The invention provides a method for automatically checking the leakage of a reaction chamber of a vapor deposition equipment. Check the air leakage in the prior art that the vapor deposition equipment reaction chamber are usually passed on equipment maintenance after manually starting a program to check whether the reaction chamber leaks leak checks, check the interval is too long, uneven interval and affected by human factors, it is difficult to effectively detect leakage of the reaction chamber and avoid the resulting loss. Whether the automatic checking method of the invention of the vapor deposition equipment reaction chamber leaks first detection automatic check vapor deposition equipment reaction cavity leakage starting conditions are satisfied, and at the start of a check whether leakage of the reaction chamber to meet the program to check the air leakage of the reaction chamber, the final output leakage inspection results. By adopting the method of the invention, the leakage situation of the reaction cavity can be effectively checked, and the economic loss caused by the leakage of the air can be avoided.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及反应腔密封性的检查,特别涉及一种自动检查气相沉积设备反 应腔是否漏气的方法。
技术介绍
在半导体制造领域,诸多工序均需通过气相沉积工艺来生成所需的膜,例 如通过化学气相沉积生成氮化硅层,通过物理气相沉积生成鴒塞或金属电极, 上述化学气相沉积和物理气相沉积分别在相应的化学气相沉积设备和物理气相 沉积设备中进行,但上述气相沉积设备反应腔若存在漏气时,会导致生成的膜 的成分及厚度存在偏差,影响后道工序的进行,严重的需要进行返工甚至导致 产品的报废。现针对气相沉积设备反应腔的漏气检查通常在对设备进行维修后,通过人 工方式开启 一检查气相沉积设备反应腔是否漏气的程序来检查该反应腔是否漏 气,存在检查间隔过长、间隔不均且受人为因素影响的问题,从而无法及时发 现漏气,如此将会造成严重的经济损失。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方 法,通过所述方法可避免由反应腔漏气所造成的经济损失。本专利技术的目的是这样实现的 一种自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气 的方法,该方法包括以下步骤(1)侦测自动检查气相沉积设备反应腔是否漏 气的启动条件是否满足,若是则继续步骤(2),若否则返回步骤(1) ; (2) 启动一检查反应腔是否漏气的程序对反应腔进行漏气检查;(3 )输出漏气检查 的结果。在上述的自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法中,该气相沉积设备为物理气相沉积设备。在上述的自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法中,该气相沉积设 备为化学气相沉积设备。在上述的自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法中,在步骤(1 ) ...
【技术保护点】
一种自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)侦测自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的启动条件是否满足,若是则继续步骤(2),若否则返回步骤(1);(2)启动一检查反应腔是否漏气的程序对反应腔进行漏气检查;(3)输出漏气检查的结果。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李晓波,林艺辉,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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