光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法技术

技术编号:7785771 阅读:168 留言:0更新日期:2012-09-21 06:26
本发明专利技术提供一种光致抗蚀剂制造用溶剂组合物及其制造方法,在光致抗蚀剂的制造中,所述溶剂组合物对灵敏度高的肟酯类光聚合引发剂的溶解性良好,且不会损害电子材料用途的浆料组合物的特性。所述光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法的特征在于,混合包含选自下述式(A1)、(A2)、(A3)、(A4)及(A5)所示的化合物中的至少一种化合物的溶剂A和肟酯类光聚合引发剂来制成溶剂组合物(C)后,将溶剂组合物(C)及与所述溶剂A相溶的溶剂B混合得到光致抗蚀剂制造用组合物(D)。[化学式1]

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种对光聚合引发剂溶解性优异的。
技术介绍
为了实现液晶显示器等显示装置的彩色化,通常需要在两张基板之间设置由红(R)、绿(G)、蓝(B)、黄(Y)等像素区域构成的滤色器。但是,滤色器的各像素区域之间被无间隙地填埋时,则在其边界会引起对比度降低等。为了防止该问题,通常,形成利用黒色的隔片将各顔色的像素区域分割开的黑色矩阵。为了形成黑色矩阵及滤色器,通常可使用光致抗蚀剂。对于黒色矩阵而言,有使用金属的遮光材料的黒色矩阵、及使用非金属的遮光材料的黒色矩阵。近年来,出于环境方面的考虑,作为非金属的黒色矩阵,树脂黒色矩阵正在増加。树脂黑色矩阵浆料由遮光材料、粘合剂树脂、多官能単体、光聚合引发剂、溶剂等构成。黑色矩阵经过以下⑴ (6)的エ序来制造。(I)配制黒色矩阵浆料。(2)将上述黒色矩阵浆料涂布在基板上后进行薄层化。(3)在100°C左右的温度下蒸发溶剂进行干燥。(4)照射lOOmJ/cm2左右強度的UV来进行光固化。(5)喷雾碳酸钠水溶液,清洗不需要的树脂成分。(6)在200°C左右的温度下加热以进行热固化。在黒色矩阵的光固化中,由于配合有浆料组合物中所含的遮光剂,因此,到达深处的光变弱。因此,需要在浆料组合物中大量含有灵敏度高的光聚合引发剂。作为灵敏度高的光聚合引发剂,可以举出具有咔唑骨架的肟酯类光聚合引发剂(专利文献I)。但这些光聚合弓I发剂的溶解性差,难以大量溶解在溶剂中。在专利文献2中公开了如下内容从对光聚合引发剂的溶解性方面考虑,可使用环己酮及包含环己酮的混合溶剂作为黑色矩阵的浆料用溶剂(专利文献2)。但是,环己酮有生态毒性的担心,并且作为VOC限制对象化合物,存在需要在操作中设定有机溶剂操作负责人等的限制,因此,正在寻求其代替溶剤。在滤色器及黒色矩阵用途中,从涂布性及顔料分散性方面考虑,其它的通常使用的溶剂包括丙ニ醇单甲醚こ酸酷、3-甲氧基丁醇こ酸酷、1,6_己ニ醇ニこ酸酷、1,3_ 丁ニ醇ニこ酸酷、ニ丙ニ醇单甲醚こ酸酷、ニ丙ニ醇ニ甲醚、ニこニ醇ニ甲醚、ニこニ醇ニこ醚、こ酸环己酯、丙ニ醇ニこ酸酷、ニ丙ニ醇ニこ酸酷、ニこニ醇单こ醚こ酸酷、ニこニ醇单丁醚こ酸酯等(专利文献3、专利文献4)。但是,这些溶剂对于具有咔唑骨架的、灵敏度高的肟酯类光聚合弓I发剂的溶解性不充分。现有技术文献专利文献专利文献I :日本专利第4448381号公报专利文献2 :日本特开2009-173560号公报专利文献3 :日本特开2009-271502号公报专利文献4 :日本特开2010-249869号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题因此,本专利技术的目的在于提供一种,在制造光致抗蚀剂中,所述组合物高浓度地溶解灵敏度高的肟酯类光聚合引发剂,且不损害电子材料用途的浆料组合物的特性。解决问题的方法本专利技术人等为了解决所述课题进行了潜心研究,结果发现,通过使用特定的溶剂A 溶解肟酯类光聚合引发剂,随后使用通常用于电子材料用途的、且公知其涂布性、顔料分散性良好的溶剂进行稀释,由此,可以实现肟酯类光聚合引发剂的较高的溶解性。本专利技术是基于以上见解而完成的。S卩,本专利技术提供一种,其特征在于,将包含选自下述式(Al)、(A2)、(A3)、(A4)及(A5)所示的化合物中的至少ー种化合物的溶剂A和肟酯类光聚合引发剂混合来制成溶剂组合物(C),然后将溶剂组合物(C)及与所述溶剂A相溶的溶剂B混合得到光致抗蚀剂制造用组合物(D),[化学式I]本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.08 JP 2011-050788;2011.03.08 JP 2011-050781.一种光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法,其特征在于,将包含选自下述式(Al)、(A2)、(A3)、(A4)及(A5)所示的化合物中的至少ー种化合物的溶剂A和肟酯类光聚合引发剂混合来制成溶剂组合物(C),然后将溶剂组合物(C)及与所述溶剂A相溶的溶剂B混合得到光致抗蚀剂制造用组合物(D),2.根据权利要求I所述的光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法,其中,上述溶剂A和溶剂B的重量比为溶剂A :溶剂B = 10 : 90 99 : I。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:铃木阳二赤井泰之
申请(专利权)人:株式会社大赛璐
类型:发明
国别省市:

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