一种传动设备和载板制造技术

本实用新型专利技术的实施例提供了一种传动设备和载板，涉及机械技术领域，为有效提高传输稳定性而设计。所述传动设备，包括传动轨道和用于承载被传动物的载板，所述载板在所述传动轨道上被传送，所述传动轨道的两侧分别设置有导向轨，所述导向轨上设置有凹槽，所述凹槽设置在所述导向轨的朝向于所述传动轨道的表面上；所述载板上设置有与所述凹槽相适应的导向部，当所述载板被传送时，所述导向部深入至所述凹槽中并在所述凹槽中移动。本实用新型专利技术可用于太阳能电池制作过程中。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及机械
，尤其涉及一种传动设备和载板。
技术介绍
目前，在半导体加工
，传动设备的应用非常广泛。以太阳能电池生产过程的等离子体增强化学气相沉积(PECVD，Plasma Enhance Chemical Vapor Deposition)工艺为例，在工艺过程中，电池片在装载台完成装载，通过传动设备传输至预热腔进行预热， 在温度达到设定温度后，通过传动设备传输到工艺腔，在工艺腔完成沉积工艺后，通过传动设备传输至冷却腔进行冷却，冷却后，通过传动设备传输至卸载台。整个工艺过程中，电池片需要放置在载板上进行传输。现有技术中，载板通常为长方体板状结构，传输过程中放置于传动设备的传动轨道上；其中，传动轨道通常由滚轮或者传送带形成，载板依靠滚轮或传送带的转动而传动； 在传动轨道的两侧，还设置有导向轮，用于控制载板的传输方向；若载板在传输过程中发生了偏移，将碰触到导向轮，导向轮将矫正载板的前进方向，使载板恢复原来的传输方向。但是，由于载板的传输方向依靠传动轨道两侧的导向轮控制，实际应用中容易造成载板传输的稳定性差，容易出现载板脱轨、导向轮卡住载板等现象。
技术实现思路
本技术的主要目的在于，提供一种传动设备和载板，能够有效提高传输稳定性。为达到上述目的，本技术采用如下技术方案一种传动设备，包括传动轨道和用于承载被传动物的载板，所述载板在所述传动轨道上被传送；所述传动轨道的两侧，分别设置有导向轨，所述导向轨上设置有凹槽，所述凹槽设置在所述导向轨的朝向于所述传动轨道的表面上；所述载板上设置有与所述凹槽相适应的导向部，当所述载板被传送时，所述导向部深入至所述凹槽中并在所述凹槽中移动。 一种载板，所述载板上设置有导向部。 采用上述技术方案后，本技术实施例提供的传动设备和载板，由于传动轨道的两侧设置有具有凹槽的导向轨，而载板上设置有与凹槽相适应的导向部，在载板被传动设备传送时，导向部深入至凹槽中并在凹槽中移动，因此，在载板的传输方向发生偏移时， 导向部将与凹槽壁相接触，在凹槽壁的作用力下，使载板恢复至正常的传输路线，同时，在凹槽的限制下，不易出现载板脱轨或被导向轮卡住的现象，而且载板在传输过程中不会上下震动，有效提高了传输稳定性。附图说明3为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术提供的传动设备的结构示意图；图2为本技术提供的传动设备的导向轨的侧面结构示意图；图3为本技术提供的传动设备的工作原理示意图；图4为本技术提供的传动设备的载板的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1为本技术传动设备的一个具体实施例，结合图1至图4所示，本实施例的传动设备，包括传动轨道1和载板2，其中，载板2用于承载被传动物，并在传动轨道1上被所述传动设备所传送；本实施例中，在传动轨道1的两侧分别设置有导向轨3，导向轨3上设置有凹槽4， 凹槽4设置在导向轨3的朝向于传动轨道1的表面上；在载板2上设置有与凹槽4相适应的导向部5，本实施例中，导向部4包括4个滑轮51，该4个滑轮51分别设置于载板5的四角；当载板2被所述传动设备所传送时，导向部5、本实施例中即滑轮51深入至凹槽4 中并在凹槽4中移动。本实施例提供的载板，由于传动轨道1的两侧设置有具有凹槽4的导向轨3，而载板2上设置有与凹槽4相适应的导向部5，如图3所示，在载板1被所述传动设备传动时，导向部5，本实施例中即滑轮51深入至凹槽4中并在凹槽4中移动，因此，在载板2的传输方向发生偏移时，滑轮51将与凹槽4的凹槽壁相接触，在凹槽壁的作用力下，使载板2恢复至正常的传输路线，同时，在凹槽4的限制下，不易出现载板2脱轨或被导向轮卡住的现象，而且载板2在传输过程中不会上下震动，有效提高了传输稳定性。具体的，传动轨道1通常由滚轮或者传送带所形成，本技术对此不做限定。对于以滚轮方式进行传动的传动设备，所有传动滚轮的有序排列形成其传动轨道，而对于用传送带进行传动的传动设备，传送带的运行轨迹形成其传动轨道。较佳的，由于当载板2被所述传动设备所传送时，导向部5要深入至凹槽4中并在凹槽4中移动，而在载板2的传送方向发生偏移时，导向部5将与凹槽4的凹槽壁相接触， 凹槽4与导向部5之间的摩擦力较大，凹槽4或导向部5都会受到一定程度的摩擦损伤，因此，可将凹槽4的底部设置为圆弧状，以减小凹槽4与导向部5之间的摩擦。本实施例中，每个滑轮51设置于载板2的一角。可选的，本实施例中，如图3所示，每个滑轮51均通过安装支架52设置于载板2的一角上；其中，安装支架52呈三角形，4这种三角形安装支架52包括顶角固定部521和两个底角固定部522，顶角固定部521通过螺丝固定于滑轮51的中心，而两个底角固定部522通过螺丝固定于载板2上，即每个滑轮 51通过三个螺丝定位，其中两个螺丝通过底角固定部522穿过载板，另一个螺丝通过顶角固定部521穿过滑轮51的中心，这样的设置方式通过三角定位，能够有效保证滑轮51安装在载板2上的稳定性。当然，还可以以其他方式将滑轮51设置于载板2上，本技术对此不做限定。可以理解的是，虽然本实施例中，导向部5包括4个分别设置于载板2的四角的滑轮51，但本技术不限如此，在本技术的其他实施例中，滑轮51的个数及设置位置不限，例如，滑轮51可以设置在载板2的两侧边缘等，只需保证在载板2的传动方向发生偏移时，滑轮首先接触到凹槽4的凹槽壁即可。当然，可以理解的是，本技术提供的传动设备，导向部5不限于滑轮。例如，在本专利技术的其他实施例中，导向部5可以为设置于载板2两侧边缘的导向凸起，当载板2被传送时，所述导向凸起深入至凹槽4中并在凹槽4中移动。优选的，所述导向凸起的表面可设置为圆弧状，以减小导向凸起与凹槽4之间的摩擦力。相应的，本技术还提供了一种载板，所述载板上设置有导向部。具体的，所述载板可为前述本技术实施例中所述载板中的任意一种。可选的，所述导向部包括导向凸起或滑轮；在本技术的一个实施例中，所述导向部包括4个滑轮，所述4个滑轮分别设置于所述载板的四角；具体的，每个所述滑轮通过安装支架设置于所述载板的一角；所述安装支架呈三角形，所述三角形安装支架设置有顶角固定部和两个底角固定部；所述顶角固定部通过螺丝固定于所述滑轮的中心；所述两个底角固定部通过螺丝固定于所述载板上。本技术提供的载板，由于载板上设置有导向部，因此，能够与传动设备中具有凹槽的导向轨相配合，在载板被传动设备传送时，导向部深入至凹槽中并在凹槽中移动，因此，在载板的传输方向发生偏移时，导向部将与凹槽壁相接触，在凹槽壁的作用力下，使载板恢复至正常的传输路线，同时，在凹槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种传动设备，包括传动轨道和用于承载被传动物的载板，所述载板在所述传动轨道上被传送，其特征在于，所述传动轨道的两侧分别设置有导向轨，所述导向轨上设置有凹槽，所述凹槽设置在所述导向轨的朝向于所述传动轨道的表面上；所述载板上设置有与所述凹槽相适应的导向部，当所述载板被传送时，所述导向部深入至所述凹槽中并在所述凹槽中移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵海洋，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：11