本发明专利技术提供一种可容易地进行处理气氛的控制的成膜装置的构成。通过从涂敷部（１１３）将液体涂敷在配置于处理室内的基板（１００）上而在基板上形成膜的成膜装置具有：划分处理室（１０７）的壁（１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｄ等）、将涂敷部（１１３）输送到处理室的第一输送部（１０５）、基板载物台（１０３），上述处理室（１０７）以至少由具有上述壁、上述第一输送部及上述载物台的部位形成闭合空间的形式构成。根据这样的构成，可缩小载物台与涂敷部的距离。因此，可缩小处理室的容量，容易进行内部气氛的控制。例如，在用惰性气体清洗其内部时，可减少清洗所需的时间，还可减小所使用的惰性气体量。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，特别是涉及使用了液滴喷出装置的 膜的处理装置(处理方法)。
技术介绍
作为液滴喷出装置之一例的喷墨装置，是一种利用压电元件对压力室 进行加压，使其内部的液体(溶液)从压力室底部的喷嘴孔喷出的装置。 这样的喷墨装置，不仅应用于喷墨打印机，还在工业上被广泛应用于形成 显示装置的滤色器时的喷出等。在这样的工业性应用中，所喷出的液体涉及多种。因此，在所使用的 溶液之中，例如有的与空气中的氧进行反应致使液体质量劣化。例如，下述专利文献l公开了一种喷墨装置，如图5所示，其喷墨头 22等被保护层14覆盖。专利文献l:特开2003 — 84124号公报本专利技术者对在惰性气体气氛下进行喷墨装置的喷出，由此防止喷出液 体的变质及劣化的技术进行了研究。但是，就上述专利文献1所公开的装 置而言，由于覆盖了装置整体，因而基于惰性气体的清洗(内部空气的置 换)需要时间。另外，所使用的惰性气体的量也变多，从而成本提高。随 着基板的大型化，这样的问题越发显著。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种可容易地进行处理气氛的控制的成膜装 置及成膜方法。另外，其目的在于，利用该装置及该方法，既提高生产率 又降低成品的制造成本。(1)本专利技术提供一种成膜装置，其通过从涂敷部将液体涂敷在配置 于处理室内的基板上而在所述基板上形成膜，其特征在于，具有用壁划分的所述处理室；临时配置所述涂敷部的涂敷准备室；将所述涂敷部从所 述涂敷准备室输送到所述处理室的第一输送部；所述基板的载置台；与所 述涂敷准备室邻接设置的维修部。根据这样的构成，可利用维修部高效率地进行涂敷部的维护。另外， 由于维修部与处理室独立，因而可控制外气向处理室的混入。优选的是，所述处理室通过具有所述壁、所述第一输送部及所述载置 台的部位形成闭合空间。根据这样的构成，可縮小载置台和涂敷部(第一 输送部)之间的距离。因此，可减小处理室的容量，可易于进行内部气氛 的控制。例如，在用惰性气体清洗其内部时，可缩短清洗所需要的时间， 另外，可减小所使用的惰性气体量。更优选的是，所述载置台是将所述基板输送到所述处理室的第二输送 部。根据这样的构成，可容易地将基板输送到处理室。更优选的是，所述涂敷部由第三输送部从所述涂敷准备室输送至所述 维修部。根据这样的构成，可利用第三输送部输送涂敷部。更优选的是，所述涂敷部沿第一方向输送，所述维修部沿与所述涂敷 准备室的所述第一方向相交叉的第二方向配置。根据这样的构成，可用简 单的构成将维修部设置于装置内。例如，在所述维修部内设置有用于清洗所述涂敷部的清洗部。根据这 样的构成，可由维修部进行涂敷部的清洗。例如，在所述维修部内具有用于更换所述涂敷部的空间。根据这样的 构成，可由维修部进行涂敷部的更换。例如，在所述涂敷准备室和维修部之间具有可开闭地构成的门。根据 这样的构成，可更容易地进行涂敷部的输送。更优选的是，所述第一输送部是覆盖所述处理室上部的板状构件，并 且是安装有所述涂敷部的板状构件。根据这样的构成，可通过使板状构件 滑动，来保持闭合空间，同时使涂敷部移动。更优选的是，所述成膜装置还具有加热部，所述加热部安装于所述板 状构件上。根据这样的构成，可利用加热部对基板进行加热处理。更优选的是，在所述涂敷部位于所述涂敷准备室时，所述加热部位于 所述处理室而安装于所述板状构件上。根据这样的构成，可与处理工序连动而使涂敷部和加热部移动。(2) 本专利技术提供一种成膜装置，其在配置于第一及第二处理室内任 意之一处理室中的基板上实施处理，其特征在于，具有所述第一及第二处 理室，其由壁划分，其上部及下部被覆盖，构成闭合空间，在所述第一处 理室配置有涂敷部，在所述第二处理室配置有加热部。根据这样的构成，可在第一处理室进行涂敷，在第二处理室进行加热。(3) 本专利技术提供一种成膜方法，其通过从涂敷部将液体涂敷在配置 于处理室内的基板上而在所述基板上形成膜，其特征在于，具有将所述 涂敷部从临时配置所述涂敷部的涂敷准备室输送到所述处理室的工序；从 所述涂敷部将液体涂敷到所述基板上的工序；使所述涂敷部返回所述涂敷 准备室的工序；将所述涂敷部从所述涂敷准备室输送到与所述涂敷准备室 邻接设置的维修部的工序；通过维修部来维修所述涂敷部的工序。根据这样的方法，可在将涂敷部配置于涂敷准备室的状态下，从处理 室输送基板。另外，可利用维修部高效率地进行涂敷部的维护。附图说明图1是表示实施方式1的液滴喷出装置的剖面立体图； 图2是表示实施方式1的液滴喷出装置的俯视图； 图3是表示实施方式1的液滴喷出装置的剖面图； 图4是表示喷墨头113的构成例的分解立体图； 图5是表示实施方式1的成膜方法的工序剖面图； 图6是表示实施方式1的成膜方法的工序剖面图； 图7是表示实施方式1的成膜方法的工序剖面图； 图8是表示实施方式1的成膜方法的工序剖面图； 图9是表示实施方式1的成膜方法的工序剖面图； 图IO是表示实施方式1的成膜方法的工序剖面图； 图11是表示实施方式1的成膜方法的工序剖面图； 图12是表示实施方式2的液滴喷出装置及使用了该装置的成膜方法 的剖面图；图13是表示实施方式2的液滴喷出装置及使用了该装置的成膜方法的剖面图；图14是表示实施方式2的液滴喷出装置及使用了该装置的成膜方法 的剖面图；图15是表示实施方式3的液滴喷出装置的剖面立体图；图16是表示实施方式3的液滴喷出装置的剖面图；图17是表示实施方式3的成膜方法的工序剖面图；图18是表示实施方式3的成膜方法的工序剖面图；图19是表示实施方式3的成膜方法的工序剖面图；图20是表示实施方式3的成膜方法的工序剖面图；.图21是表示实施方式3的成膜方法的工序剖面图；图22是表示实施方式4的液滴喷出装置的剖面图；图23是表示实施方式4的液滴喷出装置的俯视图；图24是表示实施方式4的成膜方法的工序剖面图；图25是表示实施方式4的成膜方法的工序剖面图；图26是表示实施方式4的成膜方法的工序剖面图；图27是表示实施方式4的成膜方法的工序剖面图；图28是表示实施方式5的液滴喷出装置的立体图；图29是表示实施方式5的液滴喷出装置的剖面图；图30是表示实施方式5的成膜方法的立体图；图31是表示实施方式5的成膜方法的剖面图；图32是表示实施方式5的成膜方法的立体图；图33是表示实施方式6的液滴喷出装置的俯视图；图34是表示实施方式6的液滴喷出装置的俯视图。符号说明1:喷嘴板la:喷嘴孔3:硅基板5:振动板7a:下部电极7b:压电体膜7C:上部电极 9:保护基板 9a:凹部9b、 9c:开口区域lla、 llb、 llc:开口区域100:基板101:液滴喷出装置103:基板输送载物台103A:载物台103B:输送部(传送带)105:顶板105A:导轨107、 108:处理室107a、 108a:开闭门107b、 107c:侧壁107cu:侧壁隐d:开闭门雨b、 108c:侧壁109U:头起始位置(^、7 K求109D:输送路109CU:侧壁109cd:开闭门 113、 113B:喷墨头 113a:喷嘴孔115:气体供给部 117、 118:灯 121:维护室 121A:导轨 CA:压力室 PE:压电元件具体实施方式下面，参照附图来详细说明本专利技术的实施方式本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种成膜装置，其通过从涂敷部将液体涂敷在配置于处理室内的基板上而在所述基板上形成膜，其特征在于，具有： 用壁划分的所述处理室； 临时配置所述涂敷部的涂敷准备室； 将所述涂敷部从所述涂敷准备室输送到所述处理室的第一输送部； 所述基板的载置台； 与所述涂敷准备室邻接设置的维修部。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中英树，岛村秀男，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。