感光性树脂组合物制造技术

技术编号:22174439 阅读:91 留言:0更新日期:2019-09-21 15:06
本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物,其能够形成耐热形状保持性优异的正型抗蚀剂膜。本发明专利技术的感光性树脂组合物包含具有下述通式(I)所表示的单体单元单元的聚合物和聚酰胺酰亚胺。(通式(I)中,R

Photosensitive resin compositions

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物
本专利技术涉及感光性树脂组合物,特别涉及能够形成耐热形状保持性优异的正型抗蚀剂膜的感光性树脂组合物。
技术介绍
在作为电子零件的一个例子的有机电致发光元件(有机EL元件)中,设有用于防止其劣化、损伤的保护膜、用于使元件表面、配线平坦化的平坦化膜、用于保持电绝缘性的电绝缘膜、用于分离发光体部的像素分离膜等各种树脂膜。此外,在作为电子零件的其它例子的微型LED(LightEmittingDiode)和微型OLED(OrganicLightEmittingDiode)中,也设有用于防止其劣化、损伤的保护膜、用于保持电绝缘性的电绝缘膜、用于保护内部抵御来自外部的水分、金属离子的钝化膜等各种树脂膜。往常作为用于形成这些树脂膜的树脂材料,广泛使用环氧树脂等热固性树脂材料。但另一方面,随着近年配线、设备的高度密集化,这些树脂材料中也逐渐要求透明性优异的树脂材料。此外,在微型LED及微型OLED中,作为往常形成这些树脂膜的材料,广泛使用二氧化硅、氧化铝、氮化硅等无机材料。但随着近年的高亮度化,这些树脂材料中也要求透明性更优异的树脂材料。为满足这类要求,提出了使用各种树脂材料的感光性树脂组合物。例如专利文献1中,通过使用如下的感光性树脂组合物,从而使灵敏度提高,并且形成透明性优异的正型抗蚀剂膜,上述感光型树脂组合物含有聚合物、感光体及交联剂,上述聚合物具有由特定的酚化合物形成的单体单元。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2014-29766号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在此,在用于构成上述的有机电致发光元件(有机EL元件)、微型LED及微型OLED的树脂膜中,在使其图案化而使用的情况下,要求在加热工序前后图案形状不会熔融或变形,能够保持形状(耐热形状保持性)。但是,使用专利文献1中记载的感光性树脂组合物形成的正型抗蚀剂在耐热形状保持性方面还有改善的余地。用于解决问题的方案本专利技术人为了实现上述目的进行了深入研究。然后,本专利技术人新发现,当使用包含具有乙烯基苯酚单体单元的聚合物和聚酰胺酰亚胺的感光性树脂组合物时,能够形成耐热形状保持性优异的正型抗蚀剂膜,以致完成本专利技术。即本专利技术是以有利地解决上述问题为目的,本专利技术的感光性树脂组合物的特征在于,包含具有乙烯基苯酚单体单元的聚合物和聚酰胺酰亚胺。如果使上述感光性树脂组合物除了含有具有下述通式(I)所表示的单体单元的聚合物以外还含有聚酰胺酰亚胺,则能够形成耐热形状保持性优异的正型抗蚀剂膜。[化学式1](通式(I)中,R1为化学单键或能够具有取代基的碳原子数为1~6的2价烃基,R2为氢原子或能够具有取代基的碳原子数为1~6的1价烃基。)在此,本专利技术的感光性树脂组合物优选上述聚酰胺酰亚胺为具有分支型结构的聚酰胺酰亚胺。如果聚酰胺酰亚胺为具有分支型结构的聚酰胺酰亚胺,则能够提高与具有乙烯基苯酚单体单元的聚合物的相溶性。进而,本专利技术的感光性树脂组合物优选上述聚酰胺酰亚胺的数均分子量为1000以上且30000以下。如果聚酰胺酰亚胺的数均分子量在1000以上,则能够形成树脂膜(涂膜)及提高耐热形状保持性,此外,如果聚酰胺酰亚胺的数均分子量在30000以下,则能够提高与具有乙烯基苯酚单体单元的聚合物的相溶性。进而,本专利技术的感光性树脂组合物优选上述聚合物是还具有(甲基)丙烯酸单体单元的共聚物。如果聚合物是还具有(甲基)丙烯酸单体单元的共聚物,则能够使感光性树脂组合物的灵敏度提高,并且能够形成透明性优异的抗蚀剂膜。另外,在本说明书中,“(甲基)丙烯酸酯”意为“丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯”。进而,本专利技术的感光性树脂组合物优选上述聚合物与上述聚酰胺酰亚胺的含量比(聚合物∶聚酰胺酰亚胺)以质量基准计为90∶10~70∶30。如果聚合物与聚酰胺酰亚胺的含量比(聚合物∶聚酰胺酰亚胺)以质量基准计为90∶10~70∶30,则能够抑制所得的抗蚀剂膜的透明性下降、防止显影后残膜率下降、改善耐热形状保持性、且防止灵敏度下降。进而,本专利技术的感光性树脂组合物优选还具有感光剂和交联剂。如果感光性树脂组合物还具有感光剂和交联剂,则能够容易地形成正型抗蚀剂膜。专利技术效果根据本专利技术的感光性树脂组合物,能够形成耐热形状保持性优异的正型抗蚀剂膜。附图说明图1是表示有机电致发光装置的一个实施方式的概略剖面图,该有机电致发光装置具有在使用本专利技术的感光性树脂组合物进行了图案化的有机绝缘层上形成的有机电致发光元件(有机EL元件)。图2是对图1中用虚线包围的区域T进行放大了的说明图。具体实施方式以下对本专利技术的实施方式进行详细说明。在此,本专利技术的感光性树脂组合物能够在例如在有机EL用增层(Build-up)基板等印刷基板的制造工序中形成抗蚀图案时使用。此外,本专利技术的感光性树脂组合物能够用于例如有机电致发光元件(有机EL元件)、微型LED、微型OLED及触摸面板用的保护膜、电绝缘膜、钝化膜等。(感光性树脂组合物)本专利技术的感光性树脂组合物包含规定的聚合物和聚酰胺酰亚胺,任意地进一步含有感光剂、交联剂、溶剂以及可与感光性树脂组合物配合的已知的添加剂。并且,本专利技术的感光性树脂组合物除了含有规定聚合物以外还含有聚酰胺酰亚胺,因此能够形成耐热形状保持性优异的正型抗蚀剂膜。<聚合物>在此,本专利技术的感光性树脂组合物中使用的聚合物具有规定的单体单元。[单体单元]上述单体单元具有下述通式(I)所表示的单体单元、优选具有乙烯基苯酚单体单元,任意地进一步具有(甲基)丙烯酸酯单体单元、芳香族乙烯基单体单元(乙烯基苯酚单体单元除外)、其他单体单元。[化学式2](通式(I)中,R1为化学单键或能够具有取代基的碳原子数为1~6的2价烃基,R2为氢原子或能够具有取代基的碳原子数为1~6的1价烃基。)-通式(I)所表示的单体单元-上述通式(I)所表示的单体单元是下述通式(I)所表示的结构单元。[化学式3]上述通式(I)中,R1为化学单键或能够具有取代基的碳原子数为1~6的2价烃基,优选为化学单键或碳原子数为1~4的亚烷基(分支型或直链型),更优选为化学单键或碳原子数为1~2的亚烷基。此外,上述通式(I)中,R2为氢原子或能够具有取代基的碳原子数为1~6的1价烃基,优选为氢原子、碳原子数为1~4的烷基,更优选为氢原子、碳原子数为1~2的烷基。作为上述取代基,可举出例如:氟原子、氯原子、溴原子等卤原子;甲氧基、乙氧基、异丙氧基等碳原子数为1~10的烷氧基;硝基;氰基;苯基、4-甲基苯基、2-氯苯基等能够具有取代基的苯基;羟基等。作为上述通式(I)所表示的单体单元,可举出例如:(i)后述的乙烯基苯酚单体单元、(ii)来自α-甲基-4-羟基苯乙烯、α-甲基-3-羟基苯乙烯、α-甲基-2-羟基苯乙烯、4-羟基烯丙基苯、3-羟基烯丙基苯、2-羟基烯丙基苯等单体的单体单元等。在这些中,优选后述的乙烯基苯酚单体单元。-乙烯基苯酚单体单元-上述乙烯基苯酚单体单元为下述结构式(I)所表示的结构单元。[化学式4]在此,上述结构式(I)所表示的结构单元不仅包含来自乙烯基苯酚单体的结构单元,也包含例如像后述合成例1中所示那样,将来自用任意的保护基保护了酚性羟基的化合物(例如对叔丁氧基苯乙烯)的结构单元进行脱保护而得到的结构单元。作为上述乙烯基苯酚单体的具体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物,其包含具有下述通式(I)所表示的单体单元的聚合物和聚酰胺酰亚胺,

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.21 JP 2017-0301381.一种感光性树脂组合物,其包含具有下述通式(I)所表示的单体单元的聚合物和聚酰胺酰亚胺,通式(I)中,R1为化学单键或能够具有取代基的碳原子数为1~6的2价烃基,R2为氢原子或能够具有取代基的碳原子数为1~6的1价烃基。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述聚酰胺酰亚胺是具有分支型结构的聚酰胺酰亚胺。3.根据权利要求1或2...

【专利技术属性】
技术研发人员:樱井隆觉
申请(专利权)人:日本瑞翁株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1