应的光致抗蚀剂材料,在所述第一弹性材料层的所述表面上剩下已反应的光致抗蚀剂材料图案; 将蚀刻剂应用到所述第一弹性材料表面,以蚀刻没有由已反应的光致抗蚀剂材料的所述图案所覆盖的所述第一弹性材料层的所述表面,从而去除没有由已反应的光致抗蚀剂的所述图案所覆盖的所述第一弹性材料层的区域,进而剩下对应于已反应的光致抗蚀剂材料的所述图案的所述弹性材料层的图案, 其中从侧面看去时,纵横比等于或大于高度是特征宽度的长度的至少两倍。2.如权利要求I中所述的方法,进一步包括去除已反应光致抗蚀剂材料的所述图案的步骤。3.如权利要求2中所述的方法,其中通过将粘结带应用到所述弹性材料层的所述表面和已反应光致抗蚀剂材料的所述图案而进行所述去除,然后将所述粘结带与所述弹性材料层分离,同时已反应光致抗蚀剂材料的所述图案的部分或全部从所述弹性材料层的所述表面被去除。4.如权利要求I中所述的方法,其中所述光致抗蚀剂是SU8。5.如权利要求I中所述的方法,其中所述蚀刻剂包括四丁铵氟化物-三水合物。6.如权利要求I中所述的方法,其中所述特征为通孔。7.如权利要求6中所述的方法,其中所述弹性材料块包括粘结在一起的多个弹性材料层,其中两个或多个弹性材料层具有形成在其中的凹槽,以及一个弹性材料层中的一个凹槽与另一个弹性材料层中的凹槽通过所述通孔处于连通中。8.一种用于使M种不同样本与N种不同试剂反应的微流体设备,其包括 多个反应单元,各个反应单元包括样本腔和试剂腔,所述样本腔和所述试剂腔通过具有关联的分界阀的分界通道处于流体连通中,所述分界阀用于控制所述样本腔和所述试剂腔之间的流体连通; 多个样本入口,各个样本入口与所述样本腔处于流体连通中; 多个试剂入口,各个试剂入口与所述试剂腔处于流体连通中; 其中所述腔中的至少一个包含低聚核苷酸或蛋白质聚合物及内部对照(intercollating)染料。9.如权利要求8中所述微流体设备,其中所述反应单元被形成在弹性块内,所述弹性块由粘结在一起的多层构成,以及所述分界阀是可偏转的隔膜。10.如权利要求8中所述的微流体设备,其中所述样本入口与所述样本腔通过样本通道处于连通中,以及所述试剂入口与所述试剂腔通过试剂通道处于连通中,所述样本通道的一部分和所述试剂通道的一部分大约互相平行地被定位且各个通道具有相关联的容器阀门,用于控制通过通道的流体连通。11.如权利要求10中所述的微流体设备,其中...
【专利技术属性】
技术研发人员:费德里科·顾特塞德,马克·A·恩格,黄江,埃默森·全,罗伯特·格罗斯曼,菲里普·林,周厚朴,吉克·金保尔,马丁·皮普瑞兹克,杰弗里·费塞,
申请(专利权)人:弗卢丁公司,
类型:发明
国别省市:
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