密封腔体阀板驱动机构制造技术

技术编号:3993211 阅读:206 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种密封腔体阀板驱动机构,包括移动导向装置、安装板、第一驱动装置、连接装置及第二驱动装置。移动导向装置位于密封腔体的传递窗口的下方且与密封腔体的外侧壁固定连接,安装板与移动导向装置呈纵向地滑动连接,第一驱动装置与安装板固定连接,连接装置分别与阀板和第二驱动装置连接,第二驱动装置分别与连接装置和安装板连接。由于本发明专利技术密封腔体阀板驱动机构的第一驱动装置通过安装板驱动阀板作纵向的直线往复运动,第二驱动装置驱动阀板作横向的直线往复运动,从而实现了阀板打开或关闭传递窗口的过程,结构简单、紧凑,动作灵活轻便,零部件加工、操作及维护等比较简单,易于实施,且设备配置成本较低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉真空镀膜领域中用于提供真空环境的密封腔体,更具体地涉及一种对密 封腔体的传递窗口进行打开或关闭的阀板驱动机构。
技术介绍
在有机发光二极管(英文为0rganic Light Emitting Diode,简称0LED)行业 和太阳能电池板行业中都大量的需要对基板进行镀膜,而用于提供镀膜所需的密封腔体 (也称,真空腔体)是必不可少的。为了便于将待镀膜的基板从外界输入到密封腔体内或将 已镀膜好的基板从密封腔体内输出,通常在密封腔体上开设供基板进、出的传递窗口,并且 通过与驱动机构连接的阀板来实现对上述传递窗口的开启或关闭。现有技术中一般采用蜗轮阀板驱动装置来实现所述阀板的密封打开与关闭。所述蜗轮阀板驱动装置主要由第一传动系统和第二传动系统相互连接而成。其中 所述第一传动系统主要包括由第一蜗杆和第一蜗轮构成的第一蜗杆副以及用于驱动所述 第一蜗杆转动的手轮,所述第二传动系统主要包括由第二蜗杆和第二蜗轮构成的第二蜗杆 副、用于限定所述第二蜗轮的旋转角度范围的限位螺栓、以及与所述第二蜗轮连接并被所 述第二蜗轮传动的阀杆。其中,所述第一蜗杆与所述第一蜗轮相啮合,所述第二蜗杆与所述 第二蜗轮相啮合,所述第一蜗轮与所述第二蜗杆之间的传动通过平键连接。打开或关闭所 述阀板时,人工转动所述手轮以驱动所述第一蜗杆转动,从而带动与所述第一蜗杆啮合的 第一蜗轮转动,所述第一蜗轮传动所述第二蜗杆转动,进而带动与所述第二蜗杆啮合的第 二蜗轮转动,所述第二蜗轮传动所述阀杆,由所述阀杆来实现所述阀板的打开或关闭。在这 个过程中,由所述限位螺栓来控制所述第二蜗轮的旋转角度,以实现所述阀板的全开和全 关的要求。但是,所述蜗轮阀板驱动装置的结构比较复杂,零部件加工、操作及维护等比较复 杂,不易实施,且设备配置成本较高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种密封腔体阀板驱动机构,所述密封腔体阀板驱动机构结 构简单、紧凑,易于操作及维护,且设备配置成本较低。为实现上述目的,本专利技术提供了一种密封腔体阀板驱动机构,用于驱动阀板对密 封腔体的传递窗口的打开或关闭。所述密封腔体阀板驱动机构包括移动导向装置、安装板、 第一驱动装置、连接装置及第二驱动装置,所述移动导向装置位于所述密封腔体的传递窗 口的下方且与所述密封腔体的外侧壁固定连接,所述安装板与所述移动导向装置呈纵向地 滑动连接,所述第一驱动装置与所述安装板固定连接,所述第一驱动装置驱动所述安装板 沿所述移动导向装置作纵向的直线往复运动,所述连接装置的一端与所述阀板连接,所述 连接装置的另一端与所述第二驱动装置固定连接,所述第二驱动装置与所述安装板固定连 接,所述第二驱动装置驱动所述阀板作横向的直线往复运动,所述第一驱动装置通过所述安装板驱动所述阀板作纵向的直线往复运动。具体地,所述安装板包括呈垂直连接的横向部和纵向部。具体地,所述第一驱动装置包括第一气缸和第一活塞杆,所述第一气缸安装在所 述密封腔体的外侧壁上,所述第一活塞杆的一端滑动地收容于所述第一气缸的座体内,所 述第一活塞杆的另一端呈密封地伸出所述第一气缸的座体并与所述安装板的横向部固定 连接。具体地,所述第二驱动装置包括第二气缸和第二活塞杆,所述第二气缸与所述安 装板的纵向部固定连接,所述第二活塞杆的一端滑动地收容于所述第二气缸的座体内,所 述第二活塞杆的另一端呈密封地伸出所述第二气缸的座体并与所述连接装置连接。较佳地,所述连接装置包括连接座和连接杆,所述连接座与所述阀板固定连接,所 述连接座开设有一球形孔,所述连接杆的一端呈球状并插入所述连接座的球形孔内,所述 连接杆的另一端设有内螺纹孔,所述第二活塞杆伸出所述第二气缸的座体的一端设有外螺 纹,所述连接杆的内螺纹孔与所述第二活塞杆的外螺纹相配合。所述连接杆呈球状的一端 插入所述连接座的球形孔内以形成球铰链,使得所述阀板可以有局部的自由摆动以补偿所 述阀板与所述密封腔体的传递窗口的密封面之间的不平行度,从而使得所述阀板与所述传 递窗口的密封面之间贴合时能平行接触,提高密封效果。较佳地,所述连接装置还包括锁紧螺母和锁紧环,所述锁紧螺母穿过所述连接杆 并与所述连接座固定连接,所述锁紧环套入所述锁紧螺母。具体地,所述移动导向装置包括导轨、滑块及连接支柱,所述导轨呈纵向地固定安 装在所述密封腔体的外侧壁上,所述滑块与所述连接支柱的一端固定连接,所述连接支柱 的另一端与所述安装板的横向部固定连接,所述导轨与所述滑块滑动地卡合连接。较佳地,所述导轨和滑块的截面均呈燕尾槽形状。在本专利技术一优选实施例中,所述导向装置还包括上传感器、下传感器及挡片,所述 上传感器及下传感器对应安装在所述导轨的上、下端且位于同一纵线上,所述挡片安装在 所述滑块上且位于所述上传感器与所述下传感器之间。较佳地,所述移动导向装置还包括缓冲挡块,所述缓冲挡块呈突出地安装于所述 导轨的下端且正对所述连接支柱。与现有技术相比,由于本专利技术密封腔体阀板驱动机构的第一驱动装置通过所述安 装板驱动所述阀板作纵向的直线往复运动,所述第二驱动装置驱动所述阀板作横向的直线 往复运动,从而实现了所述阀板打开或关闭所述密封腔体的传递窗口的过程,结构简单、紧 凑,动作灵活轻便,零部件加工、操作及维护等比较简单,易于实施,且设备配置成本较低。通过以下的描述并结合附图,本专利技术将变得更加清晰,这些附图用于解释本专利技术 的实施例。附图说明图1为本专利技术密封腔体阀板驱动机构应用到密封腔体外侧的结构示意图。图2为图1所示I部分的放大图。图3为图2的分解图与密封腔体外侧壁的结构示意图。图4为图2的俯视图。图5为沿图4的A-A线的剖面图。 具体实施例方式现在参考附图描述本专利技术的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。如 上所述,本专利技术提供了一种密封腔体阀板驱动机构,由于本专利技术密封腔体阀板驱动机构的 第一驱动装置通过所述安装板驱动所述阀板作纵向的直线往复运动,所述第二驱动装置驱 动所述阀板作横向的直线往复运动,从而实现了所述阀板打开或关闭所述密封腔体的传递 窗口的过程,结构简单、紧凑,动作灵活轻便,零部件加工、操作及维护等比较简单,易于实 施,且设备配置成本较低。请参考图1-3,本专利技术的密封腔体阀板驱动机构用于驱动阀板14对密封腔体10的 传递窗口 12的打开或关闭。如图1、图2及图3所示,本专利技术的密封腔体阀板驱动机构包括 移动导向装置20、安装板22、第一驱动装置24、连接装置26以及第二驱动装置28。所述移 动导向装置20位于所述密封腔体10的传递窗口 12的下方且与所述密封腔体10的外侧壁 101固定连接,所述安装板22与所述移动导向装置20呈纵向滑地动连接,所述第一驱动装 置24与所述安装板22固定连接,所述第一驱动装置24驱动所述安装板22沿所述移动导 向装置20作纵向的直线往复运动,所述连接装置26的一端与所述阀板14连接,所述连接 装置26的另一端与所述第二驱动装置28固定连接,所述第二驱动装置28与所述安装板22 固定连接,所述第二驱动装置28驱动所述阀板14作横向的直线往复运动,所述第一驱动装 置24通过所述安装板22驱动所述阀板14作纵向的直线往复运动。具体地,如图2所示, 所述安装板22包括呈垂直连接的横向部221和纵向部222。具体地,本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种密封腔体阀板驱动机构,用于驱动阀板对密封腔体的传递窗口的打开或关闭,其特征在于:所述密封腔体阀板驱动机构包括移动导向装置、安装板、第一驱动装置、连接装置及第二驱动装置,所述移动导向装置位于所述密封腔体的传递窗口的下方且与所述密封腔体的外侧壁固定连接,所述安装板与所述移动导向装置呈纵向地滑动连接,所述第一驱动装置与所述安装板固定连接,所述第一驱动装置驱动所述安装板沿所述移动导向装置作纵向的直线往复运动,所述连接装置的一端与所述阀板连接,所述连接装置的另一端与所述第二驱动装置固定连接,所述第二驱动装置与所述安装板固定连接,所述第二驱动装置驱动所述阀板作横向的直线往复运动,所述第一驱动装置通过所述安装板驱动所述阀板作纵向的直线往复运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨明生郭远伦刘惠森范继良王勇王曼媛
申请(专利权)人:东莞宏威数码机械有限公司
类型:发明
国别省市:44[中国|广东]

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