驱动载物台及使用该驱动载物台的贴片机制造技术

本发明专利技术提供能够防止固定部滑动和螺栓断裂损坏的发生、抑制磁引力引起的梁的扭转变形、实现驱动载物台高寿命和高精度的驱动载物台及使用该驱动载物台的贴片机。驱动载物台具有：梁；沿着梁长度方向设置在该梁上的多根线性导轨；沿线性导轨自由滑动的滑块；固定在该滑块上、通过滑块沿着线性导轨移动的移动体；多根线性导轨中，至少１根线性导轨与梁的设置面垂直于其它线性导轨与梁的设置面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于半导体制造装置和电子部件安装装置的驱动载物台以及 使用了该驱动载物台的贴片机。
技术介绍
半导体制造装置和电子部件安装装置(贴片机)，例如通过电子部件安装在印刷基板上的机构在轨道上向一轴方向(X方向)移动的驱动载物台和使 该驱动载物台向轨道垂直方向(Y方向)移动的机构，将电子部件安装在印 刷基板上(XY平面上)。特别是用于贴片机的驱动载物台中，作为使安装机 构移动的操作机构，使用了线性电动机。图6是表示以往的驱动载物台的一例的侧面图(参照专利文献l)。 如图6所示，以往的驱动载物台中，l个线性电动机定子(线性电动机18) 设置在垂直于梁16长度方向的剖面的左侧纵线部中央梁上，1个线性电动积^ 动子面对线性电动机定子设置在移动体17上。设置在梁16上的1个线性电 动机定子与设置在移动体17上的1个线性电动机动子之间，在图6纸面水平 方向上有f兹引力作用。图7是由线性导轨19和滑块20构成的线性滑轨结构的立体图。 如图7所示，线性滑轨结构中，线性导轨19与滑块20之间夹着多个金属 球21，滑块20内有金属球21循环的路径，通过金属球21在滑块2Q内滚动， 与滑块20固定的移动体17就能够沿着设置在梁16上的线性导轨19驱动。该线性滑轨结构的设计，对作用于与线性导轨19设置面垂直的Z方向的 负载有很高强度，但是，对作用于平行的XY方向的负载较弱，金属球21容 易磨损。并且，关于线性导轨19与梁的设置， 一般是 栓的轴方向与该设置 面垂直相交地固定。因此，负载作用于与线性导轨19设置面平行的方向时， 可能会发生固定部的滑动和螺栓22的断裂损坏。上述线性滑轨结构中的金属球21的磨损和固定部的滑动及螺栓22的断裂 损坏会导致移动体17的驱动导向不稳定，大幅降低驱动载物台的导向精度。图6所示的以往例中，作用于2个线性导轨19与梁16的设置面和各线性 导轨19上的磁引力的作用方向是垂直的，所以能够防止上述线性滑轨结构的 故障。但是，作用于线性电动机动子a及线性电动机定子b之间的磁引力会 使梁16及移动体17变形。作为对策，提高梁的刚性后，会增加梁16的质量， 增加机器整体的质量。图8是表示专利文献2所记载的以往驱动载物台的实施例的侧面图。图8 所示的以往驱动载物台中，2个线性电动机定子18b分别设置在梁16左侧面 的上侧和下侧，1个线性电动^i动子18a设置在移动体17的I字形剖面的右 侧中央部分。由此，作用于线性电动机动子18a与2个线性电动机定子18b 之间的磁引力的作用方向同轴且方向相反(Z方向)，所以;兹引力互相抵消。 因此，磁引力引起的梁16的弯曲和扭转变形比专利文献1所记载的驱动载物 台结构要小。但是，2个线性导轨19与梁16的设置面互相平行。负载(图中 来自上方的负载)作用于与2个线性导轨19设置面平行的方向时，将线性导 轨19固定在梁16上的固定部的滑动和螺栓的断裂损坏可能会发生，可能会 使驱动导向不稳定，大幅降低驱动载物台的导向精度。图9是表示专利文献2所记载的以往驱动载物台的实施例的侧面图。图7 所示的以往驱动载物台与图8所示的以往驱动载物台的结构几乎一样，作用 于线性电动机动子18a与2个线性电动机定子18b之间的磁引力互相抵消。 但是，剖面为「字形的移动体17只由设置在梁16上面的1个线性导轨19固 定在梁16上。这时，由驱动载物台的移动，负载(图中横向的负载)平行地 作用于线性导轨19的设置面时，固定部滑动和螺栓断裂损坏发生的可能性大， 导致驱动导向不稳定，大幅降低导向精度。因此，为了防止驱动载物台的故障，提出了线性导轨19的大型化等、加 强线性导轨19和改变结构材料等方案。专利文献1特开2008-070732号公报专利文献2特开2004-140888号公报但是，通过加强线性导轨和改变材料来抑制故障是有限度的，通过增加移动体质量和增加磁引力来增加平行于线性导轨与梁的设置面的方向的负载 时，难以防止故障。另外，为了在大面积晶片上安装电子部件而使线性导轨 大型化时，为了确保设置面必须使梁大型化，所以整体上会增加机器重量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述课题，提供能够防止固定部滑动和螺栓断裂损 坏的发生、抑制磁引力引起的梁的扭转变形、实现驱动载物台高寿命和高精 度的驱动载物台及^f吏用该驱动载物台的贴片^L。为了达到上述目的，本专利技术所涉及的驱动载物台具有梁；沿着梁长度方 向设置在该梁上的多根线性导轨；沿线性导轨自由滑动的滑块；固定在该滑 块上、通过上述滑块沿着线性导轨移动的移动体；上述多#>线性导轨中，至 少1根线性导轨与梁的设置面垂直于其它线性导轨与梁的设置面。根据本专利技术，能够防止梁与线性导轨的固定部的滑动和螺栓断裂损坏的发 生，能够抑制磁引力引起的梁的扭转变形，能够实现驱动载物台高寿命和高 精度。另外，根据本专利技术，即使用于增加驱动载物台的驱动加速度的线性电动机 的高性能化所伴随的线性电动机重量增加、平行于线性导轨与梁的设置面的 负载变大，也能够防止驱动载物台故障，所以能够实现驱动载物台的高速化。 附图说明图1是表示本专利技术所涉及的一实施方式的驱动载物台的剖面图。 图2是图1的驱动载物台的立体图。 图3是图1的驱动载物台的侧面图。 图4是表示使用了驱动载物台的贴片机的平面图。 图5是图4的贴片机的侧面图。 图6是表示以往驱动载物台的一例的侧面图。 图7是表示以往驱动载物台的其它例子的部分切除立体图。 图8是表示以往驱动载物台的其它例子的剖面图。 图9是表示以往驱动载物台的其它例子的剖面图。 符号说明10驱动载物台16梁 17移动体 18线性电动枳； 18a线性电动4几动子 18b线性电动机定子 19线性电动机导轨 20滑块 22螺栓 23加强壁 24厚壁部 具体实施例方式下面根据附图来说明本专利技术合适的实施方式。本专利技术是关于驱动载物台和具有驱动载物台的贴片机的专利技术，首先说明贴 片机的结构。图4和图5是表示贴片机结构的示意结构图，图4是其侧面图，图5是平 面图。如图4及图5所示，贴片机30具有设置基板31的基座32;设置在 基座32上、支持驱动载物台10、向1方向(作为Y轴方向)移动的驱动载 物台移动装置33;设置在驱动载物台移动装置33上的驱动载物台10。驱动载物台移动装置33具有在基座32上夹着基板31、互相平行设置 的l对线性导轨(Y轴用线性导轨)34;沿着线性导轨34滑动、在两端支持 驱动载物台10的载物台支持滑块35;用于驱动载物台支持滑块35的线性电 动机(Y轴用线性电动机)36。驱动载物台IO具有架在2个Y轴用线性导轨34之间的、较长的梁16; 沿着梁长度方向(作为X轴方向)设置在该梁16上的2根线性导轨(X轴用 线性导轨)19;沿线性导轨19自由滑动的滑块；固定在该滑块上的移动体17。 移动体17上设置有用于将电子部件安装在基板31上的芯片安装机构37。贴片机30能够由驱动载物台移动装置32的Y轴用线性电动机36的驱动 使Y轴用线性导轨34上的驱动载物台IO向Y方向移动，并且能够由驱动载垂直的方向(X方向)移动。由此，移动体17能够对准放置在基座32上的 基板(半导体晶片和电子电路基板等)31上的任意位置，由设置在移动体17 上的芯片安装机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动载物台，具有：梁；沿着梁长度方向设置在该梁上的多根线性导轨；沿线性导轨自由滑动的滑块；固定在该滑块上、通过上述滑块沿着线性导轨移动的移动体；其特征在于，　上述多根线性导轨中，至少１根线性导轨与梁的设置面垂直于其它线性导轨与梁的 设置面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：井村真，狩野良则，山口晴彦，柏谷尚克，山口正树，成濑友博，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术仪器，
类型：发明
国别省市：JP[日本]