本发明专利技术提供电光装置用基板、电光装置以及电子设备。电光装置具备：基板；按每一像素设置的像素电极；与像素电极相比隔着层间绝缘膜靠下层侧按每一像素设置、与像素电极连接的像素晶体管；设置于周边区域的周边晶体管；在不形成像素晶体管及周边晶体管的栅绝缘膜及层间绝缘膜的区域内与像素电极由同一膜形成、与周边晶体管连接的连接线。
Substrate for electro-optical device, electro-optical device, and electronic device
The invention provides a substrate for an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic device. The electro-optical device includes: a substrate; the pixel electrode of each pixel is provided; and the pixel electrode compared across the interlayer insulating film on the lower side of the pixel transistor in each pixel set, connected with the pixel electrode; peripheral transistor is arranged in the surrounding areas of the film; and an interlayer insulating film region and the pixel electrode is formed and connected the line connected with the peripheral transistor by the same film without forming a pixel transistor transistor and surrounding gate insulator.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电光装置用基板、具备该电光装置用基板的电光装置以及具备该电光装置的电子设备的
技术介绍
作为这种电光装置用基板的一例，例如有下述有源矩阵基板用于有源矩阵驱动方式的电泳显示装置等电光装置，在基板上具备像素电极、用于进行该像素电极的选择驱动的扫描线、数据线以及作为像素开关元件的薄膜晶体管(TFT:Thin Film Transistor) 0 以上的构成要素，在基板上成为层叠结构而形成。各构成要素通过层间绝缘膜划分为各层而配置，并且经由形成于层间绝缘膜的接触孔(或也称为“通孔”)适宜电连接。此外，用于这种电光装置的基板，从以往的缺乏柔软性的(即硬的)玻璃基板变化为轻量且柔软性优异的(即柔性的)塑料基板。因此，期望具备与基板的柔软性对应的TFT 的电光装置用基板。例如在专利文献1中，公开了通过使用印刷法在应该成膜的区域限定性地涂敷材料来制造有机薄膜晶体管的技术。根据这样的技术，能够减少用于形成接触孔的蚀刻工序。专利文献1特开2009-38337号公报但是，在上述的专利文献1中，由于栅绝缘膜遍及基板整面而形成，所以会产生以下的问题。第1问题点是由于栅绝缘膜在基板整面形成，所以在使用塑料基板时基板会因膜内的应力而挠曲。第2问题点是由于栅绝缘膜遍及基板整面而存在，所以需要对栅绝缘膜进行栅电极与外部电路的连接用或基板上的保护二极管等电路的制作用的接触孔的开孔的工序，制造工序变得繁杂。第3问题点是由于遍及基板整面形成栅绝缘膜，所以违背了省资源、低成本的要求。已知若基板存在大的应力则不仅最终产品的形状会变形，而且若在工序过程中也产生基板的挠曲则不能够进行输送，极端时基板会成为卷状，在后续的工序中将不能够进行处理。进而，还已知由于应力与重复制膜一同变大，所以工序越往后则问题越大。这些问题在如上所述使用塑料基板时变得更加显著。
技术实现思路
本专利技术是例如鉴于上述的问题之中的至少1个而实现的，其目的在于提供能够适应于省资源以及低成本的要求且抑制基板的挠曲的电光装置用基板、电光装置以及电子设备。本专利技术的电光装置用基板，为了解决上述问题，是具有排列有多个像素的显示区域的电光装置用基板，其具备基板；像素电极，其在前述基板上按前述每一像素而设置； 像素晶体管，其在前述基板上、比前述像素电极靠下层侧按前述每一像素而设置，包含选择性地设置于前述基板上的预定的区域的栅绝缘膜，且其与前述像素电极电连接；层间绝缘膜，其配置于前述像素电极与前述像素晶体管之间，选择性地设置于前述基板上的预定的区域；周边晶体管，其在前述基板上设置在位于前述显示区域的周边的周边区域；以及连接线，其在不形成构成前述像素晶体管及前述周边晶体管的栅绝缘膜及前述层间绝缘膜的区域内，与前述像素电极由同一膜形成，且其与前述周边晶体管电连接。根据本专利技术的电光装置用基板，例如在矩阵状地排列有多个像素的显示区域(适宜地，也称为像素区域或图像显示区域)，通过对按每一像素设置的像素电极施加图像信号，可以实现由所谓的有源矩阵方式实现的图像显示。本专利技术的“像素晶体管”，按每一像素设置，与像素电极电连接。像素晶体管，例如排列于矩阵状地配置有多个像素的显示区域，其通过作为各像素的开关元件起作用，可以进行例如由所谓的有源矩阵方式实现的图像显示。即，通过使与像素电极电连接的像素晶体管以预定的定时导通或截止，来控制对于像素电极的图像信号的施加定时。像素电极是例如由IToandium Tin Oxide 氧化铟锡)等透明导电材料构成的透明电极或金属等不透明电极。此外，像素晶体管比像素电极靠下层侧形成。换言之，在像素晶体管与像素电极间存在层间绝缘膜，像素晶体管以及像素电极，经由在层间绝缘膜开设的接触孔相互电连接， 由此对像素电极进行来自像素晶体管的图像信号的导通截止控制并进行供给。而且，用于将像素晶体管与像素电极电连接的接触孔，也可以通过在除了应该形成该接触孔的区域之外的区域涂敷绝缘材料而形成。像素晶体管，包含选择性地设置于基板上的预定的区域的栅绝缘膜。在此，所谓 “选择性地设置于基板上的预定的区域”，意味着仅设置于基板上的预定的区域，换言之，意味着仅设置于基板上的区域之中的一部分区域。例如，栅绝缘膜，通过利用喷墨法等涂敷法，在基板上的适当的区域涂敷绝缘材料而形成。这样选择性地设置的栅绝缘膜，与通过在遍及基板整面层叠绝缘材料之后进行图案形成而形成的情况比较，在其形成过程中不会产生浪费的材料。因此，能够适应于省资源以及低成本的要求。此外，由于不在基板整面进行栅绝缘膜的制膜，所以能够抑制基板的应力。本专利技术的“层间绝缘膜”，配置于像素电极与像素晶体管之间，选择性地设置于基板上的预定的区域。该层间绝缘膜也与上述的栅绝缘膜同样，选择性地设置。因此，关于层间绝缘膜，也能够适应于省资源以及低成本的要求，并且能够抑制基板的应力。本专利技术的“周边晶体管”，在周边区域形成。在此，所谓周边区域，是位于基板上的显示区域的周边的区域。周边晶体管例如作为用于构成驱动电路的电路元件而使用，该驱动电路是进行驱动频率高的驱动方式下的比较高速的开关工作和/或进而电流放大工作或电流控制工作、整流工作、电压保持工作等的驱动电路(即X驱动电路和/或Y驱动电路)。而且，作为周边晶体管的用途，只要与该电光装置的电光工作有关，就不进行任何限定。而且，像素晶体管以及周边晶体管，既可以是栅电极在基板上的层叠结构中比半导体层靠上层侧配置的顶栅型，也可以是栅电极在基板上的层叠结构中比半导体层靠下层侧配置的底栅型，进而也可以是栅电极配置于半导体层的上层侧以及下层侧双方的双栅型。本专利技术的“连接线”，在不形成构成像素晶体管以及周边晶体管的栅绝缘膜以及层间绝缘膜的区域内形成。连接线，是用于将周边晶体管电连接于其他的导电层、例如在基板上形成的用于实现电光工作的各种布线和/或元件等的布线，其例如由铝等导电性材料形成。由于形成连接线的区域不形成栅绝缘膜以及层间绝缘膜，所以成为作为连接线的连接对象的各种布线和/或元件等部分地露出的状态。连接线，通过形成于这样部分地露出的连接对象上，来与连接对象进行电连接。即，连接线通过不经由接触孔，而以与连接对象直接(即，在与连接对象之间不隔着其他的层叠结构)接触的方式形成，来实现电连接。这样的连接，与经由接触孔电连接的情况相比，由于不需要对栅绝缘膜和/或层间绝缘膜通过蚀刻等进行开孔的工序，所以能够以更少的工序数实现电连接。此外，在本专利技术中，在将连接线电连接于连接对象时，由于不需要如形成接触孔的情况那样遍及基板整面形成绝缘膜，所以也可以有效地抑制完成的电光装置用基板的挠曲(即结构的变形)。本专利技术的“连接线”，与像素电极由同一膜形成。在此，所谓“同一膜”，意味着通过同一成膜工序形成的膜，而不是仅意味着像素电极与连接线完全是同一膜。像素电极与连接线可以不相互电连接，也可以其厚度等各种条件相不同。连接线与像素电极，既可以通过对同一导电膜同时进行图案形成而形成，也可以用涂敷法同时形成。在涂敷法的情况下，连接线在要形成的区域选择性地形成。特别地，由于像素电极成为TFT制造工序的基本最终工序，所以其在应力累积的状态下形成。因此，优选用不在整面进行材料的制膜的涂敷法形成。通过与电连接于像素晶体管的像素电极由同一膜形成连接线，能本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种电光装置用基板，其具有排列有多个像素的显示区域，其特征在于，具备：基板；像素电极，其在前述基板上按前述每一像素而设置；像素晶体管，其在前述基板上、比前述像素电极靠下层侧按前述每一像素而设置，包含选择性地设置于前述基板上的预定的区域的栅绝缘膜，且其与前述像素电极电连接；层间绝缘膜，其配置于前述像素电极与前述像素晶体管之间，选择性地设置于前述基板上的预定的区域；周边晶体管，其在前述基板上设置在位于前述显示区域的周边的周边区域；以及连接线，其在不形成构成前述像素晶体管及前述周边晶体管的栅绝缘膜及前述层间绝缘膜的区域内，与前述像素电极由同一膜形成，且其与前述周边晶体管电连接。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤尚，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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