【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种模态激励悬臂微梁，其特征在于包括弹性微梁（１）、悬臂支承模块（２）、模态形状电极（３），其中弹性微梁（１）的一端固定于悬臂支承模块（２）的上表面，悬臂支承模块（２）的下表面与基底固定，模态形状电极（３）位于弹性微梁（１）正下方，并且模态形状电极（３）固定于基底上。
【技术特征摘要】
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