用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架，应用于将该气体循环式电子货架上光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器，该气体循环式电子货架包含：复数个置放区及复数个无线射频感应器，其中，每一置放区中皆设置一无线射频感应器，使得在线操作人员可直接将光罩储存盒置放在气体循环式电子货架上的任意置放区中，该无线射频感应器即会感应光罩储存盒上的无线射频标签并取得光罩储存盒的识别数据，达到放了即走（ｐｕｔ?＆?ｇｏ）的功效，此外，本实用新型专利技术可与自动化材料处理系统（ＡＭＨＳ）作连结，更可对原有的仓储柜自由地进行选择性的扩展。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术关于一种气体循环式电子货架(E-Rack)，尤指一种于制造工厂中，用 来 置放光罩储存盒的气体循环式电子货架。
技术介绍
在半导体的制程中，光罩盒是用来作为光罩(mask)搬运时的置放装置，用以 隔绝光罩与大气的接触，以防止光罩表面产生雾化作用。尤其，在现今的机械标准接口 (Standard Mechanical Interface, SMI)的要求之下，有效提升光罩盒内的光罩与大气隔 绝的效果，可增加光罩的使用寿命，此有助于降低半导体制造的成本并可提升产品的良率。传统上，光罩盒通常是被置放在一经过标示的特定位置上，且该特定位置提供一 保持低湿度的置放空间，并藉由惰性气体于光罩盒内的层流效应及气体循环，以作为贮存 光罩组件长期储存的环境。此外，光罩盒于每次使用完毕必须放回此特定位置，虽然此种储 物系统的建置成本低廉，但对于动则上万片光罩或芯片的半导体厂来说，此种储物方式将 耗费相当高的人事成本，且易出差错，一旦发生找不到光罩盒的情形时，产品的生产进度就 会被严重影响。习知技术如中国台湾地区公开的第200821241号的「被搬送物储存系统」专利案， 揭露一种全自动化控制的储存系统，藉由轨道、天车(0ΗΤ)、及仓储柜(stocker)的组合，每 一储存盒皆可被安排在该仓储柜的专属位置中，当生产在线需要使用某一储存盒内的芯片 或光罩等组件时，通过系统的操作即可令该天车依循轨道自动地至该仓储柜中取出该储存 盒，再通过轨道将该光罩储存盒运送至生产在线。此系统全由计算机所监控，其好处在于任 何储存盒皆能被正确地放置到其各自专属的位置上，而不会错放至其它的存放位置。然而， 此种系统的建置成本相当高昂且相当占空间，举例来说，一个半导体厂的运作可能就需要 上千上万片的光罩或芯片，该些光罩或芯片皆需要有独立的光罩储存盒，若将所有的光罩 储存盒皆以该习知技术的储存系统来存放时，系统的建置成本势必大幅提高，且该储存系 统亦需具备有气体填充设备以供应惰性气体至光罩储存盒中，建置成本更难以降低，再者， 一个厂房运作时需要运送光罩储存盒的次数相当多，运送时的等待时间亦会造成产能的降 低。
技术实现思路
本技术的一目的在于提供一种低成本、高效率的气体循环式电子货架。本技术的另一目的在于提供一种相较于习知技术较不占空间且空间安排弹 性大的气体循环式电子货架。本技术的再一目的在于提供一种可供在线操作人员对于置放的光罩储存盒， 可放了即走(put&go)的气体循环式电子货架。为达上述目的及其它目的，本技术提供一种用于置放光罩储存盒的气体循环 式电子货架，应用于将光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器，该气体循环式电子货架包含复数个置放区，每一置放区用于置放一光罩储存盒；复数个气体通道连接部，设置 于每一置放区中，以供气体灌入及导出该置放区上的光罩储存盒；及复数个无线射频感应 器，设置于每一置放区中，用以感应该置放区中光罩储存盒上的无线射频标签，并取得该光 罩储存盒的识别数据。于一实施例中，该气体循环式电子货架更可包含复数个动作传感器，设置于每一 置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以感测该光罩储存盒的置放状态，并据以 使能该无线射频感应器。其中，该动作传感器可为一红外线传感器。于另一实施例中，该气体循环式电子货架更可包含复数个显示器，设置于每一置 放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该光罩储存盒的识别资料，及读取状 态、该远程服务器下达的指令，如机台名称等。于再一实施例中，该气体循环式电子货架更通过该远程服务器，依符合国际半导 体设备与材料的一通讯标准接口(SEMI)连结至一自动化材料处理系统(AMHS)，该气体循 环式电子货架更包含复数个传感器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感 应器，用以感测该光罩储存盒的置放状态，并据以使能该无线射频感应器，每一无线射频感 应器连接至对应的一网关器，并通过一集线器传输数据至该远程服务器。此外，此实施例更 可包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显 示该光罩 储存盒的识别数据及显示该远程服务器下达的指令。该通讯标准接口则可包含符 合SEMI-E84及SEMI-E88标准规格的接口。于再一实施例中，该些光罩储存盒用于存放半导体芯片或光罩。于再一实施例中，该气体循环式电子货架的底部设有复数个轮子，以便于移动。藉此，本技术的气体循环式电子货架结构相较于习知技术可节省成本且日后 维护成本低廉，再者，于每一置放区中皆设置一无线射频感应器，使得在线操作人员可直接 将光罩储存盒置放在气体循环式电子货架上的任意置放区中，该无线射频感应器即会感应 光罩储存盒上的无线射频标签并取得光罩储存盒的识别数据，达到放了即走(put&go)的 功效；而不若传统技术于置放光罩储存盒时，需根据架上的指示位置来置放。再者，亦可显 示无线射频感应器读取卷标数据成功或失败的情况，及/或显示该远程服务器下达该光罩 储存盒的指令，如机台名称等，使得在线操作人员不需再查询就可实时、明确直接将光罩 储存盒移置当站机台。再者，本技术更可与习知的自动化材料处理系统(AMHS)作连结，而可对原有 的仓储柜自由地进行选择性的扩展，因此通过此种连结除了可供厂商利用原有的自动化材 料处理系统进行所有仓储柜的统合管理外，气体循环式电子货架上的光罩储存盒亦可供操 作员实时的拿取，而可带来更高的便利性。附图说明图1为本技术的电子货架系统的架构图。图2为本技术于第一实施例中气体循环式电子货架的立体图。图3为本技术于第二实施例中气体循环式电子货架的立体图。图4为本技术于第三实施例中气体循环式电子货架的立体图。图5为本技术于第四实施例中气体循环式电子货架的立体图。图6为本技术于第五实施例中电子货架系统与自动化材料处理系统连结的 架构图。图7为本技术于第五实施例中电子货架系统与仓储柜的结合示意图。图8为本技术于第7图实施例中气体循环式电子货架的部分俯视图。主要组件符号说明100电子货架系统101远程服务器103集线器110气体循环式电子货架IlOa e气体循环式电子货架112置放区113气体通道连接部114无线射频感应器116显示器118动作传感器119 轮子120光罩储存盒122无线射频标签130网关器200仓储柜2020HT高架上升传送设备TCP/IP通讯协议RS-232 通讯接 口RS-485 通讯接 口AMHS自动化材料处理系统E84通讯标准接口E88通讯标准接口STK仓储柜具体实施方式为充分了解本技术的目的、特征及功效，兹藉由下述具体的实施例，并配合所 附的图式，对本技术做一详细说明，说明如后于半导体厂、其它需对光罩或半导体芯片进行存放的厂房皆可使用本技术。本技术应用于一种光罩的仓储系统中。请参阅图1，是本技术电子货架系 统的架构图，该电子货架系统100包含一远程服务器101、至少一集线器103、及复数个气体 循环式电子货架1 IOa e，该等气体循环式电子货架1 IOa e会回传目前存放于架上的货 品识别资料，而该等气体循环式电子货架IlOa e与该远程服务器101间的连结则可通过 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架，应用于将该光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器，其特征在于，该气体循环式电子货架包含：复数个置放区，每一置放区用于置放一光罩储存盒；复数个气体通道连接部，设置于每一置放区中，以供气体灌入及导出该置放区上的光罩储存盒；及复数个无线射频感应器，设置于每一置放区中，用以感应该置放区中光罩储存盒上的无线射频标签，并取得该光罩储存盒的识别数据。

【技术特征摘要】
一种用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架，应用于将该光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器，其特征在于，该气体循环式电子货架包含复数个置放区，每一置放区用于置放一光罩储存盒；复数个气体通道连接部，设置于每一置放区中，以供气体灌入及导出该置放区上的光罩储存盒；及复数个无线射频感应器，设置于每一置放区中，用以感应该置放区中光罩储存盒上的无线射频标签，并取得该光罩储存盒的识别数据。2.如权利要求1所述的气体循环式电子货架，其特征在于，更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 光罩储存盒的识别资料。3.如权利要求1所述的气体循环式电子货架，其特征在于，更包含复数个动作传感器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以感 测该光罩储存盒的置放状态，并据以使能该无线射频感应器。4.如权利要求3所述的气体循环式电子货架，其特征在于，该动作传感器是一红外线 传感器。5.如权利要求3所述的气体循环式电子货架，其特征在于，更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 光罩储存...

【专利技术属性】
技术研发人员：林权瑞，吴俊龙，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]