图像传感器及其制造方法技术

技术编号:4123215 阅读:161 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供一种图像传感器及其制造方法。根据一种实施例,提供包括读出电路的半导体衬底。电连接到读出电路的互连部以及层间电介质布置在半导体衬底之上。图像感测单元布置在层间电介质之上,并包括叠置在其中的第一掺杂层和第二掺杂层。形成通过图像感测单元暴露互连部的第一过孔。在第一过孔中形成第四金属接触,以电连接互连部和第一掺杂层。在第四金属接触之上形成第五金属接触,该第五金属接触与第四金属接触电绝缘并电连接到第二掺杂层。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种图像传感器,包括: 半导体衬底,其包括读出电路; 在所述半导体衬底之上的层间电介质以及连接到所述读出电路的互连部; 在所述层间电介质之上的图像感测单元,所述图像感测单元包括叠置在其中的第一掺杂层和第二掺杂层; 通 过所述图像感测单元暴露所述互连部的第一过孔; 在所述第一过孔中的第四金属接触,用以电连接所述互连部和所述第一掺杂层;以及 在所述第四金属接触之上的第五金属接触,所述第五金属接触与所述第四金属接触电绝缘并且电连接到所述第二掺杂层。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:金兑圭
申请(专利权)人:东部高科股份有限公司
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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