分配设备制造技术

技术编号:7516272 阅读:173 留言:0更新日期:2012-07-11 22:34
提供一种分配设备,其包含:多个光发射器,其彼此间隔开以发射光;以及传感器零件,其包含多个光接收器,光接收器面对光发射器且彼此间隔开以接收从光发射器发射的光。光发射器经安置使得从光发射器发射的光束的路径彼此交叉且在其至少一部分中彼此重叠。因此,可减少源材料的排放位置的偏离以可靠地感测源材料。因此,可准确地确定液晶是否被分配。另外,由于将从光发射器发射的光束的量的总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异用来确定源材料是否被分配,所以所发射光强度与入射光强度之间的差异大于相关技术中的差异。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及分配设备,且更明确地说涉及能够准确地感测是否分配源材料的分配设备。
技术介绍
一般来说,通过将一对平板衬底结合在一起来制造平板显示面板。举例来说,当制造液晶显示面板时,制造具备薄膜晶体管和像素电极的下部衬底和具备彩色滤光器和公共电极的上部衬底。接着,将液晶分配在下部衬底上,且将上部衬底与下部衬底结合并密封以制造液晶显示面板。在此情况下,使用液晶分配设备来将液晶分配在衬底上。此类液晶分配设备包含在其上置放衬底的台;安置在所述台上的门架(gantry);排放单元,其安置在门架上且包含用于分配液晶的喷嘴;以及感测单元,其安置在排放单元下方以感测液晶是否从所述排放单元分配。感测单元包含发光零件,其包含用于发射光的光发射器;以及多个光接收器,其与发光零件间隔开以接收从光发射器发射的光。光发射器面对光接收器。喷嘴安置在多个光发射器与多个光接收器之间的空间上方。感测单元比较从光发射器发射的光量与入射到光接收器的光量,以感测是否分配了液晶。举例来说,当液晶未从喷嘴滴落时,从光发射器发射的光束分别入射到光接收器。因此,从光发射器发射的光束量等于入射到光接收器的光束量。因而,当从光发射器发射的光束量等于入射到光接收器的光束量时,得出液晶未被分配的结论。相反,当从喷嘴分配液晶时,从光发射器中的一者发射的光被液晶反射, 且因此,被防止入射到光接收器,或仅少量光入射到光接收器。即,从喷嘴滴落的液晶的路径穿过从光发射器中的一者发射的光的路径。因此,从光发射器发射的对应于所滴落液晶的路径的光并未入射到光接收器,或仅所述光的一部分入射到光接收器。因此,从光发射器发射的对应于所滴落液晶的路径的光量不同于入射到面对光发射器的光接收器的光量。因而,当所发射的光量不同于入射光的量时,得出液晶被分配的结论。当液晶被分配时,从光发射器中的一者发射的光的至少一部分可能未入射到光接收器。另外,即使光接收器未接收从面对所述光接收器的光发射器发射的光,光接收器仍可接收从邻近第一光发射器的另一光发射器发射的光的一部分。在此情况下,从第一光发射器发射的光量可实质上与入射到面对第一光发射器的光接收器的光量相同。因此,所发射光量与入射光的量之间的差异是小的。因此,即使液晶经分配,仍可得出液晶未经分配的结论。此可能使得难以准确地确定是否分配液晶,或难以感测液晶的分配失败。因此,可能在未分配液晶的情况下执行处理程序,由此降低生产率
技术实现思路
本专利技术提供一种可准确地确定源材料是否被分配的分配设备。本专利技术还提供一种分配设备,其包含多个光发射器和多个光接收器,其中从光发射器发射的光束的路径交叉且在至少一个区域中彼此重叠。本专利技术还提供一种分配设备,其基于供应到光发射器的光束的量的总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异来确定液晶是否被分配。根据例示性实施例,分配设备包含多个光发射器,所述多个光发射器彼此间隔开以发射光;以及传感器零件,其包含多个光接收器,所述多个光接收器面对光发射器且彼此间隔开以接收从所述光发射器发射的光,其中所述光发射器经安置使得从光发射器发射的光束的路径彼此交叉且在其至少一部分中彼此重叠。分配设备可包含检测单元,所述检测单元连接到所述传感器零件,以基于供应到光发射器的光束的量的总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异来确定源材料是否被分配。从所述光发射器发射的光束可指向相同空间的中央区域,且所发射光束的路径可彼此交叉。传感器零件可包含具有开放中央区域的传感器零件主体,且所述光发射器和所述光接收器可插入在所述传感器零件主体中。从光发射器发射的光可指向所述传感器零件主体的开放中央区域。从所述光发射器发射的光束的路径可在所述传感器零件主体的开放中央区域中彼此交叉。所述多个光发射器与所述多个光接收器可彼此间隔开,且经交替地安置。所述检测单元可包含感测零件,其连接到所述光接收器以接收入射到光接收器的光束的强度数据;以及计算零件,其连接到所述光发射器和所述感测零件以计算从光发射器发射的光束的量的所总和与入射到光接收器的光束的量的总和之间的差异。所述分配设备可包含确定零件,所述确定零件基于由计算零件计算的所述差异来确定源材料是否被分配。附图说明可从以下描述结合附图更详细地理解例示性实施例,其中图1是说明根据例示性实施例的衬底处理设备的透视图。图2是说明图1的排放单元和检测系统的示意图。图3是说明根据例示性实施例的检测零件的透视图。图4是说明根据例示性实施例的传感器零件和检测单元的示意图。图5A和图5B是说明借助于根据例示性实施例的感测单元和检测单元来确定是否分配液晶的方法的示意图。图6A和图6B是说明借助于相关技术中的感测单元来确定是否分配液晶的方法的示意图。具体实施例方式下文中,将参看附图详细描述具体实施例。然而,本专利技术可以不同形式体现,且不4应解释为限于本文所陈述的实施例。而且,提供这些实施例以使得本专利技术将为透彻且完整的,且将本专利技术的范围充分传达给所属领域的技术人员。图1是说明根据例示性实施例的衬底处理设备的透视图。图2是说明图1的排放单元和检测系统的示意图。图3是说明根据当前实施例的检测零件的透视图。图4是说明根据当前实施例的传感器零件和检测单元的示意图。参看图1和图2,根据当前实施例的衬底处理设备包含台100,在所述台100上置放衬底S ;门架200,其安置在所述台100上;多个排放单元400,其固定到所述门架200上且彼此间隔开且在布置方向上排列;多个检测系统500,其连接到排放单元400以感测源材料是否从排放单元400分配;以及多个排放单元移动部件700,其安置在门架200上且在排放单元400的布置方向上延伸且水平地移动排放单元400。衬底处理设备进一步包含安置在台100上且水平移动门架200的门架移动部件300。在当前实施例中,将液晶用作源材料以分配在衬底S上,且衬底处理设备可为液晶分配设备。然而,本专利技术并不限于其,且因此, 可将各种液体用作源材料。举例来说,源材料可为涂覆在一对衬底S之间以使其结合的密封剂或软膏。台100具有对应于衬底S的形状,使得可将衬底S置放在台100上。由于将四角形玻璃衬底用作衬底S,所以台100为四角形。然而,台100的形状并不限于其,且因此,可随着衬底S的形状变化。台100可包含单独的固定部件(未图示)来支撑和固定衬底S。 可将使用静电力的静电卡盘或使用真空吸力的真空固定装置用作固定部件。当使用真空固定装置时,台100可具备与真空泵连通的孔。门架移动部件300可在横穿排放单元400和检测零件510的水平移动方向的方向上移动门架200。门架移动部件300包含一对导轨310,其在台100上彼此平行且间隔开; 以及一对门架驱动部件320,其分别安置在导轨310上且沿着导轨310滑动。导轨310在垂直于排放单元400和检测零件510的水平移动方向的方向上延伸。门架驱动部件320的上部部分耦合到门架200的下部部分。因此,当门架驱动部件320沿着导轨310滑动时,耦合到门架驱动部件320的门架200水平移动。举例来说,门架驱动部件320可为经配置以线性移动的线性马达与使滚珠螺杆(ball screw)旋转的马达的组合。然而,本专利技术并不限于其,且因此,门架驱动部件320可为在导轨310上滑动的任何部本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:金相淳张在男卢成和辛在德
申请(专利权)人:AP系统股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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