具有行波电极结构的光电子器件及行波电极结构制造技术

本发明专利技术公开了一种具有行波电极结构的光电子器件，所述行波电极包括在光波导结构之上的行波电极和偏离光波导结构之上的行波电极两部分，从而使得器件的特征阻抗与标准阻抗之差小于预设值。本发明专利技术还公开了一种行波电极结构。利用本发明专利技术，使得器件特征阻抗与系统标准阻抗在较大的频率范围内相匹配，从而保证器件具有较好的高速性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电
，特别涉及一种具有行波电极结构的光电子器件 及4亍波电纟及结构。
技术介绍
高速光电子器件是高速光通信系统的核心，光电子器件的频率响应特性直 接决定了系统的信号传输速度。通过对光电子器件的驱动电极结构进行优化设 计可以有效地增强光电子器件的频率响应。在半导体电吸收光调制器等光电子器件设计中最常见的电极结构是集总 型电极，其结构可以如图l所示。在集总型电极结构中，光波导结构包括图l中的p， i， n层，信号电极如图l中顶部薄片所示，地电极接地，其如图l中两 侧的薄片所示，光传输如图l中的箭头所示。微波信号施加在所述信号电极的 中部，具体为光传输方向上信号电极的中部(如图l中的微波信号的信号源所 示)，因此微波信号在光波导两端位置的反射很大。集总型电极结构的等效电 路^t型为串联型的RC电路，可以如图2所示，其中电容C为器件p-i-n结构的结 电容，R为p层和n层半导体材料总的串联电阻。使用集总型电极结构的器件，其与频率响应对应的工作带宽受到RC时间 常数的限制。为了得到更大的工作带宽，只有减小器件的尺寸。所以，为了达 到系统对半导体电吸收光电子器件工作带宽的要求，应用集总型电极结构的光 电子器件通常具有比较小的等效长度，也就是较小的器件尺寸，但这同时也带 来了器件的驱动电压增加等问题。为了突破集总型电极结构对器件性能的限制，具体包括上述提到的工作带 宽受RC常数限制和较小的等效长度带来的驱动电压增加的问题，现有技术中 提出了一种具有行波电极结构的光电子器件，其结构可以如图3所示。信号激 励源(excitation)加在图3中的顶部薄片电极的一端，该信号激励源中包括直 流偏置电压和微波信号的叠加，亦即其中包括微波信号传输。地电极如图3 中两侧的薄片所示，光传输如图3中的箭头所示。图4示出了该具有行波电极结构的光电子器件的工作原理图。如图3和图4中所示，在行波电极结构中， 信号激励源发出的微波信号被施加在信号电极的输入端，信号电极的输入端与 光波导的输入端位置相同，微波信号在传输线电极中传播，其传输方向与光信 号在光波导中的传播方向相同。在光波导的输出端，微波传输线电极与匹配负 载ZL (即图3中的匹配负载Termination)相连。在孩l波信号传输方向上的每 一小段长度内，器件的并联电容被串联电感所补偿，从而共同作用形成一段具 有一定特征阻抗的微波传输线。图5示出了采用行波电极结构的光电子器件的 等效电路，每一小段长度内所述并联电容和串联电感可以等效为图5中的串联 阻抗Zs和并联导纳Yp共同组成的一个双口网络，而器件整体的等效电路为所 述一系列双口网络串联而成。在微波信号传输方向上的每一小段长度内，器件 的并联电容被串联电感所补偿，从而共同作用形成一段具有一定特征阻抗的微 波传输线，进一步降低驱动电压。在对现有技术的研究和实践过程中，专利技术人发现现有技术中存在以下问题本领域技术人员知道，现行的微波系统中标准器件特征阻抗是50Q。已有 的大量研究结果显示了使用行波电极结构的半导体光电子器件的特征阻抗通 常比较小，其典型值处于15Q到25Q之间，这与微波系统中标准的50Q阻抗 相差较大，器件与微波信号源之间就会存在严重的微波反射，因此器件特征阻 抗与系统标准阻抗之间的不匹配导致器件高速性能较差。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的是提供一种具有行波电极结构的光电子器件及行波 电极结构，以克服现有技术中器件特征阻抗与系统标准阻抗之间的不匹配导致 的器件高速性能差的技术问题。为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种具有行波电极结构的光电子 器件及行波电极结构如下面描述一种包含行波电极结构的光电子器件，所述行波电极由光波导结构之上的 行波电极和偏离光波导结构之上的行波电极组成，通过所述光波导结构之上的行波电极和偏离光波导结构之上的行波电极的组合使得所述光电子器件的特 征阻抗与标准阻抗之差小于预设值。一种行波电极结构，所述行波电极由在光波导结构之上的行波电极和偏离 光波导结构之上的行波电极组成，通过所述光波导结构之上的行波电极和偏离阻抗之差小于预设值。由以上本专利技术实施例提供的技术方案可见，本专利技术偏离光波导结构之上的行波电极，即无源部分，具有较大的阻抗；具有较小阻抗的所述光波导之上的 行波电极，即有源调制部分，与无源调制部分构成的等效特征阻抗在较大频率 范围内可以达到或接近微波系统中的标准阻抗。这样，就使得器件特征阻抗与 系统标准阻抗在较大的频率范围内相匹配，从而保证器件具有较好的高速性 能。附图说明图1为现有^t支术中集总型电^^及的结构图； 图2为现有技术中集总型电极的等效电路图； 图3为现有技术中一种具有行波电极结构的光电子器件的结构图； 图4为现有技术中一种具有行波电极结构的光电子器件的工作原理图； 图5为现有技术中一种具有行波电极结构的光电子器件的等效电路图； 图6为本专利技术一具有行波电极结构的光电子器件实施例的结构图； 图7为本专利技术一具有行波电极结构的光电子器件实施例的俯视图； 图8为本专利技术另一具有行波电极结构的光电子器件实施例的俯视图。 具体实施例方式为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和实施方 式对本专利技术实施例作进一步的详细说明。本专利技术实施例具有行波电极结构的光电子器件包括一段行波电极，所述行 波电极即微波传输线。信号激励源加在所述一段行波电极的一端。所述信号激 励源中包括直流偏置电压和微波信号的叠加。在所述行波电极的另一端，也就是微波传输线电极的另一端，与匹配负载 Z^相连.。与现有技术类似，因为微波传输线电极的阻抗与其后相连的匹配负载的阻抗很接近，所以在Termination这一端反射变的很小，这使得调制效率 得以提高，因此驱动电压可以降低。所述一段行波电极包括在光波导结构之上的行波电极和偏离光波导结构 之上的行波电极两个部分。其中，设置在光波导结构之上的微波传输线，起到 对光波导中光波的调制作用，这里称之为有源调制部分(Modulator sections ) 传输线。对应的，设置在光波导结构之外的微波传输线，即偏离光波导结构之 上的微波传输线，这部分传输线电极中微波信号不对光波导中的光波产生调制 作用，这里称之为无源部分(Passive sections )传输线。该器件的等效电路与图5中类似，由一系列串联阻抗Zs和并联导纳Yp组 成的双口网络串联而成。在有源调制部分传输线的微波信号传输方向上的每一 小段长度内，器件的并联电容被串联电感所补偿，从而共同作用形成一段具有 一定特征阻抗(设为ZCM)的纟鼓波传输线。由于器件的并联电容被串联电感所 补偿，因此器件的工作带宽可以不受器件RC时间常数的限制，这样就可以使 器件保持高带宽的频率响应特性，同时器件的长度可以适当地增加，从而进一 步提高调制效率，也就可以进一步降低驱动电压。同时，由于器件的并联电容 被串联电感所补偿，因此器件的工作带宽可以不受器件RC时间常数的限制， 这样就可以使器件保持高带宽的频率响应特性，同时器件的长度可以适当地增 加，从而进一步提高调制效率，也就可以进一步降低驱动电压。也就是说，有 源调制部分的传输线与现有技术中光信号在光波导中的传播方向相同的部分 起类似作用。通常电介质本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包含行波电极结构的光电子器件，其特征在于，所述行波电极由光波导结构之上的行波电极和偏离光波导结构之上的行波电极组成，通过所述光波导结构之上的行波电极和偏离光波导结构之上的行波电极的组合使得所述光电子器件的特征阻抗与标准阻抗之差小于预设值。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：于弋川，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]