防静电部件以及其制造方法技术

一种防静电部件及其制造方法，其中，使用电阻率较小的材料将设置在氧化铝基板（１）的上表面的一对第一电极（２）构成为膜厚较厚的状态，且将位于上述一对第一电极（２）之间的、由熔点较高的材料构成的第二电极（３）设置为膜厚较薄的状态，并且在该第二电极（３）上形成间隙（４）。能够使构成引出电极的第一电极（２）的发热以及损坏减少，且能够较窄且高精度地形成第二电极（３）的间隙宽度。由此，提供一种对静电的反复施加具有耐受性且防静电部件承受的峰值电压较低、静电放电抑制特性稳定的防静电部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种保护电子设备不受静电损害的防静电部件以及其制造 方法。
技术介绍
近年，随着移动电话等电子设备的小型化、高性能化的快速发展，用于 电子设备的电子部件的小型化也快速发展。但是，另一方面，随着小型化， 电子设备、电子部件的耐电压下降。由此，由于人体与电子设备的端子接触 时产生的静电脉冲而引起设备内部的电路损坏的情况增加。这是因为由于静 电脉沖，以1纳秒以下的升高速度将数百 数千伏的高电压施加到设备内部 的电路。从以往开始，作为针对这种静电脉冲的对策，采用在进入有静电的线与接地之间设置防静电部件的方法。近年，信号线的传输速度是数百Mbps以 上的高速化正在发展，上述防静电部件的杂散电容较大时信号品质恶化，因 此优选防静电部件的杂散电容较小。因此，若为数百Mbps以上的传输速度， 则需要lpF以下的低静电容量的防静电部件。作为在这种高速传输线中的静电对策，目前提出一种由过电压保护材料 层覆盖形成于相对的一对引出电极间的间隙和一部分引出电极的类型的防 静电部件。但是，不易制作对静电的反复施加具有耐受性、且防静电部件承 受的峰值电压较低、静电放电(ESD)的抑制特性稳定的防静电部件。另外，作为与该申请专利技术相关的现有技术文献资料，已知有例如专利文 献1。此处，对成为防静电部件的恶化、特性偏差的原因的原理进行说明。现 有的由过电压保护材料层覆盖形成于相对的一对引出电极间的间隙和一部 分引出电极的类型的防静电部件的特性表现原理如下。由静电引起的过电压 被施加到相对的一对引出电极间的间隙时，位于相对的一对引出电极间的间隙的过电压保护材料层中分散存在的导电粒子间或半导体粒子间流过放电 电流，因此将其作为电流而旁路接地。这种类型的现有防静电部件中，发现 由于反复施加静电，使静电旁路接地的特性恶化的情况。反复施加静电后， 通过X射线透射显微镜等非破坏性分析方法观察防静电部件，得知与初期 状态比较，相对的一对引出电极间的间隙长度少许增大。对于此，认为由于 施加静电时流过的电流使相对的一对引出电极发热，由于该热量， 一对引出 电极的材料本身极小地熔解而受到损坏也是一个原因。上述一对引出电极本身的损坏大多主要是由于施加静电放电(ESD)时 流过引出电极的电流而产生的热量引起的。因此，为了减少引出电极的损坏， 需要抑制引出电极中产生的热量，并且需要使用耐热性较高的材料。该情况 下，为了抑制引出电极中产生的热量，使用电阻率较小的材料，且使膜厚增 厚，从而降低引出电极的电阻即可。此外，作为耐热性较高的材料，例如是 熔点较高的材料。但是，以降低引出电极电阻值为目的使引出电极的膜厚增厚的情况下， 难以狭窄且高精度地形成相对的一对引出电极间的间隙。另一方面，使用钨 或钼这种熔点较高的金属作为耐热性较高的材料时，与金相比熔点较高，因 此抑制由热量引起的损坏的效果较大。但是，其表面容易氧化，因此2pm 以下的较薄膜厚时，电阻值变得极大，从而发热量增大。为了防止这种情况， 使钨或钼的膜厚增厚的情况下，由于与上述相同的理由，难以形成高精度的 间隙。专利文献1:日本专利特表2002 — 538601号公报
技术实现思路
本专利技术具备绝缘基板；设置在该绝缘基板的上表面的一对第一电极；位 于该一对第一电极间的间隙；以及覆盖该间隙的过电压保护材料层。使用电 阻率较小的材料将一对第一电极构成为膜厚较厚的状态。以位于一对第一电 极间且与第一电极电连接的方式，将由熔点较高的材料构成的第二电极设置 为膜厚较薄的状态。在该第二电极间形成间隙。通过该结构，使用电阻率较小的材料将一对第一电极构成为膜厚较厚的 状态，因此能够使构成引出电极的一对第一电极本身的电阻降低。由此，能 够抑制由于施加静电时流过的电流引起的发热。此外，以位于一对第一电极间且与第一电极电连接的方式，将由熔点较高的材料构成的第二电极设置为 膜厚较薄的状态，并且在该第二电极间形成间隙。因此，能够一边抑制由施加静电引起的电极损坏， 一边切实地在第二电极上高精度地形成10jim左右的窄间隙。由此，能够制作对静电的反复施加具有耐受性、且防静电部件承受的峰值电压较低、静电放电(ESD)的抑制特性稳定的防静电部件。 附图说明图1是本专利技术第一实施方式的防静电部件的剖面图。 图2A是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图2B是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图3A是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图3B是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图3C是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图3D是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图4A是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图4B是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图4C是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图4D是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图5A是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图5B是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的背面图。 图5C是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图5D是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图5E是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图6A是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图6B是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图6C是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图6D是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图7A是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的剖面图。 图7B是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的制造方法的俯视图。 图8是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的静电试验方法的示意 。图9是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的静电试验的试验结果 的图表。图io是本专利技术第一实施方式的另一防静电部件的剖面图。图11是表示本专利技术第二实施方式的防静电部件的静电试验的试验结果 的图表。图12是表示本专利技术第三实施方式的防静电部件的静电试验的试验结果的图表。 附图标记说明1 氧化铝基板2 第一电极3 第二电极4 间隙7 过电压保护材料层具体实施例方式(第一实施方式)下面，使用第一实施方式一边参照附图一边对防静电部件以及其制造方 法进行说明。图1是表示本专利技术第一实施方式的防静电部件的剖面图的附 图。如图1所示，本专利技术第一实施方式的防静电部件具有一对第一电极2， 该一对第一电极2在相对介电常数为50以下优选10以下的绝缘基板即氧化 铝基板l的上表面上构成引出电极。以位于该一对第一电极2之间， 一部分 与第一电极2重合且电连接的方式设置第二电极3。第二电极3由熔点较高 的材料构成，膜厚比第一电极2薄。形成通过激光切断该第二电极3的中央 部而设置的间隙4。间隙4是不存在电极的狭窄空间。在一对第一电极2上 形成一对上电极5。进而，在氧化铝基板1的背面形成一对背面电极6。以 覆盖间隙4和第二电极3的一部分的方式，设置至少由金属粉和硅酮系树脂 构成的过电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防静电部件，其具备：　绝缘基板；　设置在所述绝缘基板的上表面的一对第一电极；　以一部分与所述一对第一电极重合且与所述第一电极电连接的方式而设置的一对第二电极；　位于所述一对第二电极之间的间隙；以及　以至少覆 盖所述间隙的方式而设置的过电压保护材料层，　所述一对第一电极由电阻率较小的材料构成，所述一对第二电极形成为比所述一对第一电极的膜厚薄。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉冈功一，绳手优克，森野贵，野添研治，井关健，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]