【技术实现步骤摘要】
光学标准具及其制备方法及在波长解调系统的应用
[0001]本申请属于光学芯片
,尤其是涉及一种测温光学标准具及其制备方法及在波长解调系统的应用。
技术介绍
[0002]光纤传感技术是伴随着光通信技术的发展而逐步形成的。光纤传感技术是以光波作为传感信息的载体,与电子测量技术中以传感元件电特性为基础的检测原理有很大区别。与传统电子类传感器只作为传感元件不同的是,光纤传感器具有“传”和“感”一体化的特点,由此具备传统传感器所不具备的诸多优点。
[0003]由于可调谐激光器的光功率波动性和稳定性、光路和电路的噪声等因素会影响用直接法求得的光纤光栅反射波长的解调精度和解调稳定性。因此,基于可调谐激光器的高速光纤光栅波长解调系统可以引入波长参考模块,来提高系统波长解调精度和稳定性。引入F
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P标准具(法布里
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珀罗标准具)模块的光纤光栅波长解调法系统可在一定波段范围内引入间隔均匀的多个波长参考点,在环境温度处于稳态情况下F
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P标准具,能够对激光器的输出波长进行标定,从而降低解调波长的随机误差。
[0004]中国专利文献CN111024246A,专利技术名称为基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法及装置中公开了在传感器上外壳上设置温度传感器来感应温度从而对测量的波长进行补偿,但是由于其测量的是传感器外壳的温度,其温度不能代表法珀标准具内部温度,因而,对于温度的测量准确性不高。
技术实现思路
[0005]本专利技术要解决的技术问题是:为解决 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能够测温的光学标准具,其特征在于,包括:硅基材料层(1),顶部和底部分别镀有光学薄膜层(4);热敏电阻(2),位于硅基材料层(1)中心,为环形;定值电阻(3),为3个,围绕所述热敏电阻(2)设置;所述热敏电阻(2)和定值电阻(3)由溅射在光学薄膜层(4)上的金属层形成,且热敏电阻(2)与定值电阻(3)形成环形电路,所述环形电路上具有供电节点和测电节点,供电节点接受外部供电后,所述环形电路形成并联的两条支路,两条支路分别为串联在一起的热敏电阻(2)与其中一个定值电阻(3)以及剩余两个的串联设置的定值电阻(3),测电节点位于热敏电阻(2)与定值电阻(3)或者定值电阻(3)与定值电阻(3)之间;热敏电阻(2)围成区域的硅基材料层(1)及其顶部和底部的光学薄膜层(4)形成法布里
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珀罗干涉结构。2.根据权利要求1所述的能够测温的光学标准具,其特征在于,所述热敏电阻(2)为铂,定值电阻(3)为镍铬合金。3.根据权利要求1或2所述的能够测温的光学标准具,其特征在于,所述热敏电阻(2)以及定值电阻(3)四周具有空腔。4.根据权利要求3所述的能够测温的光学标准具,其特征在于,所述定值电阻(3)为长方形,围绕所述定值电阻(3)四周的空腔为相互平行的长条状。5.根据权利要求1所述的能够测温的光学标准具,其特征在于,所述光学薄膜层(4)为多层介质膜,依次为TiO2膜、SiO2膜、TiO2膜、SiO2膜和TiO2膜。6.一种制备权利要求1
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5任一项的光学标准具的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:取一硅基材料层(1),在所述硅基材料层(1)顶部和底部分别镀光学薄膜层(4)形成法布里
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珀罗干涉结构;S2:在硅基材料层(1)顶部的光学薄膜层(4)上涂覆光刻胶形成光刻胶层(5),并形成图案,所述图案与热敏电阻(2)及定值电阻(3)对应;S3:使用磁控溅射工艺在热敏电阻(2)对应位置和定值电阻(3)对应位置分别溅射金属;S4:减薄金属层(6)并去除光刻胶层(5),保留图案中的金属以形成热敏电阻(2)和定值电阻(3);S5:封装并通过金属导线使热敏电阻(2)与定值电阻(3)形成环形电...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘晓海,吴盟,
申请(专利权)人:欧梯恩智能科技苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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