测量球面拼接望远镜子镜间相对曲率半径差的检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种测量球面拼接望远镜子镜间相对曲率半径差的检测装置，包括共焦调整系统和球径仪，所述的共焦调整系统包括设置在一块安装板上的激光源、针孔、两只准直透镜、分光棱镜和Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器，平面反射镜，微位移平移台，微位移平移台控制器，计算机；激光源射出的光束经过针孔和第一准直透镜后，通过分光棱镜反射后经过第二准直透镜射出；在分光棱镜的另一侧与其反射光路同轴的设置Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器；平面反射镜设置在第二准直透镜焦面外的光轴上；在平面反射镜的反射光路上设置承载被测子镜的微位移平移台。本装置无需备置标准参考镜、不受测试环境影响、测量精度高、效率高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种测量球面拼接望远镜子镜间相对曲率半径差的检测装置，包括共焦调整系统和球径仪（１２），其特征在于，所述的共焦调整系统包括设置在一块安装板（８）上的激光源（１）、针孔（２）、两只准直透镜（３．１、３．２）、分光棱镜（４）和Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器（６），平面反射镜（５），微位移平移台（９），微位移平移台控制器（１０），计算机（１１）；所述激光源（１）射出的光束经过针孔（２）和第一准直透镜（３．１）后，通过所述分光棱镜（４）反射后经过第二准直透镜（３．２）射出；在分光棱镜（４）的另一侧与其反射光路同轴的设置所述的Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器（６）；　所述的平面反射镜（５）设置在第二准直透镜（３．２）焦面外的光轴上；在平面反射镜（５）的对光源光线的反射光路上设置所述的承载被测子镜的微位 移平移台（９）；　所述的计算机（１１）通过微位移平移台控制器（１０）与微位移平移台（９）控制连接，与所述Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器（６）电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林旭东，王建立，刘欣悦，董磊，陈宝刚，明名，李宏壮，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]