一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法技术

本发明专利技术涉及一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法。现有的装设有热电偶且一端已经密封的石英护套中若出现水份时，很难彻底去除水份，造成热电偶使用寿命降低或测温不准的问题。本发明专利技术的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其中，该石英护套的一端已密封，该方法先向石英护套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中，然后倒掉石英护套中的有机溶剂，最后对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份。采用本发明专利技术的方法可彻底去除石英护套中的水份，避免设置在石英护套中的热电偶使用寿命降低或测温不准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及热电偶的制作，特别涉及一种去除装设有热电偶的石英护套中 水份的方法。
技术介绍
在半导体制造领域，温度是最重要的控制参数之一，半导体设备中通常需 设置多个温度侦测点以确保整个设备的温度均 一性，故需使用具有多个侦测点的热电偶。该具有多个侦测点的热电偶由多个不同长度的已封装在陶f:护套中 的分热电偶组成，而该多个不同长度的分热电偶需集中封装在一个石英护套中， 其封装过程是将该多个不同长度的分热电偶放置且固定在两端都开口的石英护 套中，然后通过乙炔枪或氢氧焰等将石英护套一端封闭。但是，在通过乙炔枪或氢氧焰等将石英护套一端封闭时，生成的水份极易 残留在石英护套中，即使对石英护套加热也4艮难将石英护套中的水份完全去除， 如此热电偶长期处在潮湿的环境中，易造成使用寿命的降低和测量准确度的降 低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供， 通过所述方法可彻底去除石英护套中的水份。本专利技术的目的是这样实现的 一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的 方法，其中，该石英护套的一端已密封，该方法包括以下步骤(l)向石英护 套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中；(2 )倒掉石英 护套中的有机溶剂；(3 )对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机 溶剂和水份。在上述的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法中，该有机溶剂为异 丙醇。在上述的去除装i殳有热电偶的石英护套中水份的方法中，在步骤(3)中， 通过干燥箱对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份， 其中，该干燥箱的温度范围为IOO到150摄氏度，处理时间为12至24小时。与现有的仅通过加热去除石英护套中的水份相比，本专利技术的方法先用有机 溶剂溶解石英护套中的水份，然后再对石英护套进行加热，如此将彻底去除石 英护套中的水份，避免了水份影响热电偶使用寿命和测试准确度。附图说明本专利技术的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法由以下的实施例及附 图给出。 '图l本专利技术中的热电偶安装在石英护套中的示意图；图2为为本专利技术的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法的实施例的 流程图。具体实施方式以下将对本专利技术的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法作进一步的 详细描述。参见图1 ，显示了本专利技术中的热电偶安装在石英护套中的示意图，如图所示， 分热电偶IOO、 101、 102、 103和104安装固定在石英护套11中，石英护套ll 的一端已封闭。参见图2,结合参见图1，本专利技术的去除装设有热电偶的石英护套11中水 份的方法，其中，所述的石英护套11的一端已密封，首先进行步骤S20,向石 英护套11中灌入有机溶剂并使石英护套11中的水份溶解在所述的有机溶剂中。 在本实施例中，所述的有机溶剂为异丙醇。接着继续步骤S21。在步骤S21中，倒掉石英护套ll中的有机溶剂。接着继续步骤S22。 在步骤S22中，对所述的石英护套11进行加热以去除石英护套11中残余 的有机溶剂和水份。在本实施例中，通过干燥箱对该石英护套进行加热以去除 石英护套中残余的有机溶剂和水份，其中，干燥箱的温度范围为100到150摄 氏度，处理时间为12至24小时。综上所述，本专利技术的方法先用有机溶剂溶解石英护套中的水份，然后再对石英护套进行加热，如此将彻底去除石英护套中的水份，避免水份对热电偶使 用寿命和测试准确度的不良影响。权利要求1. ，其中，该石英护套的一端已密封，其特征在于，该方法包括以下步骤(1)向石英护套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中；(2)倒掉石英护套中的有机溶剂；(3)对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份。2、 如权利要求1所述的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其特 征在于，该有机溶剂为异丙醇。3、 如权利要求1所述的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其特 征在于，在步骤(3)中，通过干燥箱对该石英护套进行加热以去除石英护套中 残余的有机溶剂和水份，其中，该干燥箱的温度范围为100到150摄氏度，处 理时间为12至24小时。全文摘要本专利技术涉及。现有的装设有热电偶且一端已经密封的石英护套中若出现水份时，很难彻底去除水份，造成热电偶使用寿命降低或测温不准的问题。本专利技术的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其中，该石英护套的一端已密封，该方法先向石英护套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中，然后倒掉石英护套中的有机溶剂，最后对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份。采用本专利技术的方法可彻底去除石英护套中的水份，避免设置在石英护套中的热电偶使用寿命降低或测温不准。文档编号F26B7/00GK101245968SQ20071003746公开日2008年8月20日 申请日期2007年2月13日 优先权日2007年2月13日专利技术者吴协祥, 张士仁, 瞿丹红, 陈淑美 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其中，该石英护套的一端已密封，其特征在于，该方法包括以下步骤：（１）向石英护套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中；（２）倒掉石英护套中的有机溶剂；（３）对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿丹红，吴协祥，张士仁，陈淑美，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]