改良的真空室角阀制造技术

本发明专利技术公开了一种改良的真空室角阀，该角阀包括：气缸、进气口、抽气口一、抽气口二、密封片、以及活动接头等。本发明专利技术改良的真空室角阀中，所述密封片通过活动接头安装于所述活塞杆的顶端，以及在所述活动接头中所述弧形接头被卡在所述连接槽内且所述弧形接头与连接槽之间留有间隙。因此，当密封片通过所述活塞杆的压力密封住所述分子泵的进气口时，如果所述密封片与所述分子泵的进气口处并非完全贴合在一起，可以通过弧形接头在所述连接槽内的活动而加以自动调整，使得密封片与进气口均匀且紧密的结合在一起，从而提高了密封效果和密封的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种改良的真空室角阀，其特征在于，该角阀包括：气缸（１１），其固定于角阀体（１０）上；进气口（１９），其用于与真空室密封连接；抽气口一（１４），其用于与外部机械泵密封连接；抽气口二（１８），其作为分子泵（１７）的出气口；以及密封片（１５），其通过活动接头（１６）安装于所述活塞杆（１２）的顶端，该密封片（１５）通过所述活塞杆（１２）的压力可以密封住所述分子泵（１７）的进气口；其中，所述活动接头（１６）包括：连接槽（２１），其位于所述密封片（１５）的中部；弧形接头（２０），其固定于所述活塞杆（１２）的顶端，该弧形接头（２０）被卡在所述连接槽（２１）中且所述弧形接头（２０）与连接槽（２１）之间留有空隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：阮佳龙，康进昌，
申请(专利权)人：昆山振昆纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32