微型可动元件以及微型可动元件阵列制造技术

技术编号:5680918 阅读:146 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供一种适于抑制驱动特性的劣化的微型可动元件以及包括这种微型可动元件的微型可动元件阵列。本发明专利技术的微型可动元件(X1)包括:具有第一驱动电极的可动部;第二驱动电极,用于在与第一驱动电极之间产生静电引力;第一导体部(22c),其与第一驱动电极电连接;第二导体部(22b),其与第二驱动电极电连接;以及第三导体部(21a),其不与第一和第二驱动电极电连接,并且经由绝缘膜(23)与第一导体部(22c)接合且经由绝缘膜(23)与第二导体部(22b)接合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种微型可动元件,包括:  具有第一驱动电极的可动部;  第二驱动电极,其用于在与所述第一驱动电极之间产生静电引力;  第一导体部,其与所述第一驱动电极电连接;  第二导体部,其与所述第二驱动电极电连接;以及  第三导体部,其不与所述第一和第二驱动电极电连接,并且经由绝缘膜与所述第一导体部接合且经由绝缘膜与所述第二导体部接合。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:壶井修高马悟觉水野义博奥田久雄曾根田弘光松本刚
申请(专利权)人:富士通株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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