附着于玻璃面的异物的除去方法及除去装置制造方法及图纸

一种可将附着于玻璃基板的玻璃面的异物，不会伤及玻璃地加以除去，且不会引起异物的再附着，同时也不占场所的除去附着于玻璃面的异物的技术。一种附着于玻璃面的异物的除去装置，是除去附着于玻璃基板或至少单面由玻璃构成的基板的玻璃面的异物的装置，特征为：具备至少平行移动上述基板的基板移动机构、研磨基板的玻璃面的研磨机构及将洗净液供给基板的洗净液供给机构；上述研磨机构（２ａ、２ｂ）的研磨面对向配置着，从上述洗净液供给机构（４）供给洗净液的状态下，一面旋转上述研磨机构的研磨面，一面为使基板的两面接触该对向的研磨面，而通过上述基板移动机构（３）朝玻璃面方向平行移动基板（１０），而能两面同时地除去上述玻璃面上的异物。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于液晶显示基板、电致发光(EL)组件等装置的除去附着在玻璃基板上的异物的技术。
技术介绍
现在，在制造用于液晶显示基板等的玻璃基板时，在玻璃的表面处在高温时，浮游于环境中的玻璃粒子等的异物(碎玻璃)附着于表面，若如放3、4天的长时间，则会黏着。而且，在制作液晶显示基板时，将液晶材料放进两枚玻璃基板之间进行密封时使用的封闭剂树脂有附着于玻璃基板的表面的情形。如果此种碎玻璃或树脂等异物是会黏着于玻璃面，则很难以流水、刷洗净或超声波洗净等加以除去。近年来也被要求除去2至2μm的异物，提出用以除去如上述碎玻璃或树脂等异物的各种方法。例如有使切削器的刀刃抵接玻璃面的每一面后在玻璃面上移动，由此除去附着的异物的方法。但是，在该方法中，当将切削器的刀刃抵接于玻璃面时，或在玻璃面上移动时，会有伤及玻璃表面而成为不良产品的情形。而且，在该方法中，每一面地进行异物的除去之故，因而除去其中一方的面的异物之后，在除去相反侧的面的异物时，有异物再附着的问题。作为其它方法，有使用所谓研磨薄膜来除去玻璃面上的异物的方法。图8是表示使用研磨薄膜带的已有装置的一例。该装置是在内设研磨薄膜带23的研磨头20下面构成有玻璃面24，通过推压部21边向玻璃面24施加若干压力，边抵接于玻璃基板10表面，如图9所示，在玻璃表面上一面移动研磨头20一面除去玻璃面的异物。由于使用卷取部22卷取带23，因而玻璃面24经常是全新的面。然而，在该装置中，除了研磨带的更换复杂之外，研磨头20的重量也大约有40公斤重，因而载重对于玻璃面过大，在厚度为0.7mm以下的玻璃基板或液晶显示基板上施加高重量的研磨头的载重时，会有玻璃基板破裂，或液晶显示基板的液晶排列失去原形而成为不良品的问题。而且，如此地使用研磨薄膜来除去玻璃面的异物的装置也是每一面地除去异物者，除了占较多设备面积的问题之外，由于研磨其中一方的玻璃面，之后反转另一单面进行相同的研磨，因而在被洗净除去的玻璃面上，会在相反侧的面的洗净中再附着异物的大问题。鉴于如上的缺点问题，本专利技术的目的是在于提供一种可将附着于玻璃基板的玻璃面的异物，不会伤及玻璃地加以除去，且不会引起异物的再附着，同时也不占场所的除去附着于玻璃面的异物的技术。
技术实现思路
为了达成上述目的，依照本专利技术提供一种附着于玻璃面的异物的除去方法，属于除去附着于玻璃基板或至少单面由玻璃构成的基板的玻璃面的异物的方法，其特征为一面供给洗净液，一面使研磨机构的研磨面边旋转边接触上述基板的两面，而且使上述基板朝玻璃面方向平行移动而两面同时地除去上述玻璃面上的异物。依照此种方法，即使有黏着于玻璃面的异物，通过研磨不会伤及玻璃面也可确实地加以除去，而且可两面同时地除去异物，因而可确实地防止异物再附着，可作成高品质的玻璃基板或液晶显示基板。而且，由于在平行移动玻璃基板的状态下两面同时进行处理，因而生产性极高，同时也不占场所。这时候，以40至500rpm(转速/分)旋转研磨机构的研磨面较理想，特别是作成100至500rpm更理想。若以此种转速旋转研磨面，则不会伤及玻璃面而可更确实地除去两面的异物。而且，作为上述洗净剂，使用水或界面活性剂含有液较理想。在本专利技术中，由于通过研磨机构的研磨面进行异物除去，因而并不一定需要研磨剂，使用水或界面活性剂含有液就可以确实地除去异物。对每一研磨面供给10至300cc上述洗净液较理想。作成此种供给量，则不会伤及玻璃地可更确实地除去两面的异物。而且，再包括对于上述基板以水洗净液的工序，将洗净液加以气体微粒子化并喷射的工序，照射紫外线的工序，以纯水进行超声波洗净的工序，喷空气加以干燥的工序，及以红外线加以干燥的工序中至少一个工序以上的工序较理想。在通过研磨同时地除去玻璃两面的异物的工序，组合如上述的工序，可连续地又有效率地进行异物的除去、洗净、冲洗、干燥等。这时候，对于工序顺序，依目的可加以适当地变更、省略、或追加。而且，依照本专利技术，提供一种附着于玻璃面的异物的除去装置，属于除去附着于玻璃基板或至少单面以玻璃所构成的基板的玻璃面的异物的装置，其特征为具备至少平行移动上述基板的基板移动机构，及研磨基板的玻璃面的研磨机构，及将洗净液供给基板的洗净液供给机构；上述研磨机构的玻璃面对向配置着，从上述洗净液供给机构供给洗净液状态下，一面旋转上述研磨机构的研磨面，一面为使得基板的两面接触该对向的研磨面，而通过上述基板移动机构朝玻璃面方向平行移动基板，而能两面同时地除去上述玻璃面上的异物。依照此种装置，即使有黏着于玻璃面的异物，也可不伤及玻璃面而确实地加以除去，而且两面同时地可除去异物，因而可确实地防止异物再附着，可作成高品质的玻璃基板或液晶显示基板。而且，不必反转玻璃，可在平行移动的状态下两面同时地除去玻璃面的异物，因而具有生产性较高，且设置面积较小的优点。作为研磨机构，可将摩擦薄膜、砂纸、或研磨薄膜安装于圆形的圆盘以构成研磨面。如此地将研磨薄膜等安装在圆盘上，则可简单地构成，或也可将研磨面的表面粗糙度(研磨材的粒度)配合目的而简单地更换，可确实地除去异物，同时可防止伤及玻璃面。这时候，上述摩擦薄膜、砂纸、或研磨薄膜，通过面扣具(fastener)安装于上述圆盘较理想。研磨薄膜等经由面扣具安装于圆盘，则被赋予弹性，可确实地防止伤及玻璃。而且，具有容易更换的优点。上述圆盘的直径是30至70mm较理想。若为此种大小的圆盘，则对应于通常被使用的30至1500mm的玻璃基板，不必更换圆盘就可确实地除去玻璃面上的异物。而且，上述玻璃面的表面粗糙度是0.1至10μm较理想，特别是1至10μm更理想。将研磨面的表面粗糙度作成上述范围，则可确实地除去玻璃面上的异物，同时可确实地防止伤及玻璃面。而且，研磨面的表面粗糙度是通过研磨面的研磨材被调整的，作为研磨材使用上述范围的粒度的就可以。上述研磨机构是在平行移动上述基板的方向，对于基板两面交互地对向配置至少各两列，且在基板的各面侧配置成错开状较理想。如此地配置研磨机构，则可避免研磨机构彼此间的干扰，可将装置构成小型，同时在基板通过所有研磨机构时，成为基板两面没有遗漏地与研磨机构的研磨面接触，而可均匀地除去基板两面的异物。理想的是，上述基板移动机构包括对向配置的辊子，通过以辊子夹住上述基板进行旋转而使基板平行移动。使用如此对向配置的辊子，则在研磨中基板不会朝斜方向偏离，能以预定速度确实地平行移动。理想的是，上述洗净液供给机构由喷淋式喷嘴或设在上述研磨机构的研磨面的孔供给洗净液者，而且，每一研磨面供给10至300cc的洗净液。如此供给洗净液，则对于各研磨面可确实地供给预定量的洗净液，可确实地进行玻璃面的异物除去与防止伤痕。附着于上述玻璃面的异物的除去装置，还具备喷水装置、将洗净液加以气体微粒子化并进行喷射的装置、紫外线照射装置、超声波洗净装置、气刀、及红外线干燥装置中至少一种以上的装置。组装如上述的各装置，可连续地有效率地进行异物的除去、洗净、冲洗、干燥等。附图说明图1(A)是概略表示本专利技术的附着于玻璃面的异物的除去装置的一侧的前视图。图1(B)是概略表示本专利技术的附着于玻璃面的异物的除去装置的一侧的俯视图。图2是表示喷淋式喷嘴的位置的局部放大图。图3是表示喷淋式喷嘴的概略图。图4是表示基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种附着于玻璃面的异物的除去方法，除去附着于玻璃基板或至少单面由玻璃构成的基板的玻璃面的异物，其特征为：在供给洗净液的状态下，一面旋转研磨机构的研磨面，一面使其接触上述基板的两面，而且将上述基板朝玻璃面方向平行移动，从而两面同时地除去上述玻璃面上的异物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川原俊弘，末广修一，小田部晃雄，
申请(专利权)人：稣喜欧株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]