一种改进型空调箱制造技术

本实用新型专利技术提供了一种改进型空调箱，其包括：空调箱外壳，依次安装在空调箱外壳内部的进气阀门，初效过滤器，中效过滤器，加热器，制冷器，风机，高效过滤器和出气阀门，在空调箱外壳内部还安装有活性炭过滤器，所述的活性炭过滤器位于高效过滤器和出气阀门之间。本实用新型专利技术的改进型空调箱，由于其安装有活性炭过滤器，并且活性炭过滤器位于高效过滤器和出气阀门之间，使其与现有的空调箱相比，能够更有效地过滤空气中的空气分子污染物。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及温控过滤装置，具体的说，是一种空调箱。
技术介绍
空调在现代化生产中扮演着越来越重要的角色。随着科学技术的进步，制 造业对加工生产中的工艺环境也有了更高的要求，比如无尘工厂，无尘车间在 微电子制造领域的不可替代性，充分反映了工艺环境对生产质量的影响。在晶圓制造厂生产晶圆的过程中，需要对环境的温度、湿度、空气中的悬浮颗粒数、空气分子污染物(AMC)进行严格的控制，这就需要工业用中央空 调箱对晶圆制造厂的密闭环境进行温、湿度控制及空气调节和过滤。现有技术的空调箱如图l所示，它包括空调箱外壳l，依次安装在空调箱 外壳1内部的进气阀门11,初效过滤器12,中效过滤器13，加热器14a、 14b, 制冷器15a、 15b，风机16,高效过滤器17和出气阀门18。当该空调箱运行时， 风机16运转，密闭环境中已污染的空气被吸入进气阀门11,依次通过初效过滤 器12,中效过滤器13的过滤，再通过加热器14a、 14b或制冷器15a、 15b的加 热或制冷，达到要求的温度，最后通过高效过滤器17的过滤，从出气阀门18 送回到密闭环境中。但是，现有的空调箱还不能满足晶圓制造厂对工艺环境的要求，原因在于 空气中的空气分子污染物如硫酸根离子、氨根离子不能被现有的空调箱充分过 滤，这些残留在空气中的硫酸根离子和氨根离子如果超过一定浓度，就会导致 晶圆的报废，因此，能否有效去除空气分子污染物对晶圆的良品率有^艮大的影 响。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种能够充分过滤空气中空气分200720072737.X说明书第2/3页子污染物如硫酸根离子和氨根离子的改进型空调箱。为了解决上述技术问题，本技术采用了如下技术手段 一种改进型空 调箱，它包括空调箱外壳，依次安装在空调箱外壳内部的进气阀门、初效过 滤器、中效过滤器、加热器、制冷器、风机、高效过滤器和出气阀门，其改进 点在于，在空调箱外壳内部还安装有活性炭过滤器。在上述的改进型空调箱中，所述的活性炭过滤器位于高效过滤器和出气阀 门之间。在上述的改进型空调箱中，所述的改进型空调箱是工业中央空调箱，进一 步地，是晶圆制造厂用的工业中央空调箱。本技术的改进型空调箱由于采用了上述技术方案，使之与现有技术相 比，具有以下优点和积极效果改进现有空调箱，在空调箱外壳内部加入活性 炭过滤器，并且该活性炭过滤器安装于高效过滤器和出气阀门之间，利用活性 炭可以使空气中的空气分子污染物如疏酸根离子和氨根离子充分吸附在活性炭 上的特点，将空气分子污染物充分过滤，达到晶圆制造厂工艺环境对空气分子 污染物的要求，大大提高了晶圆合格率，降低了生产成本。附图说明本技术的改进型空调箱由以下的实施例及附图给出。图1为现有技术空调箱的结构示意图图2为本技术改进型空调箱的结构示意图。具体实施方式以下将结合附图对本技术的改进型空调箱作进一步的详细描述，具体 为以下实施方式如图2所示，本技术改进型空调箱包括空调箱外壳2，依次安装在空 调箱外壳2内部的进气阀门21，初效过滤器22，中效过滤器23，加热器24a、 -24b,制冷器25a、 25b，风机26,高效过滤器27,活性炭过滤器29和出气阀门 28。当空调箱运行时，风机26运转，密闭环境中已污染的空气被吸入进气阀门 21,依次通过初效过滤器22、中效过滤器23的过滤，再通过加热器24a、 24b或制冷器25a、 25b的加热或制冷，达到要求的温度，再通过高效过滤器27滤 去空气中的悬浮颗粒，此时空气中的空气分子污染物如碌u酸才艮离子和氨根离子 还未能过滤掉，因此，在高效过滤器27和出气阀门'28之间加入活性炭过滤器 29,利用活性炭可以使空气中的空气分子污染物如疏酸根离子和氨根离子充分 吸附在活性炭上的特点，将空气分子污染物充分过滤，最后从出气阀门28把经 过过滤的空气重新送回到密闭环境中。将活性炭过滤器29安装在高效过滤器27 和出气阀门28之间，也是考虑到过滤的原理，即先过滤大的、粗的颗粒物，再 过滤小的、细的颗粒物，最后过滤分子级的物质，可以使活性炭过滤器29的使 用寿命大大延长。本技术的改进型空调箱用于晶圆制造厂工艺环境，对空气分子污染物 的过滤效果明显，尤其对于硫酸根离子和氨根离子的去除效果可分别达到94% 和86%,使得过滤后的空气质量大大提高，从而提升了晶圆的合格率，减低了 废品率，降低了生产成本。本技术的改进型空调箱还可用于对环境有较高要求的食品生产业。 本技术的改进型空调箱还可用于对环境有较高要求的高科技企业。权利要求1. 一种改进型空调箱，它包括空调箱外壳，依次安装在空调箱外壳内部的进气阀门、初效过滤器、中效过滤器、加热器、制冷器、风机、高效过滤器和出气阀门，其特征在于，所述空调箱外壳内部还安装有活性炭过滤器。2. 根据权利要求1所述的改进型空调箱，其特征在于，所述的活性炭过 滤器位于高效过滤器和出气阀门之间。3. 根据权利要求1所述的改进型空调箱，其特征在于，所述的空调箱是 工业中央空调箱。专利摘要本技术提供了一种改进型空调箱，其包括空调箱外壳，依次安装在空调箱外壳内部的进气阀门，初效过滤器，中效过滤器，加热器，制冷器，风机，高效过滤器和出气阀门，在空调箱外壳内部还安装有活性炭过滤器，所述的活性炭过滤器位于高效过滤器和出气阀门之间。本技术的改进型空调箱，由于其安装有活性炭过滤器，并且活性炭过滤器位于高效过滤器和出气阀门之间，使其与现有的空调箱相比，能够更有效地过滤空气中的空气分子污染物。文档编号F24F3/16GK201129809SQ20072007273公开日2008年10月8日 申请日期2007年7月20日 优先权日2007年7月20日专利技术者尹哲坚, 李卫旗, 龚文卫 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改进型空调箱，它包括：空调箱外壳，依次安装在空调箱外壳内部的进气阀门、初效过滤器、中效过滤器、加热器、制冷器、风机、高效过滤器和出气阀门，其特征在于，所述空调箱外壳内部还安装有活性炭过滤器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：龚文卫，尹哲坚，李卫旗，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]