输送系统技术方案

本发明专利技术提供一种能够在维持清洁度的同时实现托盘单位中的处理的自动化、向多品种小批量的对应、输送效率的提高的输送系统。设有：托盘取放机构（２０），将多个层叠了的托盘（１）相对于箱体（５）取放；容器箱体输送机构（１０），输送该容器箱体（５）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及输送系统，在制造半导体装置或液晶显示装置等的工厂中，在清洁室内对作为其坯材的平板状工件(半导体晶片或玻璃板)实施各种加工处理时，在将平板状工件一片一片地收容在托盘上的状态下以多片单位、或者以一片单位输送。
技术介绍
制造半导体装置或液晶显示装置等的工厂中，为了尽量维持作为其坯材的平板状工件(半导体晶片或玻璃板)的平面状态并且不带来损伤，并且从处理空间的节约的方面为了能够堆积并且尽可能减小其堆积高度，提出了收容该平板状工件(以后单称作“工件”)的托盘。此外，还提出了收容该层叠的托盘的保存容器，作为其一例，在专利文献1中，提出了将半导体晶片在托盘上各收容一片、将该托盘多个层叠而收容的保存容器。但是，在该专利文献1中，用来将这样层叠的托盘收容到保存容器(以后在本专利技术中称作“容器箱体”)中的托盘取放机构、用来为了进行各加工处理而将层叠的托盘一片片地拆卸、或将收容有加工处理后的工件的托盘再堆积的机构并没有记载。另一方面，在上述工厂中，从生产效率提高的方面来看，在维持清洁度的同时发挥上述托盘的特征的托盘取放机构或托盘堆积拆卸机构等的清洁室内的托盘处理的自动化的要求较高，并且要求这些托盘处理机构能够实现向多品种小批量的对应、还能够对应输送效率的提高。特许文献1日本特开2005-191419号公报(图1～图4)
技术实现思路
本专利技术想要解决上述问题，目的是提供一种能够在维持清洁度的同时可实现托盘单位的处理的自动化、向多品种小批量的对应、输送效率的提高的输送系统。技术方案1所述的输送系统的特征在于，设有托盘取放机构，将多个层叠了的托盘相对于容器箱体取放；以及容器箱体输送机构，输送该容器箱体。技术方案2所述的输送系统从属于技术方案1，其特征在于，设有托盘输送机构，输送托盘；以及托盘层叠拆卸机构，在该托盘输送机构和容器箱体输送机构之间，将托盘多个层叠、以及将多个层叠了的托盘拆卸。技术方案3所述的输送系统从属于技术方案1，其特征在于，容器箱体是将多个层叠了的托盘载置在其底盖上的结构，托盘取放机构是使上述底盖相对于上述容器箱体的上壳相对升降的机构。专利技术的效果根据技术方案1所述的输送系统，由于设有将多个层叠了的托盘相对于容器箱体取放的托盘取放机构、和输送该容器箱体的容器箱体输送机构，所以能够实现托盘单位的处理的自动化，能够以清洁的状态高效地输送托盘。根据技术方案2所述的输送系统，除了技术方案1的效果以外，由于设有输送托盘的托盘输送机构、和在该托盘输送机构和容器箱体输送机构之间、将托盘多个层叠、或者将多个层叠了的托盘拆卸的托盘层叠拆卸机构，所以根据需要能够选择托盘的单片输送和大批输送。根据技术方案3所述的输送系统，除了技术方案1的效果以外，由于容器箱体是将多个层叠了的托盘载置在其底盖上的结构，托盘取放机构是使上述底盖相对于上述容器箱体的上壳升降的机构，所以能够容易地取放层叠的托盘。附图说明图1(a)是表示本专利技术的输送系统的一例的整体配置图，图1(b)是图1(a)的要部剖视图。图2(a)是概念地表示图1的容器箱体的横截面的图，图2(b)是概念地表示图2(a)的纵截面的图，图2(c)是图2(a)的容器箱体的底盖封闭状态的要部详细图，图2(d)是该底盖开放状态的要部详细图。图3(a)、图3(b)是说明图1的托盘取放机构的作用效果的图。图4(a)是图1的托盘层叠拆卸机构的俯视图，图4(b)是图4(a)的侧视图，图4(c)是托盘层叠拆卸机构把持托盘的状态的要部剖视图。具体实施例方式以下，利用附图说明本专利技术的实施方式(实施例)。实施例1图1(a)是表示本专利技术的输送系统的一例的整体配置图，图1(b)是图1(a)的要部剖视图。该输送系统50是在制造半导体装置或液晶显示装置等的工厂中、在清洁室内对作为其坯材的平板状工件(半导体晶片或玻璃板)实施各种加工处理时、在将平板状工件一片一片地收容在托盘上的状态下以多片单位、或者以一片单位输送的输送系统。另外，以下说明在制造半导体装置的工厂中将圆形的半导体晶片即平板状工件W(以下也单称作“工件)收容在同样为圆形形状的托盘1上处理的例子，但作为本专利技术的对象的平板状工件、托盘的形状等并不限于此。输送系统50具备一片一片地收容工件W的托盘1、载置着多个层叠了的该托盘1的底盖2、从上方相对于该多个层叠了的托盘1的状态的底盖2气密地设置的上壳3(设由底盖2与上壳3构成的托盘收纳容器为容器箱体(pod)5)、输送该容器箱体5的容器箱体输送机构10、将多个层叠了的托盘相对于容器箱体取放的托盘取放机构20、输送托盘的托盘输送机构30、和托盘层叠拆卸机构40。在图中，标号S是设有该输送系统50、担当半导体制造工序的各加工处理中的一个的加工处理位置，从图中下段左端开始，绕逆时针将各位置标记为S(1)、……、S(4)、S(5)等。在该加工处理位置S中，从托盘1取出工件W，实施预定的加工处理后再放回到托盘1。关于由托盘1、底盖2、和上壳3构成的容器箱体5，利用图2在后面详细地叙述。容器箱体输送机构10是在各加工处理工序间、以某种程度的聚集来输送工件W、即托盘1的机构，具体而言，如上所述，是输送收容有一片一片地收容了工件W的多个层叠了的托盘1而成的1M的容器箱体5的机构。该容器箱体输送机构10是地面行驶的台车型，具备设定的行驶路径6、和在该行驶路径6中被自动控制而行驶的多个台车7。因而，该容器箱体输送机构10是在称作工序间输送空间C1的、清洁度较低的低清洁环境中使用的机构，但由于工件W与托盘1在收容于气密的容器箱体5中的状态下被输送，所以不会被清洁度较低的工序间输送空间C1中的微粒(指灰尘等粒子)污染。另外，作为容器箱体输送机构，这里例示了地面行驶的台车型，但并不限于此，也可以是天花板行驶型或输送机式。关于托盘取放机构20，利用图3在后面详细说明。托盘输送机构30具备将托盘1输送到各加工处理位置S(1)～S(8)的托盘输送机构30A、将托盘1从托盘层叠拆卸机构40向托盘输送机构30A输送的托盘输送机构30B、和将托盘1从托盘输送机构30A向托盘层叠拆卸机构40输送的托盘输送机构30C。该托盘输送机构30可以使用辊输送机或带输送机等，但并不限于此，只要是能够在清洁环境下将托盘1包括曲线部顺利地输送的机构就可以。另外，由托盘输送机构30输送的托盘1既可以是一片一片的情况(单片输送)，也可以是多个层叠的状态。关于托盘层叠拆卸机构40，利用图4在后面详细说明。另外，设置了托盘取放机构20、托盘输送机构30、托盘层叠拆卸机构40的空间与各加工处理位置S(1)～S(8)内同样，是比设置了容器箱体输送机构10的清洁度较低的工序间输送空间C1清洁度更高的空间，称作工序内输送空间C0。图2(a)是概念地表示图1的容器箱体的横截面的图，图2(b)是概念地表示图2(a)的纵截面的图，图2(c)是图2(a)的容器箱体的底盖封闭状态的要部详细图，图2(d)是该底盖开放状态的要部详细图。以下，对已经说明的部分赋予相同的标号而省略重复的说明。构成容器箱体5的底盖2是正方形的板状，能够载置多个层叠于其上的托盘1，沿着其四边外缘，设有空气管密封机构4。空气管密封机构4具有沿着上述四边外缘而卷绕成一边的一部分开口的四边筒的收容筒体4a、收容在该收本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送系统，其特征在于，设有：托盘取放机构，将多个层叠了的托盘相对于容器箱体取放；以及容器箱体输送机构，输送该容器箱体。

【技术特征摘要】
JP 2006-6-14 164324/20061.一种输送系统，其特征在于，设有托盘取放机构，将多个层叠了的托盘相对于容器箱体取放；以及容器箱体输送机构，输送该容器箱体。2.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，设有托盘输送机...

【专利技术属性】
技术研发人员：深泽博，福岛正纯，山本真，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]