【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种导电、等离子体耐受性构件，其适于暴露在卤素基气体等离子体气氛中，该构件包括基材，所述基材在其有待暴露于等离子体中的至少部分区域上形成有热喷涂涂层，该热喷涂涂层由金属钇或金属钇与氧化钇和／或氟化钇的混合物构成从而赋予导电性。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：前田孝雄，牧野勇一，中野瑞，植原一郎，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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