一种多步骤程式的一致性管理方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多步骤程式的一致性管理方法和装置，属于半导体生产技术领域。所述方法包括：Ｓ１：找出晶片加工机台程式中相同的步骤；Ｓ２：比较所找出的步骤之间的一致性，得到比较结果；Ｓ３：根据所述比较结果，管理所述步骤之间的一致性。本发明专利技术能够管理多步骤程式中步骤之间的一致性，从而确保生产中产品的良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产时程式(recipe)的管理，特别涉及多步骤(multi-st印) 程式的一致性管理方法和装置。
技术介绍
半导体生产所用到的程式数量众多、程式步骤复杂，并且有时会出现测机程式 (monitorrecipe)并非都是直接的生产程式(product recipe)，所以同一机台上多步骤的 测机程式与生产程式的一致性、同一程式中各步骤的一致性是极为重要的。不然，可能会因 为程式中一些步骤的差异而造成产品的报废。因此，需要一种多步骤程式的一致性管理方法来管理步骤之间的一致性。
技术实现思路
本专利技术提供一种多步骤程式的一致性管理方法，它能够管理步骤之间的一致性。为了达到上述目的，本专利技术采用以下技术方案一种多步骤程式的一致性管理方法，包括Sl 找出晶片加工机台程式中相同的步骤；S2 比较所找出的步骤之间的一致性，得到比较结果；S3 根据所述比较结果，管理所述步骤之间的一致性。作为上述技术方案的优选方案，所述步骤S3包括当所述比较结果表明所述步骤之间具有一致性时，结束所述步骤S3。作为上述技术方案的优选方案，所述步骤S3包括当所述比较结果表明所述步骤之间不具有一致性时，通知用户修改所述步骤，使 其具有一致性；或者，直接修改所述步骤，使其具有一致性。作为上述技术方案的优选方案，在所述步骤Sl之前，还包括SO 当某一程式修改后或者每批产品生产之前，启动所述步骤Si。作为上述技术方案的优选方案，所述程式中相同的步骤是下列步骤中的一种同一程式中位于不同位置的相同的步骤，同一机台不同程式中相同的步骤，以及 不同机台间程式中相同的步骤。一种多步骤程式的一致性管理装置，包括查找单元，用于找出晶片加工机台程式中相同的步骤；比较单元，用于比较所找出的步骤之间的一致性，得到比较结果；管理单元，用于根据所述比较结果，管理所述步骤之间的一致性。作为上述技术方案的优选方案，所述管理单元包括结束单元，用于当所述比较结果表明所述步骤之间具有一致性时，结束该结束单 元的运行。作为上述技术方案的优选方案，所述管理单元包括通知单元或修改单元，其中，所述通知单元用于通知用户修改所述步骤之间的一致性；所述修改单元用于直接修改所述步骤使其具有一致性。作为上述技术方案的优选方案，所述多步骤程式一致性管理装置还包括启动单元，用于当某一程式修改后或者每批产品生产之前，启动所述查找单元。作为上述技术方案的优选方案，所述程式中相同的步骤是下列步骤中的一种同一程式中位于不同位置的相同的步骤，同一机台不同程式中相同的步骤，以及 不同机台间程式中相同的步骤。本专利技术首先找出晶片加工机台程式中相同的步骤；然后，比较所找出的步骤之间 的一致性，得到比较结果；最后，根据比较结果，管理所述步骤之间的一致性。因此，本专利技术 能够管理多步骤程式中步骤之间的一致性。附图说明下面结合附图对本专利技术进行详细介绍。图1是本专利技术的多步骤程式的一致性管理方法的流程示意图。图2是本专利技术的多步骤程式的一致性管理装置的结构示意图。具体实施例方式如图1所示，本专利技术的多步骤程式的一致性管理方法包括Sl 找出晶片加工机台程式中相同的步骤；S2 比较所找出的步骤之间的一致性，得到比较结果；S3 根据所述比较结果，管理所述步骤之间的一致性。本专利技术的多步骤程式的一致性管理方法，首先，找出晶片加工机台程式中相同的 步骤；然后，比较所找出的步骤之间的一致性，得到比较结果；最后，根据比较结果，管理所 述步骤之间的一致性。因此，本专利技术能够管理多步骤程式中步骤之间的一致性。根据比较结果的不同，上述步骤S3可以包括当所述比较结果表明所述步骤之间 具有一致性时，结束步骤S3。根据比较结果的不同，上述步骤S3还可以包括当所述比较结果表明所述步骤之 间不具有一致性时，通知用户修改所述步骤，使其具有一致性；或者，直接修改所述步骤，使 其具有一致性。具体应用时，上述步骤Sl之前还可以包括SO 当某一程式修改后或者每批产品生产之前，启动所述步骤Si。本专利技术中，所述程式中相同的步骤可以是下列步骤中的一种同一程式中位于不同位置的相同的步骤，同一机台不同程式中相同的步骤，以及 不同机台间程式中相同的步骤。下面以具体的实施例详细说明本专利技术的多步骤程式的一致性管理方法。第一实施例管理同一程式中位于不同位置的相同步骤之间的一致性如表1所示，程式Rl是一个多步骤程式，该程式Rl包括五个步骤1、2、3、4、5，该 五个步骤的内容分别是A、B、C、B、D0可以看出，步骤2和步骤4是相同的步骤。表 14程式Rl步骤序号步骤内容1A2B3C4B5D根据本专利技术的多步骤程式的一致性管理方法，管理程式Rl中步骤之间的一致性 时，包括以下步骤Sl 找出程式Rl中相同的步骤，此时，所找出的步骤为步骤2和步骤4;S2 比较步骤2和步骤4，得出比较结果；S3 根据比较结果，管理步骤2和步骤4进行一致性。在步骤S3中，如果得出的比较结果表明步骤2和步骤4之间具有一致性，则说明 步骤之间的一致性不需要管理，此时可以直接结束步骤S3。如果得出的比较结果表明步骤 2和步骤4之间不具有一致性，则说明步骤之间的一致性需要管理，此时可以通知用户修改 步骤2和/或步骤4，使其具有一致性；或者，直接修改步骤2和/或步骤4，使其具有一致 性。在该实施例中，步骤Sl之前优选包括SO 当某一程式修改后或者每批产品生产之前，启动步骤Si。这样，在每次程式修 改之后或是产品生产之前，都进行相同步骤之间的一致性管理，使其始终保持一致性，从而 能够确保生产中产品的良率。第二实施例管理不同程式中相同步骤之间的一致性如表2所示，程式Rl和R2是同一机台上不同的两个多步骤程式，其中程式Rl包 括五个步骤1、2、3、4、5，该五个步骤的内容分别是A、B、C、B、D，程式R2包括四个步骤1、 2、3、4，该四个步骤的内容分别是E、F、B、G0可以看出，程式Rl的步骤2、步骤4与程式R2 的步骤3是相同的步骤。表 2程式Rl程式R2步骤序号步骤内容步骤序号步骤内容1A1E2B2F3C3B4B4G5D根据本专利技术的多步骤程式的一致性管理方法，管理程式Rl与R2中步骤之间的一 致性时，包括以下步骤Sl 找出程式Rl与R2中相同的步骤，此时，所找出的步骤为程式Rl中的步骤2和 程式R2中的步骤3，以及程式Rl中的步骤4和程式R2中的步骤R3 (为了简便起见，下面仅 以程式Rl中的步骤2和程式R2中的步骤3为例来说明不同程式中相同步骤之间的一致性管理)；S2 比较程式Rl中的步骤2和程式R2中的步骤3，得出比较结果；S3 根据比较结果，管理程式Rl中的步骤2和程式R2中的步骤3进行一致性。在步骤S3中，如果得出的比较结果表明程式Rl中的步骤2和程式R2中的步骤3 之间具有一致性，则说明步骤之间的一致性不需要管理，此时可以直接结束步骤S3。如果得 出的比较结果表明程式Rl中的步骤2和程式R2中的步骤3之间不具有一致性，则说明步 骤之间的一致性需要管理，此时可以通知用户，修改程式Rl中的步骤2和/或程式R2中的 步骤3，使其具有一致性；或者，直接修改程式Rl中的步骤2和/或程式R2中的步骤3，使 其具有一致性。在该实施例中，步骤Sl之前优选包括SO 当某一程式修改后或者每批产品生产之前，启动步骤Si本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多步骤程式的一致性管理方法，其特征在于，包括：Ｓ１：找出晶片加工机台程式中相同的步骤；Ｓ２：比较所找出的步骤之间的一致性，得到比较结果；Ｓ３：根据所述比较结果，管理所述步骤之间的一致性。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陆鸣晔，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]