移位寄存器制造技术

技术编号:7362454 阅读:169 留言:0更新日期:2012-05-26 19:05
一种移位寄存器,是由绝缘性基板支撑的移位寄存器,具有:分别依次输出输出信号的多个级,多个级分别具有包含多个薄膜晶体管的电路20,多个薄膜晶体管包含:与电路的工作相关的第1薄膜晶体管MK;和具有至少一个悬浮的端子的第2薄膜晶体管MK_YOBI,第2薄膜晶体管MK_YOBI的其它端子连接于第1薄膜晶体管MK的对应端子,至少一个悬浮的端子形成为能与规定的配线N2连接。由此,能够提高构成单片栅极驱动器的移位寄存器的成品率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及移位寄存器,特别涉及形成于液晶显示面板、有机EL显示面板的有源矩阵基板的移位寄存器。
技术介绍
近年来,在每个像素中具有薄膜晶体管(Thin Film Transistor ;以下记为“TFT”) 的液晶显示装置、有机EL显示装置得到普及。TFT利用形成于玻璃基板等基板上的半导体层来制作。形成有TFT的基板称为有源矩阵基板。作为TFT,以往广泛使用将非晶硅薄膜作为活性层的TFT(以下记为“非晶硅 TFT”)、将多晶硅膜作为活性层的TFT(以下记为“多晶硅TFT”)。多晶硅膜中的载流子迁移率高于非晶硅膜,因此,多晶硅TFT具有高于非晶硅TFT 的导通电流,能够高速工作。因此,开发出了如下显示面板,不仅像素用TFT由多晶硅TFT 构成,驱动器等周边电路用TFT的一部分或全部也由多晶硅TFT构成。这样,有时将形成于构成显示面板的绝缘性基板(典型的是玻璃基板)的驱动器称为单片驱动器。驱动器中有栅极驱动器和源极驱动器,也有时仅将任意一方的驱动器设为单片驱动器。这里,所谓显示面板是指在液晶显示装置和有机EL显示装置内具有显示区域的部分,不包括液晶显示装置的背光源、边框等。在本说明书中,将包含单片栅极驱动器的显示面板称为“栅极驱动器单片面板”。 栅极驱动器单片面板具有排列有多个像素的显示区域(也称为像素部)和设于像素部的周缘、形成栅极驱动器等驱动电路的边框区域(也称为周边区域)。另一方面,为了对在制造阶段产生的断线故障进行修复,有时在显示面板形成修复线。例如在专利文献1中提出设置用于修复信号线的修复线的方案。此外,专利文献2 中提出通过在形成于边框区域的数据驱动器中设置虚拟缓冲部来对数据配线故障进行修复的方案。现有技术文献专利文献专利文献1 特开2008-165237号公报专利文献2 特开2008-26900号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在栅极驱动器单片面板中,通常,边框区域(特别是移位寄存器)的图案密度高于像素部的图案密度。其理由如下。在像素部,为了提高显示的对比度,优选提高开口率,配线和元件对单位面积所占的比例变小。而在边框区域,为了抑制边框区域的面积(窄边框化),需要将包含移位寄存器的驱动电路布置在尽量狭窄的空间。因此,优选最紧密地填充配线、元件(最紧密填充构4造),单位面积内的配线、元件所占的比例变大。这样,当移位寄存器的图案密度高时,在栅极驱动器单片面板的制造阶段,在移位寄存器产生断线、漏电等故障的比例变高。当移位寄存器的哪怕一部分产生故障时,有时信号也不被送到故障产生部位的下级,会造成面板整体的故障。因此,一个部位的故障将成为面板整体的故障,所以成品率降低。本专利技术鉴于上述问题完成,其主要目的是通过对在单片栅极驱动器中的移位寄存器产生的断线故障进行修复来提高成品率。用于解决问题的方案本专利技术的移位寄存器为由绝缘性基板支撑的移位寄存器,具有分别依次输出输出信号的多个级,所述多个级分别具有包含多个薄膜晶体管的电路,所述多个薄膜晶体管包含与所述电路的工作相关的第1薄膜晶体管和具有至少一个悬浮的端子的第2薄膜晶体管,所述第2薄膜晶体管的其它端子连接于所述第1薄膜晶体管的对应端子,所述至少一个悬浮的端子形成为可以与规定的配线连接。在某优选实施方式中,从所述基板的上方观察到的所述第1薄膜晶体管和第2薄膜晶体管的沟道区域的形状大致相同。在某优选实施方式中,所述第1薄膜晶体管和第2薄膜晶体管具有源极电极和漏极电极的任一方与栅极电极相连接的构造,所述第2薄膜晶体管中的源极电极和漏极电极的另一方悬浮。在某优选实施方式中,所述第2薄膜晶体管中的所述至少一个悬浮的端子的延长部和所述第1薄膜晶体管中与所述悬浮的端子相对应的端子的延长部以相互不连接的状态重叠。从所述基板的上方观察到的所述重叠的部分的形状也可大于10 μ mX 10 μ m。设所述第1薄膜晶体管的3个端子为1A、1B、1C,设所述第2薄膜晶体管的3个端子为2A、2B、2C,当使所述端子2A与所述端子IA对应、所述端子2B与所述端子IB对应、所述端子2C与所述端子IC对应时,所述端子2A、1A、2C、1C由第1导电膜形成,所述端子2B 和端子IB由与所述第1导电膜不同的第2导电膜形成,至少所述端子2C可连接于所述端子IC0所述端子2B也可连接于所述端子IB。优选在所述第1薄膜晶体管和所述第2薄膜晶体管之间不存在其它的薄膜晶体管。在某优选实施方式中,所述第1薄膜晶体管和第2薄膜晶体管具有相同个数的沟道,所述沟道的数量为5个以下。所述沟道的数量也可为1个。所述第1薄膜晶体管中与所述悬浮的端子相对应的端子具有延长部,所述第1薄膜晶体管的所述延长部的长度优选为100 μ m以上。本专利技术的其它的移位寄存器为由绝缘性的基板支撑的移位寄存器,具有分别依次输出输出信号的多个级,所述多个级的至少一个具有包含多个薄膜晶体管的电路,所述多个薄膜晶体管包含与所述电路的工作相关的薄膜晶体管Ml和具有至少一个悬浮的端子的薄膜晶体管M2,所述薄膜晶体管M2的其它端子与所述薄膜晶体管Ml的对应端子连接,所述薄膜晶体管Ml中与所述悬浮的端子相对应的端子的延长部与规定的配线重叠,在该重叠的部分施以熔化处理,由此,所述薄膜晶体管Ml的延长部与所述规定的配线相互连接。本专利技术的有源矩阵基板具有上述记载的任一种移位寄存器。本专利技术的显示面板具有上述记载的任一种移位寄存器。本专利技术的移位寄存器的制造方法为上述移位寄存器的制造方法,包含如下工序 检查所述电路的所述第1薄膜晶体管中是否产生了故障;当在所述进行检查的工序中确认产生了故障时,进行如下修复处理将所述第1薄膜晶体管从所述电路分离,并且将所述第 2薄膜晶体管中的所述悬浮的端子连接于所述规定的配线,所述修复处理包含对所述重叠的部分施以熔化处理而使所述第2薄膜晶体管的所述悬浮的端子连接于所述规定的配线的工序。专利技术效果根据本专利技术,在栅极驱动器单片面板的制造阶段,即使在移位寄存器发生断线、漏电等故障,也能够对故障部位进行修复并使移位寄存器正常工作。因此,能够提高栅极驱动器单片面板的成品率。附图说明图1 (a)是本专利技术的实施方式的液晶显示面板100的示意性平面图,(b)是表示一个像素的示意性构造的平面图。图2 (a)是说明栅极驱动器110中所包含的移位寄存器IlOA的构成的框图,(b)是对(a)所示构成进行简化的平面图。图3是表示输入移位寄存器IlOA的时钟信号的波形的图。图4是本实施方式的其它液晶显示面板的示意性平面图。图5是表示未设置修复用TFT的情况下的比较例的移位寄存器IlOA的一个级的电路10的图。图6是表示移位寄存器IlOA的各级的输入输出信号的波形和节点Ni、N2的电压波形的图。图7(a)是表示本专利技术的第1实施方式的移位寄存器的一个级的电路20的构成的图,(b)是电路20中包含修复用TFT的虚线部分的示意性放大平面图。图8(a) (c)是举例表示用于电路20的TFT的各种构成的平面图。图9是表示在图8 (c)中所示的TFT产生故障的情况下,不使用修复用TFT来进行修复的方法的图。图10(a)是表示本专利技术的第2实施方式的移位寄存器的一个级的电路50的构成的图,(b)是电路50中包含修复用TFT的虚线部分的示意性放大平面图。图11是表示图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:坂本真由子岩濑泰章
申请(专利权)人:夏普株式会社
类型:发明
国别省市:

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