一种风门系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种风门系统，它可以分批打开百叶，使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种风门系统，尤其适用于半导体行业的风门系统。
技术介绍
如附图说明图1、2所示，它们是现有的风门系统。图1是风门的天窗示意图，它由框架1、百叶2、轴3组成；图2是风门系统的控制部分示意图，它由可编程控制器(PLC)4、和传送装置组成，传送装置包括电磁阀8、执行器7和控制杆5，在给天窗供气时，首先可编程控制器4打开电磁阀8，然后压缩气体6从电磁阀传送给执行器7，经执行器7处理后，将压缩气体经控制杆5供给天窗的每个百叶2，经百叶2将气体送入到工作间，另外轴3可以带动百叶2旋转，使气体均匀的输入到工作间。上述风门系统，在实际的工作中具有如下的缺点每次开启或关闭时，所有的百叶必须是同时开启或关闭，根据气压的变化与气体量的变化成正比原理，可以很明显的得出，在每次开启和关闭时，工作间的气压变化很大，根据测试得出每次的变化量最大在30-100Pa之间，而在半导体的工作间有些工艺设备，在气压变化超过50Pa时，设备将无法正常工作。另外，由于天窗的百叶，经过一定时间不使用，则在其上会有结晶物，这时必须打开进行维护，这时同样会遇到上述问题，并且维护工作是不定期的经常性工作。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供了一种风门系统，它可以分批打开百叶，使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。为了解决以上技术问题，本技术提供了一种风门系统，它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。因为本技术对采用多组传送装置，每组控制部分百叶，并且通过控制器控制每组之间的开启或关闭有延迟，所以工作间在天窗开启或关闭式，带来的气体量变化不大，也就避免了气压的大变化，并且可以根据实际需要，设定所需要的组数。以下结合附图和具体实施方式，对本技术做进一步阐述。图1是现有天窗示意图；图2是现有天窗控制部分示意图； 图3是本技术天窗控制部分示意图。具体实施方式如图2所示，它是本技术的天窗控制部分示意图。它和现有天窗控制部分的不同在于，采用了四组传送装置，每组传送装置都包括电磁阀、执行器和控制杆，其中第一组由电磁阀81、执行器71和控制杆51组成，它负责三个百叶21、22、23的供给，第二组由电磁阀82、执行器72和控制杆52组成，它负责两个百叶24、25的供给，第三组由电磁阀83、执行器73和控制杆53组成，它负责两个百叶26、27的供给，第四组由电磁阀84、执行器74和控制杆54组成，它负责两个百叶28、29的供给。而上述传送装置共用一个可编程控制器4，通过控制电磁阀81、82、83、84的开启或关闭时间达到控制天窗的百叶先后开启或关闭，避免一次全部开启带来的大的气流变化。其中可编程控制器的控制程序，可以采用编程语言编辑，在对每个与对应电磁阀的输出信号进行控制，控制它们的输出时间延迟一定时间，比如在上述控制系统中，它们之间的延迟时间设定在2秒，也就是说，在第一组传送装置开启2秒后，第二组打开，然后在第二组打开2秒后，第三组再开启，接下来再间隔2秒后打开第四组；同理，在关闭系统时，也是先后关闭。当然，可以根据实际的需要，增加或减少传送装置的组数，也可以根据需要设定具体的延迟时间。权利要求1.一种风门系统，它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，其特征在于所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。2.如权利要求1所述的风门系统，其特征在于，所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。3.如权利要求1或2所述的风门系统，其特征在于，所述的传送装置有四组以上。4.如权利要求1所述的风门系统，其特征在于，所述的间隔时间为2秒。5.如权利要求1所述的风门系统，其特征在于，所述的控制器是可编程控制器。专利摘要本技术公开了一种风门系统，它可以分批打开百叶，使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。文档编号F24F13/14GK2932194SQ20062004136公开日2007年8月8日 申请日期2006年4月27日 优先权日2006年4月27日专利技术者李新国, 王国镜, 刘稼华 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种风门系统，它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，其特征在于：所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李新国，王国镜，刘稼华，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]