微型振荡元件制造技术

技术编号:2675642 阅读:223 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
微型振荡元件包括振荡部分和框架。振荡部分设有镜面并通过梯形的第一和第二弹簧与框架相连。振荡部分位于第一弹簧和第二弹簧之间。第一弹簧和第二弹簧的每一个都可随振荡部分的振荡发生形变。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型振荡元件,其中包括:振荡部分;主框架;以及第一弹簧和第二弹簧,其使得该振荡部分由该框架支撑;其中,该振荡部分位于该第一弹簧和该第二弹簧之间,该第一和该第二弹簧中的每一个都随该振荡部分的振荡发生形变。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:宓晓宇上田知史奥田久雄壶井修曾根田弘光高马悟觉佐脇一平中村义孝
申请(专利权)人:富士通株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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