【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用以在打线的一端形成一结球或从一毛细接合工具延伸引线的新装置,且特别是涉及一种在打线制作工艺中形成一结球于打线的一端的新装置,其提供一保护气体在结球形成时所需的流场中。
技术介绍
电连接引脚或打线至一半导体芯片或固定于一引脚架或一基板的一芯片上用以结合外部电路通常是通过结球/楔形接合(ball/wedge bonding)。依据此技术,一引线或打线11被夹于毛细工具12内,因此打线11突出于毛细工具12的一端,请参考图1。毛细工具12形成部分结球接合机台,此工具适合固定且定位一整合电路芯片或其他基板上的硬化的芯片接垫15上。请参考图1,通过例如是一电极13来融化以形成一金属的结球17于打线11的一端。此过程通常称为火炬(flame off)。 在固化后,位于打线11一端的熔融态的球体17亲密接触于硬化后的芯片接垫15,请参考图2。一接合通常是以一特定外力与温度在一特定时间内通过热压缩接合(thermo-compression bonding)。金属的熔接与扩散的结合以形成此基本接合。二者择一地,超音波接合或其他方式所形成的能量也可被利用。接着,毛细工具12与基板相对移动以将打线接合至其他位置,例如是一位于引脚架或一基板上的指状物。在此位置上,通常会形成介于打线11与指状物之间一楔形接合,打线11是由下方的接合工具所切断。此方法中,一引线连接建立于一硬化的芯片接垫与引脚架或基板之间,用以电连接至外部电路。 结球接合为一较佳的方法来熔融引脚或接合打线至整合电路芯片上的芯片接垫,因为结球可忍受一较大范围的接合参数且无减弱打线的强度。然而,在 ...
【技术保护点】
一种打线机台,包括:主体;夹块,具有一限定于其中的腔室以及一形成于该夹块的一侧壁且连通该腔室的中心孔;固定块,具有一向上延伸以固定于该主体上的定位构件以及一向下延伸至该夹块的该腔室的电极夹持构件;气体供应管,连接该夹块的该腔室,用以供应一保护气体;遮蔽气体供应装置,具有限定于其中的一连续气体通道以及一孔洞,其中该遮蔽气体供应装置通过该中心孔而固定于该夹块上,且该连续气体通道连通该腔室;毛细工具,相对于一芯片上的多个将被接合的芯片接垫固定于该主体,用以上下往复运动在该遮蔽气体供应装置的该孔洞内;以及电极,该电极夹持构件夹持该电极的一端,而该电极的另一端延伸于该连续气体通道内且至该孔洞;其中该保护气体流入一稳定流场中,其环绕于该遮蔽气体供应装置的该连续气体通道的该孔洞区域内。
【技术特征摘要】
US 2009-9-3 61/275,846;US 2009-12-2 12/629,3631.一种打线机台,包括:主体;夹块,具有一限定于其中的腔室以及一形成于该夹块的一侧壁且连通该腔室的中心孔;固定块,具有一向上延伸以固定于该主体上的定位构件以及一向下延伸至该夹块的该腔室的电极夹持构件;气体供应管,连接该夹块的该腔室,用以供应一保护气体;遮蔽气体供应装置,具有限定于其中的一连续气体通道以及一孔洞,其中该遮蔽气体供应装置通过该中心孔而固定于该夹块上,且该连续气体通道连通该腔室;毛细工具,相对于一芯片上的多个将被接合的芯片接垫固定于该主体,用以上下往复运动在该遮蔽气体供应装置的该孔洞内;以及电极,该电极夹持构件夹持该电极的一端,而该电极的另一端延伸于该连续气体通道内且至该孔洞;其中该保护气体流入一稳定流场中,其环绕于该遮蔽气体供应装置的该连续气体通道的该孔洞区域内。2.如权利要求1所述的打线机台,其中该固定块的该电极夹持构件形成具有一电极夹持部的一分裂,用以夹持该电极,且该固定块印刷一高导电材料在其完整外表面上,以增加该电极的电火炬(electronic flame off)的表现。3.如权利要求1所述的打线机台,其中该夹块具有多个环绕该腔室的固定孔,且该固定块具有多个对应该夹块的该些固定孔的孔,多个扣件通过该固定块的该些孔进入该夹块的该些固定孔而将该固定块固定至该夹块,此方式当该电极对应于该毛细工具而组装至该夹具以准确地定位于该遮蔽气体供应装置内时,该电极的位置可调整至所需的位置。4.如权利要求1所述的打线机台,其中该遮蔽气体供应装置的该连续气体通道包括一从该腔室延伸至该孔洞的直线通道以及一位于该孔洞与一排气口之间的曲线通道。5.一种打线机台,包括:主体;夹块,具有一限定于其中的腔室以及一形成于该夹块的一侧壁且连通该腔室的中心孔;固定块,具有一向上延伸以固定于该主体上的定位构件以及一向下延伸至该夹块的该腔室的电极夹持构件;气体供应管,连接该夹块的该腔室,用以供应一保护气体;遮蔽气体供应装置,具有限定于其中的一气体通道以及一孔洞,其中该遮蔽气体供应装置通过该中心孔而固定于该夹块上,且该气体通道连通该腔室;毛细工具,相对于一芯片上的多个将被接合的芯片接垫固定于该主体,用以上下往复运动于该遮蔽气体供应装置的该孔洞内;以及电极,该电极夹持构件夹持该电极的一端,而该电极的另一端延伸于该气体通道内且至该孔洞;其中该固定块印刷一高导电材料在其完整外表面上,以增加该电极的电火炬(electronic flame off)的表现。6.如权利要求5所述的打线机台,其中该固定块的该电极夹持构件形成具有一电极夹持部的一分裂,用以夹持该电极。7.如权利要求5所述的打线机台,其中该夹块具有多个环绕该腔室的固定孔,且该固定块具有多个对应该夹块的该些固定孔的孔,多个扣件通过该固定块的该些孔进入该夹块的该些固定孔而将该固定块固定至该夹块,此方式当该电极对应于该毛细工具而组装至该夹具以准确地定位于该遮蔽气体供应装置内时,该电极的位置可调整至所需的位置。8.如权利要求5所述的打线机台,其中该遮蔽气体供应装置的该气体通道包括一从该腔室延伸至该孔洞的直线通道以及一位于该孔洞与一排气口之间的曲线通道,该直线通道与该曲线通道...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄凯麟,杜嘉秦,
申请(专利权)人:日月光半导体制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71
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