用于测试分选机的拾放模块制造技术

一种用于测试分选机的拾放模块包括主体与套件。该主体有Ｎ条真空路径（其中Ｎ为大于１的整数）。该套件有Ｍ个拾取器。该Ｍ个拾取器被设置以分别对应于Ｍ个真空路径部件（其中１≤Ｍ≤Ｎ），该Ｍ个真空路径部件被形成为分别与形成于该主体中的该Ｎ条真空路径的一些路径或所有路径对应；以及，使用真空压力来保持数个半导体器件或释放持有的半导体器件。该套件可拆卸地安装于该主体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体涉及一种用于测试分选机的拾放模块。术语‘拾放模块’是指由拾放装置构成的单一模块，其被构成为在不同的装载或对准组件之间转移半导体器件以及装载、 对准半导体器件。
技术介绍
制成的半导体器件会用测试仪测试以便区分良品、不良品，藉此只让良品上市销 售。就此情形而言，有一种叫做‘测试分选机’的自动设备被用于支持使用测试仪的该测 试过程。这样的测试分选机包括拾放装置，其用来在不同的装载或对准组件例如客户料盘 (customertray)、测试料盘、校准器、缓冲器及分选台等之间转移半导体器件。该拾放装置 具有至少一个拾放模块。此外，该拾放模块包括多个拾取器，彼此排成一列以便用真空压力来完成吸住及 保持半导体器件或释放所持有的半导体器件的操作。同时，为了储存半导体器件，客户料盘用来装载半导体器件。为此，最好将客户料 盘构形成能尽可能装载大量的半导体器件。随着半导体制程技术的发展，使得具有相同功 能的半导体器件的尺寸变得愈来愈小，因而可以增加可载入同一客户料盘(其面积有限) 的半导体器件数。例如，假设在单排中的客户料盘按惯例可装载8个半导体器件，如果半导 体器件的尺寸因半导体制程技术的发展而变小，则有可能在单排的客户料盘中装载10个 或12个半导体器件。就此情形而言，10个或12个一排装在客户料盘上的半导体器件之间 的间隔将变得比8个一排装在客户料盘上的半导体器件之间的间隔窄。因此，在测试分选机提供客户料盘时，以及在客户料盘由一排装8个半导体器件 改成一排装10个或12个半导体器件或反之时，设于测试分选机的拾放模块中的拾取器之 间的间隔也必须调整。然而，没有构件可用来调整拾取器之间的间隔以便实现适用于所有 的客户料盘，尽管它们在相同面积中可装载半导体器件的个数方面彼此不同。因此，在提供 容量不同的客户料盘时，必须更改对应的拾放模块。此外，只有当单一拾放模块设有与保持成一排地装在客户料盘上的所有半导体器 件所需的数量对应的多个拾取器时，才可减少转移半导体器件所需要的时间。在客户料盘 一排装8个半导体器件换成客户料盘一排装10个或12个半导体器件或反之的情形下，必 须增加或减少拾取器的数量。然而，在常规拾放模块中，无法增减拾取器的数量，因此产生 了必须更换整个拾放模块的问题。上述问题会造成资源的再使用率降低，导致资源浪费，此外，更换成本增加。
技术实现思路
因此，本专利技术是鉴于上述现有技术的问题而提出的，本专利技术旨在提供一种能够只 更换一部分拾放模块的技术，从而可实现适用于具有不同装载量的所有客户料盘。根据本专利技术的实施方式，提供一种用于测试分选机的拾放模块，其包括具有N条真空路径的主体(其中N为大于1的整数)；以及具有M个拾取器的套件，M个拾取器被设置成分别对应于M个真空路径部件(其中1 < M < N)，M个真空路径部件被形成为各自对 应于形成于该主体中的N条真空路径的所有路径或一些路径，且M个拾取器使用真空压力 保持半导体器件或释放所保持的半导体器件；其中该套件可拆卸地安装于该主体。此外，优选地形成于主体上且未与该M个真空路径部件对应的(N-M)个真空路径 部件当套件安装到主体时能被套件的上表面封闭。此外，在通过使多个拾放模块相互耦合来形成拾放模块时，优选地，中间拾放模块 被形成为使其主体与套件呈“ I ”形，配置于该中间拾放模块两侧的多个拾放模块被形成为 使其主体及套件呈“1 ”形或呈“ Γ”形。此夕卜，M个拾取器被构成为即使在N兴M或N = M时最外的拾取器之间的间隔也 彼此相同。根据本专利技术另一实施方式，提供一种用于测试分选机的拾放模块，其包括主体和 套件，该主体包括使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件的N个拾取 器(其中N为大于1的整数)、以及使N个拾取器中的L个拾取器(其中0<L<N)不同 于其余M个拾取器即(N-L)个拾取器且能够使该L个拾取器分别定位及安装的安装构件； 该套件可拆卸地安装于该主体且被构成为能够调整该M个拾取器之间的横向间隔。此外，优选地，该M个拾取器之间的横向间隔用以下方式调整在N个拾取器上分 别形成各自的横向间隔调整突出物，且在该套件中形成有插入各横向间隔调整突出物的M 个间隔调整凹穴。此外，优选地，在该N个拾取器上分别形成各自的安装突出物(mounting protrusion)，使得该N个拾取器被安装至该安装构件，且该安装构件被构成为横向地形成 有长安装槽(long mounting groove)以供形成于该M个拾取器上的该等安装突出物插入 其中，且该安装槽的至少一末端部被形成为横向延伸至比该安装槽的横向部高的位置以使 该L个拾取器不同于该M个拾取器且能够分别安装。此外，该套件包括安装到该主体的安装板、以及横向间隔调整构件，横向间隔调 整构件与该安装板成一体且被构成为能够调整该M个拾取器之间的横向间隔。此外，优选地，该横向间隔调整构件包括插在该M个拾取器之间的隔墙使得该M个 拾取器以一定的间隔相互隔开。此外，优选地，该N个拾取器包括各自的弹性构件，弹性构件对第一隔墙施加弹力 以使该拾取器与第二隔墙紧密接触并对齐。此外，优选地，在该N个拾取器中形成各自的防垂直移动凹穴以防止拾取器垂直 移动，且在该横向间隔调整构件中形成有插入各防垂直移动凹穴的防垂直移动突出物。此外，优选地，在该安装构件中横向地形成有贯穿该安装构件的长安装缝(long mounting slot)，在该N个拾取器上形成各自的接合突出物(engaging protrusion)以防 止拾取器向下移动。此外，优选地，该安装构件包括多个区隔安装器(distinctionmounter)，该区隔安 装器使该L个拾取器不同于该M个拾取器且可分别安装。根据本专利技术的又一实施方式，提供一种用于测试分选机的拾放模块，其包括主 体、使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件的N个拾取器(其中N为大于1的整数)、以及套件，套件使该N个拾取器中的L个拾取器(其中0<L<N)不同于其 余M个拾取器即(N-L)个拾取器，且使该L个拾取器能够分别定位及安装，并且使该M个拾 取器之间的横向间隔能够调整。此外，优选地，该套件包括插在该M个拾取器之间的隔墙以使该M个拾取器以一定 的间隔相互隔开。此外，优选地，隔墙包括各自的弹性构件，弹性构件对第一隔墙施加弹力以使该拾 取器与第二隔墙紧密接触并对齐。此外，优选地，在该N个拾取器中形成各自的防垂直移动凹穴以防止拾取器垂直 移动，且在隔墙中形成有插入各防垂直移动凹穴的防垂直移动突出物。此外，优选地，该套件包括多个区隔安装器，该区隔安装器使该L个拾取器不同于 该M个拾取器且能够分别安装。附图说明通过结合以下附图的详细说明可更加明白本专利技术以上及其它的目标、特征及优；^^，I.图1为根据本专利技术第一实施方式的拾放模块的示意立体图；图2为图1的拾放模块拆掉一部分时从方向‘A’观察到的侧面概念图；图3为图1的拾放模块沿着线I-I剖开并从方向‘B’观察到的示意剖视图以显示 真空压力的活动路径；图4为示出另一套件应用于图1的拾放模块的主体的实施例的视图；图5为示出3个拾放模块的配置的侧视图；图6与图7为示出根据本专利技术第二实施方式的拾放模块的示意图；图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试分选机的拾放模块，包括：具有Ｎ条真空路径的主体，其中Ｎ为大于１的整数；以及具有Ｍ个拾取器的套件，所述Ｍ个拾取器被设置成分别对应于Ｍ个真空路径部件，其中１≤Ｍ≤Ｎ，所述Ｍ个真空路径部件被形成为分别与形成于所述主体中的Ｎ条真空路径的所有路径或一些路径对应，且所述Ｍ个拾取器使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件，其中所述套件可拆卸地安装到所述主体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕东铉，宋炫，
申请(专利权)人：泰克元有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]