真空用阀制造技术

本发明专利技术提供一种真空用阀，在与阀芯连结的轴的内部的加热器孔内收容有筒式加热器，该筒式加热器的前端的发热部配置在上述轴与阀芯的连结部的位置，在上述连结部，在上述阀芯与轴的相互抵接的面的相对的位置形成有与上述加热器孔连通的受热槽和加压部，上述受热槽包括具有半径与上述筒式加热器的发热部的半径相等的圆弧状的槽部分，在将上述发热部配置在上述受热槽与加压部之间的状态下，用螺栓相互固定上述阀芯和轴，从而使该发热部被上述加压部加压而以面接触的方式紧贴于上述受热槽的圆弧状的槽部分的内周。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种安装在半导体制造装置的真空腔室而用于与该真空腔室连通的开口的开闭的真空用阀。
技术介绍
在半导体制造装置中，使用真空用阀开闭与真空腔室连通的开口。该真空用阀的结构为在具有上述开口的阀盒(日文弁箱)内收容有阀芯(日文弁体)，轴的前端部连结于该阀芯，用阀芯驱动部驱动该轴，从而由上述阀芯对上述开口进行开闭。上述真空用阀中，由于在与反应气体接触的部分生成并附着有反应物，该反应物给阀芯的开闭动作带来不良影响，因此，不使反应物附着是很重要的。为此，以往，如以下的专利文献1、专利文献2所述，在阀芯、轴等与反应气体接触的部分安装加热器，用该加热器对上述各部分、特别是阀芯进行加热。但是，在上述专利文献1和专利文献2所述的阀芯的加热方式中，在轴的内部设有加热器、并且在阀芯的背面设有加热板、将上述加热器的热经由该加热板传递至阀芯这样的方式，由于是经由加热板间接加热，因此存在传热效率差这样的问题。另外，在阀芯的背面形成有围绕该阀芯的周缘的环状的槽、在该槽内收容有加热器而对阀芯进行加热的方式的阀芯不仅在阀芯上形成环状的槽很麻烦，而且必须在阀芯的背面安装密封板和加热板而将上述槽密闭，因此，存在加热器的安装构造复杂，而且还无法更换该加热器这样的问题。专利文献1 日本特开9469072号公报专利文献2 日本特开11-325313号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能用加热器直接且高效地加热阀芯、并且容易将加热器安装在阀芯和轴上，还能简单更换该加热器的真空用阀。为了实现上述目的，根据本专利技术，一种真空用阀，其在具有开口的阀盒内收容有阀芯，轴的前端部连结于该阀芯，用阀芯驱动部驱动该轴，从而由上述阀芯对上述开口进行开闭，其特征在于，在上述轴的内部形成有沿该轴的轴线方向延伸的圆形的加热器孔，在该加热器孔内收容有圆柱状的筒式加热器，并且，该筒式加热器的前端的发热部配置在上述轴与阀芯的连结部的位置，在上述连结部，在上述阀芯与轴的相互抵接的面的相对的位置形成有与上述加热器孔连通的受热槽和加压部，上述受热槽包括具有半径与上述筒式加热器的发热部的半径相等的圆弧状的槽部分，在将上述发热部配置在上述受热槽与加压部之间的状态下，用螺栓相互固定上述阀芯和轴，从而使该发热部被上述加压部加压而以面接触的方式紧贴于上述受热槽的圆弧状的槽部分的内周。本专利技术优选为在上述连结部，在上述阀芯的内部形成有沿该阀芯的宽度(日文 横幅)方向延伸的连结孔，在上述轴的前端形成有沿该轴的轴线方向延伸而嵌合于上述连结孔内的连结杆，在上述连结孔与连结杆的相互抵接的孔壁面和杆壁面上形成有上述受热槽和加压部。本专利技术优选为在上述轴上形成有与上述受热槽面对的加压槽，在该加压槽的槽面形成有上述加压部。另外，本专利技术也可以是上述加热器孔的前端部在上述轴与阀芯的连结部的位置通过上述受热槽连通于阀盒内，该加热器孔的基端部被气密地闭塞，由此，在上述阀盒内处于真空状态时，上述受热槽和加热器孔成为真空状态。本专利技术优选为上述阀芯是铝合金制，上述轴是不锈钢制。采用本专利技术，使筒式加热器的发热部的外周以面接触的方式紧贴于形成在阀芯上的圆弧状的受热槽的内周，利用热传导直接向阀芯传递热，所以，与用辐射传递热的情况相比，热传导性更优良，能高效加热阀芯。另外，将上述筒式加热器插入轴的加热器孔内而将发热部配置在阀芯的受热槽与轴的加压部之间，用螺栓固定上述阀芯和轴，从而使上述发热部被加压部加压而紧贴于受热槽，所以，容易安装筒式加热器，能简单地进行更换。附图说明图1是局部剖切本专利技术的真空阀的一实施方式而从阀芯的背面侧看的后视图。图2是图1的II 一 II剖视图。图3是阀芯的要部放大俯视图。图4是图1的IV-IV剖视图。图5是图4的纵剖视图，用假想线表示筒式加热器。图6是分开表示阀芯、轴和筒式加热器的要部立体图。图7是表示阀芯与轴的连结部的不同的结构例的要部剖视图。具体实施方图1是局部剖切并概略示出本专利技术的真空用阀的一实施方式的图。该真空用阀与半导体制造装置的真空腔室连接而对与该真空腔室连通的开口 3进行开闭，在该真空腔室排气、半导体晶圆相对于该真空腔室出入时等对上述开口 3进行开闭。上述真空用阀具有与上述真空腔室连接的阀盒1以及配设在该阀盒1的下部的阀芯驱动部2。上述阀盒1为横长的四角箱形，如图2所示，在相对的前后的壁Ia和Ib上形成有与上述真空腔室连通的横长的矩形的第1开口 3和第2开口 4，在该阀盒1的内部的阀壳体 5内收容有对前方的壁Ia的第1开口 3进行开闭的横长的矩形阀芯6。而且，在上述前方的壁Ia的内表面以包围上述第1开口 3的方式形成有矩形或长圆形的阀座部7，在上述阀芯6的前表面装设有与该阀座部7抵接而封闭上述第1开口 3的矩形或长圆形的阀密封件 8。在上述阀芯6的长度方向的中央位置连结有轴10的前端部(上端部)，该轴10的基端部(下端部)以非接触状态贯通上述阀盒1的底壁Ic以及固定于该底壁Ic的驱动部上壁加而延伸至上述阀芯驱动部2的内部。在上述轴10的基端部通过将上述基端部嵌合在盖体14的安装孔15内来安装该盖体14，该盖体14的垂直截面为大致H字形，该盖体14的俯视形状为大致长方形。4在上述盖体14的中央孔16的内底部的位置安装有气密地包围轴10的第1支承环17，另外，在上述驱动部上壁加隔着0形密封圈气密地安装有包围上述轴10的第2支承环18，包围轴10的波纹管19的一端和另一端分别被气密地固定在上述第1支承环17和第 2支承环18。上述波纹管19的内侧与轴10的外侧之间的空间20与上述阀壳体5连通，但是与大气隔断。因而，上述阀壳体5除了上述2个开口 3、4之外是密闭的空间。上述阀芯驱动部2具有实质上与本申请人提出的日本特开平11-325315号公报公开的高真空阀的阀芯驱动部相同的结构，其结构本身已经是公知的，在此简单说明其结构和作用。上述阀芯驱动部2具有安装于上述驱动部上壁加的左右一对气缸23a、23b，该气缸23a、2!3b的活塞杆Ma，24b连结于传动构件25，该传动构件25借助未图示的连结机构连结于上述盖体14。该连结机构以使上述传动构件25和盖体14能沿轴10的轴线方向相对移动但不能离开设定距离以上的方式进行连结，并且，在处于上述传动构件25与盖体14之间的弹簧的作用力的作用下通常将该传动构件25和盖体14保持在离开设定距离的状态。而且，上述阀芯驱动部2通过使上述气缸23a、23b的活塞杆Ma、24b伸缩而借助上述传动构件25和盖体14沿图1的上下方向驱动上述轴10，从而使与该轴10的前端连结的上述阀芯6在使上述第1开口 3全开的全开位置(图2的虚线位置)、虽然与该第1开口 3面对但没有封闭的面对位置(图2的实线位置)、将阀密封件8推压于阀座部7而将第1 开口 3封闭的封闭位置之间移动。图1中的符号是安装在上述盖体14的两侧面的上端附近的位置的支点辊，符号27a、27b是安装上述盖体14的两侧面的下端附近的位置的引导辊，符号^aJSb 表示安装于上述传动构件25的凸轮板，该凸轮板^a、28b具有与上述引导辊27a、27b卡合的凸轮槽，上述支点辊^a、26b、引导辊27a、27b和凸轮板^aJSb为了进行阀芯6的开闭动作而如下述那样发挥作用。上述支点辊沈3、2乩从阀芯6处于本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种真空用阀，其在具有开口的阀盒内收容有阀芯，轴的前端部连结于该阀芯，用阀芯驱动部驱动该轴，从而由上述阀芯对上述开口进行开闭，其特征在于，在上述轴的内部形成有沿该轴的轴线方向延伸的圆形的加热器孔，在该加热器孔内收容有圆柱状的筒式加热器，并且，该筒式加热器的前端的发热部配置在上述轴与阀芯的连结部的位置，在上述连结部，在上述阀芯与轴的相互抵接的面的相对的位置形成有与上述加热器孔连通的受热槽和加压部，上述受热槽包括具有半径与上述筒式加热器的发热部的半径相等的圆弧状的槽部分，在将上述发热部配置在上述受热槽与加压部之间的状态下，用螺栓相互固定上述阀芯和轴，从而使该发热部被上述加压部加压而以面接触的方式紧贴于上述受热槽的圆弧状的槽部分的内周。

【技术特征摘要】
2010.05.25 JP 2010-1198581.一种真空用阀，其在具有开口的阀盒内收容有阀芯，轴的前端部连结于该阀芯，用阀芯驱动部驱动该轴，从而由上述阀芯对上述开口进行开闭，其特征在于，在上述轴的内部形成有沿该轴的轴线方向延伸的圆形的加热器孔，在该加热器孔内收容有圆柱状的筒式加热器，并且，该筒式加热器的前端的发热部配置在上述轴与阀芯的连结部的位置，在上述连结部，在上述阀芯与轴的相互抵接的面的相对的位置形成有与上述加热器孔连通的受热槽和加压部，上述受热槽包括具有半径与上述筒式加热器的发热部的半径相等的圆弧状的槽部分，在将上述发热部配置在上述受热槽与加压部之间的状态下，用螺栓相互固定上述阀芯和轴，从而使该发热部被上述加压部加压而以面接触的方式紧贴于上述受热槽的...

【专利技术属性】
技术研发人员：石垣恒雄，小川浩司，下田洋己，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP