本发明专利技术公开了一种定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，包括定位支架（４），所述定位支架（４）的底部设有开口向下的支架定位槽（４１），所述支架定位槽（４１）的内壁与所述切割设备的极限定位棒周向外壁贴合；所述定位支架（４）与所述切割设备相对的内侧面上设有沿竖直方向延伸的摇臂定位槽（４３），所述摇臂定位槽（４３）的槽宽（Ｌ）等于所述张力臂的摇臂的宽度；所述支架定位槽（４１）的轴线与所述摇臂定位槽（４３）的中心线的距离，与所述摇臂的中心线与所述横杆的轴线所确定的平面到所述极限定位棒的轴线的距离相同。该工装可以实现张力臂的可靠定位，并且操作简单，节省校准时间，进而提高了工作效率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅块或硅锭切割设备的张力臂的定位
，特别是涉及一种定位 硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装。
技术介绍
目前在半导体的切割加工工艺中，常使用开方机和HCT线锯，这两种设备均使用 张力臂调节切割所用钢线的张力，使钢线保持预紧力对硅锭或硅块进行切割。请参考图1和图2，图1为现有技术一种典型硅块或硅锭切割设备的张力臂结构示 意图；图2为图1所提供张力臂的主视图。张力臂包括摇臂21、横杆22和滑轮23，钢线31缠绕于滑轮23上。在对硅片的切 割过程中，如果钢线31的张力过大或过小，则调节张力臂使其左右摆动，从而使得钢线31 的张力达到设定的数值。每次切割前，首先编织好线网，在钢线31上加载张力，并且钢线31运转切割之前， 张力臂的摇臂21应该处于切割设备的左极限定位棒11和右极限定位棒12的中间位置(如 图2所示)，即摇臂21处于竖直位置，垂直于水平地面。摇臂21相对于竖直方向的偏转角度可以通过设置在切割设备上的角度传感器测 定，即角度传感器的显示数值应该与张力臂的转动角度一致，相应地，钢线31切割工件前， 角度传感器测量数值为零，张力臂应当处于竖直位置。但是，经过一段时间的使用，由于断线或其他的一些原因，使张力臂与角度传感器 产生一定的偏差，角度传感器不能正确检测摇臂21的偏移角度，即角度传感器的显示数值 与摇臂21的偏转角度不一致，比如角度传感器的显示值为零时，但实际上此时摇臂并不处 于竖直位置，而是偏转了一定的角度。如果切割设备在这种张力臂偏移的情况下继续使用， 切割中很容易引起断线，因此就需要对角度传感器进行校准，校准角度传感器的原理是将 张力臂处于竖直位置，然后调节角度传感器的数值为零。目前常用的定位张力臂使其竖直的方法主要是通过使用扎带、铁丝以及其它可以 捆绑的丝带，将张力臂从左右两边分别捆绑在切割设备的左右极限定位棒上，使张力臂处 于竖直位置，再对角度传感器进行校准。这种张力臂的定位方法操作比较麻烦，且每次校准角度传感器时，都需反复调节 张力臂两边的丝带，因而效率低，并且校准期间张力臂容易晃动，校准精度也比较低。因此，如何研发出一种定位张力臂的定位工装，实现张力臂的可靠定位，提高角度 传感器的校准准确性，且操作简单，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在提供一种定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，该工装可 以实现张力臂的可靠定位，从而能够显著提高角度传感器的校准准确性；并且该工装操作 简单，节省校准时间，进而提高了工作效率。3为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工 装，包括定位支架，所述定位支架的底部设有开口向下的支架定位槽，所述支架定位槽的内 壁与所述切割设备的极限定位棒周向外壁贴合；所述定位支架与所述切割设备相对的内侧 面上设有沿竖直方向延伸的摇臂定位槽，所述摇臂定位槽的槽宽等于所述张力臂的摇臂的 宽度；所述支架定位槽的轴线与所述摇臂定位槽的中心线的距离，与所述摇臂的中心线与 所述横杆的轴线所确定的平面到所述极限定位棒的轴线的距离相同。优选地，所述定位支架的底部还设置有横杆定位槽，以便所述张力臂的横杆卡装 于所述横杆定位槽中。优选地，所述横杆定位槽的内壁与所述横杆的周向外壁贴合。优选地，所述支架定位槽的数量为两个，且二者分别设置于所述定位支架两端的 底部，并二者对称分布于所述摇臂定位槽的两侧。优选地，所述定位支架的两端的底部设置有凹陷的台阶面，所述台阶面贯穿所述 定位支架相对于所述切割设备方向的内侧面和外侧面；两个所述支架定位槽分别设置于相 对应的两个所述台阶面上。优选地，所述支架定位槽的数量为一个，且设于所述定位支架一端的底部；所述定 位支架另一端的所述内侧面上设置有所述摇臂定位槽。优选地，所述定位支架一端的底部设置有凸台，所述支架定位槽设置于所述凸台 上。优选地，所述摇臂定位槽的截面形状为矩形。本专利技术所提供的一种定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，包括定位支架， 所述定位支架的底部设有开口向下的支架定位槽，所述支架定位槽的内壁与所述切割设备 的极限定位棒周向外壁贴合；所述定位支架与所述切割设备相对的内侧面上设有沿竖直方 向延伸的摇臂定位槽，所述摇臂定位槽的槽宽等于所述张力臂的摇臂的宽度；所述支架定 位槽的轴线与所述摇臂定位槽的中心线的距离，与所述摇臂的中心线与所述横杆的轴线所 确定的平面到所述极限定位棒的轴线的距离相同。使用上述工装对张力臂定位时，将所述定位支架通过其上设置的支架定位槽固定 安装在切割设备的极限定位棒上，然后沿极限定位棒的轴向推动定位支架，将所述张力臂 的摇臂卡装入所述定位支架与切割设备相对的侧面上的竖直的摇臂定位槽中，使所述张力 臂的摇臂沿所述摇臂定位槽方向竖直，进而对角度传感器进行校准，调节角度传感器使其 显示数值为零。与现有技术相比，本专利技术所提供的定位张力臂的工装可以实现张力臂的可靠定 位，从而能够显著提高角度传感器的校准准确性；并且该工装操作简单，每次对张力臂定位 不必反复调节定位支架，节省校准时间，进而提高了工作效率。附图说明图1为现有技术一种典型硅块或硅锭切割设备的张力臂结构示意图；图2为图1所提供张力臂的主视结构示意图；图3为本专利技术所提供定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装的一种具体实施 方式的结构示意图4为图3所提供定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装的主视结构示意图；图5为本专利技术所提供定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装的另一种具体实 施方式的结构示意图。其中，图1和图2中附图标记与部件名称之间的对应关系为11极限定位棒；21摇臂；22横杆；23滑轮；31钢线。图3至图5中附图标记与部件名称之间的对应关系为4定位支架；41支架定位槽；42横杆定位槽；43摇臂定位槽；L槽宽。具体实施例方式本专利技术的核心旨在提供一种定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，该工装可 以实现张力臂的可靠定位，从而能够显著提高角度传感器的校准准确性；并且该工装操作 简单，节省校准时间，进而提高了工作效率。为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和具体实施方式 对本专利技术作进一步的详细说明。请参考图3和图4，图3为本专利技术所提供定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装 的一种具体实施方式的结构示意图；图4为图3所提供定位硅块或硅锭切割设备的张力臂 的工装的主视结构示意图。在一种具体实施方式中，本专利技术所提供的一种定位硅块或硅锭切割设备的张力臂 的工装，包括定位支架4，该定位支架4可以使用金属材料，例如不锈钢，它具有较高的耐 磨性及耐腐蚀性，并且不易变形，使用寿命比较长；也可以使用工程塑料，例如聚丙烯、树脂 等，工程塑料价格比较便宜，且与金属相比，工程塑料密度比较小，体积相同时，工程塑料制 作的定位支架4重量比较轻，可以减轻对切割设备支撑件的压力。无论使用哪种材料，都应 保证定位支架4具有一定刚度和强度，在使用时不能变形。定位支架4的形状可以设计为具有一定长度、宽度和厚度的长方体，也可以设计 为其他形状，只要保证便于操作使用即可。—般地，硅块或硅锭切割设备上设置有极限定位棒，极限定位棒的数量可以为一 个，也可以为两个，即左极限定位棒和右极限定位棒，两极限定位棒的形状可以是圆柱体， 也可以本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
一种定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，其特征在于，包括定位支架(4)，所述定位支架(4)的底部设有开口向下的支架定位槽(41)，所述支架定位槽(41)的内壁与所述切割设备的极限定位棒周向外壁贴合；所述定位支架(4)与所述切割设备相对的内侧面上设有沿竖直方向延伸的摇臂定位槽(43)，所述摇臂定位槽(43)的槽宽(L)等于所述张力臂的摇臂的宽度；所述支架定位槽(41)的轴线与所述摇臂定位槽(43)的中心线的距离，与所述摇臂的中心线与所述横杆的轴线所确定的平面到所述极限定位棒的轴线的距离相同。2.如权利要求1所述的定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，其特征在于，所述 定位支架(4)的底部还设置有横杆定位槽(42)，以便所述张力臂的横杆卡装于所述横杆定 位槽(42)中。3.如权利要求2所述的定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，其特征在于，所述 横杆定位槽(42)的内壁与所述横杆的周向外壁贴合。4.如权利要求1所述的定位硅块或硅锭切割设备的张力臂的工装，其特征在于，所述 支...
【专利技术属性】
技术研发人员：任军海，孙凤霞，雷浩，田欢，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：发明
国别省市：13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。