支撑销制造技术

本发明专利技术提供一种应用于干蚀刻装置的支撑销，包括一固锁座、一本体，以及一支臂，该支臂以可拆卸的方式固定在固锁座的顶端，该本体以可拆卸的方式固定在支臂的顶端。本发明专利技术支撑销的优点在于：由于本发明专利技术支撑销的三件式可拆卸组装的设计，减少了需要更替部份的体积，不但降低该支撑销耗材成本，也较易于进行拆除、更换等维修工作，进而有效解决目前干蚀刻机台中耗材更换所造成的不必要的成本消耗。

【技术实现步骤摘要】
支撑销
本专利技术关于 一种支撑销，特别是一种应用于干蚀刻装置的支撑销。
技术介绍
目前，电浆蚀刻机台(plasma etching apparatus)等的干蚀刻装置已广泛地 应用于液晶显示面板(liquid crystal display panel)的制作过程中，用来去除 未被光阻等的图案化屏蔽层覆盖及保护的部分，以将光罩图案(pattem)转移至 玻璃基板表面上的特定薄膜中。电浆蚀刻主要是利用电浆将反应气体分子解 离成对玻璃基板表面的薄膜材质具有反应性(reactive)的离子，以与玻璃基板 上的薄膜发生化学反应，进而使暴露在电浆下的薄膜被蚀刻反应成挥发性的 物质，然后再利用真空系统将反应生成的挥发性物质加以抽离玻璃基板表面。请参考图1，图1为现有电浆蚀刻机台的电浆反应腔体的示意图。如图1 所示，现有的电浆反应腔体IO包含有一壳体12, —基座14设于壳体12的底 部， 一电极座22设于基座14的表面上， 一下电极20设于电极座22的表面 上，以及一护环26，以可升降的方式装设于下电极20的上方。此外，电浆反 应腔体10另包含有复数支撑销(pusherpin)50，以可上、下移动的方式设置于 下电极20与电极座22内，以及一绝缘部件24设置于下电极20的周围，用 以保护下电极20。另一方面，基座14由一陶瓷材料(ceramic)层16与一铝金 属层18堆栈而成。除此之外，电浆反应腔体10另可包含有一铁氟龙护罩 (Teflon cover)(未显示)，环设于电极座22的周围，以及一陶瓷护罩(ceramic cover)(未显示)，环设于该铁氟龙护罩与基座14的周围，而该铁氟龙护罩与该 陶瓷护罩用来保护电极座22与基座14。请参考图2与图3,图2与图3表示出玻璃基板30载入电浆反应腔体10 内的作动方式。如图2所示，壳体12包含有一信道开口(未显示)，用来使一 机械臂(robot)28能够传送一玻璃基板30进、出电浆反应腔体10。当机械臂28将玻璃基板30送进电浆反应腔体10后，各个支撑销50会向上移动以托住 玻璃基板30并将玻璃基板30向上举起，使玻璃基板30离开机械臂28，然后 机械臂28会退出电浆反应腔体10。随后，如图3所示，各个支撑销50会同 步向下移动，并将玻璃基板30放置于下电极20的表面上，接着护环26会由 上往下移动至下电极20的表面上，同时固定玻璃基板30,最后在玻璃基板 30上进行一电浆蚀刻制程。其中，护环26用来将该电浆蚀刻反应的电浆离子 集中于玻璃基板30之上，以避免基座14或壳体12内部受到电浆离子的攻击 而受损。请参考图4，图4为现有单一支撑销50的示意图。如图4所示，现有应 用于电浆反应腔体10内的支撑销50均为可拆卸的结构设计，由一本体52与 一固锁座54所组成。其中，圆棒状的本体52上缘用来接触并承载玻璃基板 30的顶端部51为一均匀平面，且本体52下缘为一具有公螺紋(male thread) 结构设计的底端部53,而装设于基座14内的固锁座54的上缘内壁则为一具 有母螺乡丈(female thread)结构设计的顶端部，因此本体52与固锁座54可以通 过旋转套接而互相嵌合，连结成为一支撑销50。由于在电浆蚀刻的过程中，电浆反应腔体10内会不断地充斥有高浓度的 电浆团以及被电浆解离的蚀刻离子等气体在真空的电浆反应腔体10中四处 流窜，侵蚀玻璃基板30上的薄膜，因此即使有护环26、玻璃基板30、基座 14等遮蔽物的阻隔，在使用过一段时间后，设置于下电极20与电极座22中 的各支撑销50仍会受到不同程度的侵蚀。如图5所示，本体52用来承载玻 璃基板30的顶端部51受电浆、蚀刻离子的侵蚀，造成损耗，而产生如虚线 所示的削角现象。该削尖的本体52即不再适用于承载玻璃基板30，即便削尖 处仅占本体52的一小部^分，此时仍需将电浆反应腔体10内全部的本体52予 以更换，以利于后续玻璃基板30蚀刻步骤的进行。然而，长达18多厘米的本体52几乎占整个支撑销50约90%的长度，不 但深入电极座22、基座14内，拆除不易，并且在更换支撑销50时，需先拆 除基座14中的管状元件(Bellows)(未显示)，才能进行更换支撑销50的动作， 而且待更换完成的后，还要重新组装并进行整个基座14与千蚀刻装置的校正，非常费时费工。此外，本体52为杜邦公司的Vespel树脂，价格高，如损 耗量极大，更换费用便相当可观。所以如何降低此损料价格与更换支撑销50 的复杂程序的时间成本便成为目前欲努力达成的目标。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种降低耗材成本浪费、也易于进 行拆除、更换等维修工作的支撑销。本专利技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的 一种支撑销，包括一 固锁座以及一本体，还包括一支臂，该支臂以可拆卸的方式固定在固锁座的 顶端，该本体以可拆卸的方式固定在支臂的顶端。该专利技术进一步具体为该固锁座的顶端部具有一固定导杆，该支臂的底端部具有一第一凹槽， 该固定导杆以可拆卸的方式固定在该第一凹槽内。该支臂的该第一凹槽内壁具有一母螺紋，该母螺紋为一方螺紋或梯形螺紋。该支臂的该第一凹槽底部具有一气孔。该支臂的顶端部具有一第二凹槽，该本体的底端部具有一固锁导杆，该 固锁导杆以可拆卸的方式固定于该支臂的该第二凹槽内。该支臂的该第二凹槽内壁另具有一母螺紋，该本体的该固锁导杆表面具 有 一公螺紋，该第二凹槽的母螺紋与该固锁导杆的公螺紋相配合。该支臂的该第二凹槽底部具有一气孔。该支臂与该固锁座的材料分别为一体成型的不锈钢，该本体的材料为耐热与耐磨性材料。该本体上及该固锁座分别具有二个平行的钳合面。本专利技术支撑销的优点在于由于本专利技术支撑销的三件式可拆卸组装的设 计，減少了需要更替部份的体积，不但降低该支撑销耗材成本，也较易于进 行拆除、更换等维修工作，进而有效解决目前干蚀刻机台中耗材更换所造成 的不必要的成本消耗。附图说明5下面参照附图结合实施例对本专利技术作进一步的描述。 图l为现有电浆蚀刻机台的电浆反应腔体的示意图。图2与图3例示玻璃基板载入电浆反应腔体内的示意图。 图4为现有支撑销的示意图。 图5为现有损耗的支撑销的示意图。 图6为本专利技术较佳实施例的支撑销的示意图。 图7至图9为本专利技术较佳实施例的支撑销的分解结构图。具体实施方式请参考图6至图9，图6为本专利技术较佳实施例的支撑销的示意图，图7 至图9为本专利技术较佳实施例的支撑销各部件的分解结构图。如图6所示，本 专利技术较佳实施例的支撑销60为一种三件式的结构体，其包含有一本体62、 一 支臂64以及一固锁座66等三个部件，并全部以可拆卸的方式垂直套接组合 而互相嵌合固定，连结成为本专利技术的支撑销60。其中，依垂直方向而言，支 臂64以可拆卸的方式"i殳置于固锁座66的顶端，而本体62又以可拆卸的方式 设置于支臂64的顶端。如图7所示，固锁座66的底端部67具有一凹槽63，且凹槽63内壁具有 一母螺紋，该母螺紋可以是方螺紋(square thread)或者梯形螺紋(acme thread) 等，用来与电浆反应腔体(未显示)内一固定装置(未显示)，以旋转套接的方式 互相嵌合，进而将固锁座66固定于电浆反应腔体内的基座(未显示)中。而固 锁座66的顶端部69本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种支撑销，包括一固锁座以及一本体，其特征在于：还包括一支臂，该支臂以可拆卸的方式固定在固锁座的顶端，该本体以可拆卸的方式固定在支臂的顶端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：湛仁宗，
申请(专利权)人：福建华映显示科技有限公司，中华映管股份有限公司，
类型：发明
国别省市：35[中国|福建]