透射电镜微栅的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供一载体，所述载体具有第一通孔；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖所述载体的第一通孔；以及提供一固定体，所述固定体具有第二通孔，并层叠设置所述固定体与所述载体层，使所述碳纳米管结构固定于所述载体和所述固定体之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤其涉及一种基于碳纳米管结构的透 射电镜微栅的制备方法。
技术介绍
在透射电子显微镜中，微栅是用于承载粉末样品，进行透射电子显微镜高分辨像 (HRTEM)观察的重要工具。现有技术中，透射电子显微镜的微栅通常是在铜网或镍网等金属 网格上覆盖一层多孔有机膜，再蒸镀一层非晶碳膜制成的。然而，在实际应用中，当采用上 述微栅对被测样品的透射电镜高分辨像进行成份分析时，尤其在观察尺寸比较小的纳米颗 粒，如小于5纳米的颗粒的透射电镜高分辨像时，微栅中的非晶碳膜对纳米颗粒的透射电 镜高分辨像的干扰比较大。自九十年代初以来，以碳纳米管(请参见Helical microtubules of graphiticcarbon, Nature, Sumio Iijima, vol 354，p56 (1991))为代表的纳米材料以其独 特的结构和性质引起了人们极大的关注。将碳纳米管应用于微栅的制作，有利于降低非晶 碳膜对被测样品成份分析的干扰。然而，由于碳纳米管的质量比较轻，在应用于微栅时容易 发生飘移，从而影响了透射电镜的分辨率以及测量的准确性。
技术实现思路
有鉴于此，确有必要提供一种能够防止碳纳米管结构飘移的透射电镜微栅的制备 方法。一种，包括以下步骤提供一载体，所述载体具有第一通 孔；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖所述载体的第一通孔；以及提供一固定 体，所述固定体具有第二通孔，将所述固定体与所述载体层层叠设置，使所述碳纳米管结构 固定于所述载体和所述固定体之间。一种，包括以下步骤提供一载体以及一固定体，所述载 体具有多个第一通孔，所述固定体具有多个第二通孔，所述载体与固定体之间具有一连接 处，在该连接处形成有一折叠部，该载体与固定体通过该折叠部活动连接；提供一碳纳米管 结构，将该碳纳米管结构覆盖所述载体的第一通孔；以及通过所述折叠部将所述固定体与 载体层叠设置，使碳纳米管结构固定于所述载体和所述固定体之间。—种，包括以下步骤提供多个载体，该多个载体间隔设 置于一基底表面，每个载体具有一第一通孔；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖 所述多个载体的第一通孔；提供多个固定体，每个固定体具有一第二通孔，并将该每个固定 体与所述载体一一对应层叠设置，使得所述碳纳米管结构固定于所述多个载体和所述多个 固定体之间；以及断开所述多个载体之间的碳纳米管结构，从而形成多个透射电镜微栅。与现有技术相比较，由本专利技术提供的制备的透射电镜微 栅通过将所述碳纳米管结构设置于所述载体及固定体之间，可以防止在使用所述透射电镜微栅过程中，夹持该透射电镜微栅的器具与所述碳纳米管结构直接接触，而由于碳纳米管 结构的质量较轻引起该碳纳米管结构的飘移，以消除微栅在使用过程中碳纳米管结构容易 飘移的现象，从而提高透射电镜的分辨率及准确性。附图说明 载体110210310410；510 ；610第一圆片状本体111211311511；611第一圆环112212312412；512 ；612第一网状结构114314514614第一通孔116216316416；516 ；616狭缝118218318418；518碳纳米管支撑体120220320420；520 ；620固定体130230330430；530 ；630第二圆片状本体131231431531；631第二圆环132232332432；532 ；632第二网状结构134534634第二通孑L136236336436；536 ；636卡扣138238338438；538第三通孔150第一条状结构214第二条状结构234第三通孔250折叠部550第一表面618碳纳米管结构522 ；622第二表面638焊接元件640容器560 ；660有机溶剂562 ；66具体实施例方式下面将结合附图及具体实施例，对本专利技术提供的透射电镜微栅及其制备方法作进 一步的详细说明。请参阅图1及图2，本专利技术第一实施例提供一种透射电镜微栅10。所述透射电镜 微栅10包括一载体110、一碳纳米管支撑体120及一固定体130。所述碳纳米管支撑体120 设置于所述载体110及所述固定体130之间。优选地，该透射电镜微栅10的外径为3毫米， 厚度为3微米 20微米的圆片状结构。所述载体110包括至少一个第一通孔116 ；该至少一个第一通孔116的形状可以 为圆形、四边形、六边形、八边形、椭圆形等。具体地，所述载体110为一圆片状多孔结构，该 圆片状多孔结构包括一第一圆片状本体111，该第一圆片状本体111包括一第一圆环112以 及一第一网状结构114，该第一圆环112具有一个通孔，该第一网状结构114设置于该通孔 处，并形成多个第一通孔116。所述第一网状结构114的第一通孔116的尺寸不限，可以为 10微米 200微米。其中，所述“尺寸”是指第一通孔的最大宽度。可以理解，所述多个第 一通孔116的形状及排列方式不限，可根据实际应用需求调整。所述多个第一通孔116之 间的距离可相等或不等。优选地，所述多个第一通孔116均勻分布在所述载体110的表面， 相邻的第一通孔116之间的距离大于1微米。所述载体110的材料可以是铜、镍、钼或陶瓷 等材料。所述载体110的第一网状结构114可以通过刻蚀的方法形成。所述第一圆环112 上设置两个狭缝118，该两个狭缝118对称设置，以便与所述固定体130固定。本实施例中，所述载体110的外径为3毫米。所述多个第一通孔116的形状为方 形。该多个方形第一通孔116均勻分布在所述载体110的表面。相邻的方形第一通孔116 之间的距离相等。该方形第一通孔116的尺寸在40微米 120微米之间。该第一网状结 构114与所述第一圆环112位于同一平面内。所述载体110的材料为铜。所述碳纳米管支撑体120设置于所述载体110的表面。具体地，所述碳纳米管支 撑体120至少覆盖部分所述多个第一通孔116。优选地，所述碳纳米管支撑体120覆盖第 一网状结构114的全部第一通孔116。所述碳纳米管支撑体120为一片状结构，优选地，该 碳纳米管支撑体120为圆片状，直径小于等于3毫米，进一步优选地，所述碳纳米管支撑体 120的直径小于等于2. 8毫米。所述碳纳米管支撑体120包括至少一个碳纳米管膜。所述碳纳米管膜是由若干碳 纳米管组成的自支撑结构。所述若干碳纳米管沿同一方向择优取向排列。所述择优取向是 指在碳纳米管膜中大多数碳纳米管的整体延伸方向基本朝同一方向。而且，所述大多数碳 纳米管的整体延伸方向基本平行于碳纳米管膜的表面。进一步地，所述碳纳米管膜中多数 碳纳米管是通过范德华力首尾相连。具体地，所述碳纳米管膜中基本朝同一方向延伸的大多数碳纳米管中每一碳纳米管与在延伸方向上相邻的碳纳米管通过范德华力首尾相连。当 然，所述碳纳米管膜中存在少数随机排列的碳纳米管，这些碳纳米管不会对碳纳米管膜中 大多数碳纳米管的整体取向排列构成明显影响。所述自支撑为碳纳米管膜不需要大面积的 载体支撑，而只要相对两边提供支撑力即能整体上悬空而保持自身膜状状态，即将该碳纳 米管膜置于(或固定于)间隔一定距离设置的两个支撑体上时，位于两个支撑体之间的碳 纳米管膜能够悬空保持自身膜状状态。所述自支撑主要通过碳纳米管膜中存在连续本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供一载体，所述载体具有第一通孔；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖所述载体的第一通孔；以及提供一固定体，所述固定体具有第二通孔，将所述固定体与所述载体层叠设置，使所述碳纳米管结构固定于所述载体和所述固定体之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘亮，范立，冯辰，潜力，王昱权，
申请(专利权)人：北京富纳特创新科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]