一种具有热回收装置的补充空气单元制造方法及图纸

一种具有热回收装置的补充空气单元，涉及补充空气单元领域，其结构包括第一和第二热盘管，内管和外管。第一热所述内管分别与第二热盘管的出水管和第一热盘管的进水管相连，所述管分别与第一热盘管的出水管和第二热盘管的进水管相连。其中，第一热盘管中的水通过与热空气进行热交换获得热能从而温度升高，并通过所述外管将热水供应给第二热盘管。第二热盘管用于通过所述热水对空气加热，再通过内管将冷却水输送给第一热盘管继续加热，如此循环。本实用新型专利技术相比现有技术的补充空气单元，功耗大大减小。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及补充空气单元，具体涉及向净化房间提供净化空气 的具有热回收装置的补充空气单元。
技术介绍
在半导体制造行业中，对净化房间的环境要求极其严格。净化间这 种硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如颗粒、金属、有机分子和静 电释放的污染。通常要求净化室内 一年四季的环境温度和湿度要求保持在一定水平，这就空气处理系统-补充空气单元(make-up air unit, MUA)来维持。参照图1,图1是现有技术的蒸汽加湿补充空气单元的结构示意图， 其结构包括第一风阀1,用于控制补充空气单元的开启关闭，所述风阀1开启 时允许空气进入补充空气单元，关闭时隔绝补充空气单元与外界空气。 初效过滤器2，用于对空气中的尘埃进行初步过滤。 中效过滤器3，用于对空气中的尘埃进行进一步过滤。 第一热盘管4，所述第一热盘管4只有在空气温度较低时才启用， 用于对空气进行预加热，以使空气能够在补充空气单元中流转。 电磁阀13，用于控制所述第一热盘管4的开启关闭。 第一冷盘管5,用于初步降低空气的温度，以初步去除空气中的湿气电^f兹阀14,用于控制所述第一冷盘管5的开启关闭。 第二冷盘管6,用于进一步降低空气的温度，以进一步去除空气中 的湿气。电》兹阀15，用于控制所述第二冷盘管6的开启关闭。第二热盘管7，用于提高空气带需要的温度。 电磁阀16，用于控制第二热盘管的开启关闭。风机8,所述风机8为空气在MAU系统中流动的动力，使空气在 MAU系统中流动。消声器9,用于消除MAU系统对空气的处理过程中产生的噪音。 高效过滤器IO,用于进一步过滤空气中的^f鼓小颗粒。 第二风阀11,用于控制MAU系统的开启关闭。 蒸汽加湿器18,用于对空气进行加湿。第一风阀l,初效过滤器2，中效过滤器3，第一热盘管4，第一冷 盘管5,第二冷盘管6，第二热盘管7，风机8,消声器9，高效过滤器 10，第二风阀11和蒸汽加湿器18串联相连。其中，所述第一热盘管4 和第二热盘管7与外接热水管相连，所述热水管提供循环热水。第一热 盘管4和第二热盘管7利用外接热水管中的循环热水对空气进行加热。 其中，泵12用于将外接热水管中的热水加压，提供给第一热盘管4。止 回阀17,防止热水在循环时回流到外接热水管。所述第一冷盘管5和第 二冷盘管6与外接冷水管相连，所述冷水管提供循环冷水。所述第一冷 盘管5和第二冷盘管6利用外接冷水管中的循环冷水对空气进行降温去、、E7 /业。参照图2,现有技术还可以在第一冷盘管5和第二冷盘管6之间设 置一个水洗加湿器19来替代图1中的蒸汽加湿器18,以对空气进行加 湿。泵20用于给水加压，并提供给水洗加湿器19。现有技术的补充空气单元由于对空气进行循环处理，功耗很大，浪 费了资源。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种具有热回收装置的补充空气单元，减 小功耗节约能源。本技术的第一方面提供一种具有热回收装置的补充空气单元， 其特征在于，其包括4第一热盘管，包括一个或多个盘管；第二热盘管，包括一个或多个盘管，所述第一和第二热盘管位于所述补充空气单元中，从所述补充空气 单元的一端通入较高温度的空气，其中所述第一热盘管离所述一端较 近，其中，所述第一热盘管的入水口与所述第二热盘管的进水口相连， 所述第一热盘管的出水口与所述第二热盘管的进水口相连。本技术的补充空气单元，由于采用了将第一和第二热盘管中水 进行循环，充分利用了高温天的空气能量，因此可以显著减小功耗节约能源。附图说明通过阅读以下参照附图所作的对非限制性实施例的详细描述，本实 用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显。图1是现有技术的蒸汽加湿补充空气单元的结构示意图。图2是现有技术的水清洗加湿补充空气单元的结构示意图。图3是本技术实施例一的具有热回收装置的蒸汽加湿补充空气单元的结构示意图。图4是本技术实施例二的具有热回收装置的水洗加湿补充空气单元的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细描述。 在本实施例中，空气温度为3(TC。图4是本技术的实施例二的具有热回收装置的水清洗器加湿的 补充空气单元的结构示意图。参见图4，在本实施例中还可以在第一冷 盘管5和第二冷盘管6之间设置一个水洗加湿器19来替代图3中的蒸 汽加湿器18,以对空气进行加湿。其中，泵14用于给水加压，并提供 水给水洗加湿器19。本技术在现有的蒸汽加湿补充空气单元基础上增加了一个热回收装置。所述的热回收装置包括一根内管24和一根外管25,所述内 管24分别与所述第二热盘管7的出水管和所述第一热盘管4的入水管 相连，所述外管25分别与第一热盘管4的出水管和所述第二热盘管7 的如水管相连。所述内管24和外管25中有水循环。电磁阀22用于控制外管的开启关闭。其中，第二冷盘管7中的水进入到内管24,并通过所述内管24将 水输送到第一热盘管4。第一热盘管4利用其中热空气将从第二冷盘管 7中来的水加热。此时，第一热盘管4中空气温度下降，而其中的水却 由空气的热量加热。然后通过外管25将已加热的水输送给第二热盘管7。 如此循环，能够利用高温天时空气的热量给第二热盘管7中的水加热。以上海为例，全年空气温度在20。C以上的高温天数大约为180天。 在上述实施例中，1个补充空气单元每小时的空气流量为V=80000m3/h; 例如一个半导体制造工厂所需要的净化室补充空气单元的总数是24个； 空气的密度D为1.2kg/m3;泵和变频控制器的功耗q， =7.5kW;热回收 装置的温度变化是At^3-9.5二3.5。C;功耗/冷凝水的转换比r=l.lkw/RT; 焦耳/卡的转换比为4.18;卡/冷钝的转换比为3024;电价pl=0.6 yuan/kwh;热水/城市蒸汽的转换比为。=0.8;城市蒸汽的热含量(焓) e=2700KJ/kg;城市蒸汽的价格P2=199yuan/t。那么，每年节约的冷凝水能量ql=C x VxDxAt=lx80000xl.2x3.5/3024/4018=26.6RT/h,其中，C为比热,V为 一个补充空气单元每小时的空气流量，D为空气密度，At为温度变化值； 每年节约的热水能量q2=C x VxDxAt=lx80000xl.2x3.5=3336000KJ/h, 其中，C为比热，V为一个补充空气单元每小时的空气流量，D为空气 密度，At为温度变化值。因此，冷凝水每年节约的成本是Ql= ql xrx24x I80xpl=26.6x 1.1 x 24 x 180 x 0.6=75842元(RMB) /年，其中ql为每年节约的冷凝水 能，r为功耗/冷凝水的转换比，24为每天的24小时，180为假设的高温天数，pl为电价。每年每个补充空气单元能节约能量Q=Q1+Q2-Q ， =75842+3336000-q， xplx24x 180=190, 130RMB/Year，其中Q3为泵和变频控制器每年的功耗。以上对本技术的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实 用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在所附权利 要求的范围内做出各种变形或修改。权利要求1.一种具有热回收装置的补充空气单元，其特征在于，其包括第一热盘管，包括一个或多个盘管；第二热盘管，包括一个或多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有热回收装置的补充空气单元，其特征在于，其包括：第一热盘管，包括一个或多个盘管；第二热盘管，包括一个或多个盘管，　所述第一和第二热盘管位于所述补充空气单元中，从所述补充空气单元的一端通入较高温度的空气，其中所述第一热盘管离所述一端较 近，　其中，所述第一热盘管的入水口与所述第二热盘管的进水口相连，所述第一热盘管的出水口与所述第二热盘管的进水口相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴协祥，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]