带加热器的真空阀制造技术

带有加热器的真空阀，其中从设置在阀构件上的加热器及温度传感器延伸出的导线不成为阀构件关闭的障碍。在由活塞（２１）经杆（１６）开闭驱动的阀构件（１３）上安装加热器（３１）及温度传感器（３５），把从这些加热器（３１）及温度传感器（３５）延伸出的一次导线（３１ａ，３５ａ）连接在活塞（２１）上的端子座（３７）上，同时在该端子座（３７）和安装在盖体（２３）上的连接器（４２）之间连接具有伸缩自由的螺旋部（４４ａ）的二次导线（３１ｂ，３５ｂ），由该螺旋管（４４ａ）的伸缩吸收伴随上述构件（１３）的开闭而产生的一次导线（３１ａ，３５ａ）的位移。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在理化学等机械中直接使用于反应气体等作动流体供给的、或使用于使用这样的反应气体的真空容器的减压等中的真空阀，更详细地讲，涉及用加热器来防止来自上述作动流体的生成物附着在阀构件等上的带加热器的真空阀。技术背景例如，在半导体的制造装置中，在真空容器内进行的蚀刻等化学处理中使用高温的反应气体，在其供给或真空容器的减压等过程中使用真空阀。可是，上述反应气体在进行低温化时易析出生成物，由于该生成物附着在真空阀内部和阀构件等上使开闭精度下降，所以在这样的真空阀中，做成能够防止来自作动流体的生成物的析出和向阀构件等上附着是很重要的。为此，以前，对用加热器加热壳体和阀构件等来防止生成物的附着的带加热器的真空阀提出了各种方案。例如，日本专利第3005449号公报中，介绍了在开闭流路的阀构件上安装棒状的加热器，把其导线通过从该阀构件延伸的中空杆的内部导出到壳体的外部的方案。可是这样一来，当把加热器安装在可动的阀构件上，并使其导线通过杆原封不动地导出到外部时，伴随着阀构件的动作，导线也位移，由于有时被导入壳体内、有时被压出壳体外，因此，该导线容易挂在壳体的导出孔的端部或其它的构件等上而发生纠缠，这容易成为阀构件的开闭的障碍。在上述加热器具有温度传感器的情况下，由于设置加热器用和温度传感器用的多根导线，所以更容易产生上述问题。另外，例如在上述导线上设置伸缩自由的螺旋部，由该螺旋部的伸缩吸收该导线的位移，可以解决这样的问题，但是，当设置这样的螺旋部时，该部分的导线长度变长且重量增大，该重量有对阀构件的开闭动作产生坏影响的危险。另外，当在插通杆的内部的导线部分上设置这样的螺旋部时，每当阀构件开闭时，该螺旋部与杆相互摩擦，导线容易受伤和磨损，再有，这些滑动阻抗也会对阀构件的开闭动作产生坏的影响。本专利技术的技术课题在于，在开闭流路的阀构件上设置用于防止析出来自作动流体的生成物的加热器的真空阀中，使从该加热器延伸出的导线不成为阀构件的开闭的障碍。
技术实现思路
为了解决上述课题，本专利技术的带加热器的真空阀具有具有第1主口及第2主口、连结该两主口的流路及设置在该流路中的环状的阀座的阀壳体；连接于上述阀壳体的气缸；设置在上述阀壳体内并开闭上述阀座的提升阀式的阀构件；前端部与上述阀构件连结、基端部延伸到上述气缸内部的杆；滑动自由地配置在上述气缸的内部并连接于上述杆的基端部的、被流体压力作用驱动的活塞；安装在上述阀构件上的加热器及温度传感器；安装在上述活塞上并与该活塞一起位移的端子座；安装在上述气缸上的连接器；分别从上述加热器及温度传感器延伸出的、贯通杆的内部后顶端与上述端子座连接的加热器用一次导线及传感器用一次导线；一端经上述端子座分别与加热器用一次导线及传感器用一次导线连接，同时另一端与上述连接器连接，中间具有伸缩自由的螺旋部的加热器用二次导线及传感器用二次导线。根据具有上述构成的本专利技术的真空阀，由于不直接把上述加热器用一次导线及传感器用一次导线引出到气缸的外部，而是经过在安装于活塞上的端子座、安装于气缸上的连接器及连接于它们之间的二次导线引出到外部，同时在这些二次导线上设置伸缩自由的螺旋部，伴随阀构件的开闭产生的上述一次导线的位移由该螺旋部的伸缩吸收，所以上述各导线不会一会儿被拉入气缸内，一会儿被推出气缸外，从而，由于各导线不会被气缸的导出孔或其他构件挂住或纠缠，所以阀构件的开闭动作稳定。另外，由于在不与阀构件一起位移的二次导线上设置螺旋部，所以该二次导线的重量对阀构件的开闭动作不产生坏的影响，而且，由于上述螺旋部不与杆相互摩擦，所以各导线和管既不会受伤也不会磨损，它们的滑动阻抗完全不会对阀构件产生坏的影响。根据本专利技术的理想的构成例，通过把上述加热器用一次导线和传感器用一次导线插入共同的管内形成电缆状的一次导线束，该导线束插入通过上述杆的内部，另外，通过把上述加热器用二次导线和传感器用二次导线插入共同的管内形成电缆状的二次导线束，在该二次导线束上形成上述螺旋部。由于该构成，多根导线不相互卡定和纠缠，可以进一步稳定阀构件的开闭动作。根据本专利技术的具体的构成例，上述气缸，在上述活塞的前面侧具有与操作口相通的驱动侧压力室，同时在活塞的背面侧具有导线收容室，在该导线收容室内，上述端子座安装在活塞的背面上，在上述气缸的端部上安装划分上述导线收容室的盖体，在该盖体上安装上述连接器，同时设置中空部，在该中空部内收容上述螺旋部。另外，在上述导线收容室内，在上述盖体和活塞之间设置线圈状的复位弹簧，该复位弹簧设置在从上述盖体上形成的筒部的周围，该筒部包围上述盖体的中空部，由该筒部使之与上述螺旋部隔离。由于上述的构成，有效地利用上述盖体隔离线圈弹簧和各导线，可以可靠且效率良好地防止它们相互干涉。附图说明图1是表示本专利技术的第1实施例在开阀状态下的剖面图。图2是在上述第1实施例的闭阀状态下的剖面图。图3是一次导线束的剖面图。图4是端子座的立体图。具体实施方式图1是表示本专利技术的带加热器的真空阈的理想的一个实施例的图。该真空阀1适合在半导体制造装置中的真空容器的减压中使用，具有用阀构件13开闭流体流路14的阈开闭部2、用于驱动上述阀构件13的气缸操作部3和介于阀开闭部2和气缸操作部3之间的绝热部4，在上述阀开闭部2上设置第1～第3的3组加热机构5，6，7。上述阀开闭部2具有用不锈钢(SUS)等材料形成的四角柱状的阀壳体10。该阀壳体10具有与上述真空容器及真空泵的任何一方连接的第1主口11和与另一方连接的第2主口12，两者朝向着相互成90°的不同方向，同时还备有连结两主口11，12的上述流路14和设置在该流路14中的圆环状的阀座15。在上述阀壳体10的内部设置开闭阀座15的提升阀式的上述阀构件13。该阀构件13在做成圆盘形的基体件13a的下面外周上安装与上述阀座15接离的橡胶制的密封构件13b。在该阀构件13的背面中央部安装呈中空状的驱动用的杆16的前端部，该杆16的基端部贯通阀壳体10的端部的隔壁17及上述绝热部4延伸到上述气缸操作部3，与活塞21连结。另外，在上述阀构件13的背面与隔壁17之间安装伸缩自由的波纹管18，该波纹管18包围上述杆16的周围。另一方面，上述气缸操作部3具有通过上述绝热部4连结到上述阀壳体10的一端部上的气缸20。该气缸20的绝热部4侧的端部由隔壁20a闭塞，气缸20的相反侧的端部由盖体23闭塞，在该气缸20的内部通过密封构件22滑动自由地收容上述活塞21。而且，上述杆16通过密封构件28及导向构件29滑动自由地贯通上述隔壁20a的中央部，达到活塞21。在上述活塞21的前面侧，在该活塞21和上述隔壁20a之间形成驱动侧压力室24，该压力室24与设置在气缸20的侧面上的操作口25连接。另外，在上述活塞21的背面侧，在该活塞21和上述盖体21之间形成复位侧压力室26，在该压力室26内，在上述活塞21和盖体23之间设置线圈状的复位弹簧27。而且，当从上述操作口25向压力室24内供给压缩空气等压力流体时，如图1所示。由于在压缩复位弹簧27的同时活塞21及杆16后退，所以该杆16的顶端的阀构件13后退而打开上述阀座15。另外，当打开上述操作口25时，如图2所示，由复位弹簧27的弹性力使上述活塞21及杆16前进，阀构件13坐在阀座本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带加热器的真空阀，其特征在于，该真空阀具有：具有第１主口及第２主口、连结该两主口的流路及设置在该流路中的环状的阀座的阀壳体；连接于上述阀壳体的气缸；设置在上述阀壳体内并开闭上述阀座的提升阀式的阀构件；前端部与上述阀构件连结、基端部延伸到上述气缸内部的中空的杆；滑动自由地配置在上述气缸的内部并连接于上述杆的基端部的被由流体压力作用驱动的活塞；安装在上述阀构件上的加热器及温度传感器；安装在该活塞上而与该活塞一起位移的端子座；安装在上述气缸的端部上的连接器；分别从上述加热器及温度传感器延伸出的、贯通杆的内部后顶端与上述端子座连接的加热器用一次导线及传感器用一次导线；一端通过上述端子座分别与加热器用一次导线及传感器用一次导线连接、同时另一端与上述连接器连接的、中间具有伸缩自由的螺旋部的加热器用二次导线及传感器用二次导线。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：福田守，桜井丰信，
申请(专利权)人：速睦喜股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]