插入光源制造技术

本发明专利技术提供一种插入光源，使抵消弹簧机构产生的力矩不会给间隙驱动带来影响。插入光源具有：第一磁铁列(M1)；第一磁铁支撑体(1)；第二磁铁列(M2)；第二磁铁支撑体(2)；间隙驱动机构(50)，垂直驱动磁铁支撑体(1)、(2)，以变更间隙(6)；第一/第二连结梁(103)、(203)，与磁铁支撑体(1)、(2)连结；驱动连动机构，将连结梁(103)、(203)与间隙驱动机构(50)连接；抵消弹簧机构(40)，抵消作用于磁石铁列之间的吸引力；以及弹簧连动机构(30)，将抵消弹簧机构(40)与磁铁支撑体(1)、(2)连结，弹簧连动机构(30)具有：第一/第二弹簧支撑框架(31)、(32)，经由连结部与第一/第二连结梁(103)、(203)连结；以及引导机构(36)，引导第一/第二弹簧支撑框架(31)、(32)的垂直移动，在第一/第二弹簧支撑框架(31)、(32)的双方安装有抵消弹簧机构(40)。

Insert light source

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】插入光源
本专利技术涉及一种插入光源，所述插入光源具有：第一磁铁列，多个磁铁列状地配置；第一磁铁支撑体，安装并支撑该第一磁铁列；第二磁铁列，多个磁铁列状地配置，并且经由间隙与所述第一磁铁列相对；第二磁铁支撑体，安装并支撑该第二磁铁列；间隙驱动机构，用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支撑体，以变更所述间隙的大小；以及驱动连动机构，用于连结该间隙驱动机构与所述磁铁支撑体。
技术介绍
如果在真空中加速到接近光速的电子束在磁场中弯曲，则在电子束的移动轨迹的切线方向上发出辐射光，将其称为同步加速器辐射光。将产生这种同步加速器辐射光的光源设置于电子储存环(电子束积蓄环)的直线部，进行用于利用了高指向性、高强度、高偏光性等特性的各种技术的实用化的研究。在当前的电子储存环中，设置有多个插入光源(波荡器：undulator)，该插入光源是具有更高的束电流、更小的束横截面积的高亮度光源。已知作为这样的插入光源，例如在下述非专利文献1中公开的插入光源。该插入光源具有多个磁铁列状地配置的第一磁铁列和多个磁铁列状地配置的第二磁铁列经由间隙彼此相对的结构。这样，由于多个磁铁列相对，因此，较大的吸引力作用于两者之间。通过该吸引力的作用，不仅在间隙驱动机构中产生较大的负载而损坏精密的间隙驱动，而且使支撑磁铁列的磁铁支撑体发生变形，会扰乱了初始设定在磁场产生空间(间隙)中的电子束方向的磁场强度分布。其结果，存在不能获得具有所期望的特性的同步加速器辐射光的问题。为了解决这样的问题，在下述的专利文献1中公开了一种设置有抵消弹簧(补偿弹簧：compensationspring)的结构。在该插入光源中，通过设置于主框架结构(primaryframe)的间隙驱动机构，在垂直上下方向上驱动支撑磁铁列的梁。该间隙驱动机构是用于变更间隙的大小的机构。另外，支撑磁铁列的梁经由弹簧组件被第二C型框架(secondaryC-frame)结构支撑。第二C型框架结构在主框架结构的左右两侧连结。通过该弹簧组件，想要减小对间隙驱动机构的负载，并且想要抑制作为磁铁支撑体的梁的变形。现有技术文献专利文献专利文献1：US7956557B1公报非专利文献1：Winick，Herman；GeorgeBrown；KlausHalbach；JohnHarris(May1981).”SynchrotronRadiationWigglerandUndulatorMagnets”PhysicsToday，May1981，Volume34，Issue5，pp.50-63
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，专利文献1中公开的结构中存在如下的问题点。即，搭载于主C型框架结构的间隙驱动机构具有经由第二C型框架结构与抵消弹簧结构直接连结的结构。因此，由抵消弹簧机构产生的力矩使间隙驱动机构变形，通过使该间隙驱动机构的变形，有可能损坏精密的间隙控制。因此，尽管设置有抵消弹簧，但也是不能使其性能充分发挥的结构。另外，将抵消弹簧配置在支撑磁铁列的梁的正上方和正下方，而且，在这些抵消弹簧的进一步的正上方和正下方设置有第二C型框架结构。这种结构也存在上下方向上的尺寸大型化的问题。本专利技术鉴于上述问题而提出，其目的在于，提供一种插入光源，能够使抵消弹簧机构产生的力矩不会对精密的间隙驱动造成影响，并且能够抑制装置的大型化。解决用于课题的手段为了解决上述问题，本专利技术的插入光源，其特征在于，具有：第一磁铁列，多个磁铁列状地配置；第一磁铁支撑体，安装并支撑该第一磁铁列；第二磁铁列，多个磁铁列状地配置，并且经由间隙与所述第一磁铁列相对；第二磁铁支撑体，安装并支撑该第二磁铁列；间隙驱动机构，用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支撑体，以变更所述间隙的大小；第一连结梁，与所述第一磁铁支撑体一体地连结；第二连结梁，与所述第二磁铁支撑体一体地连结；驱动连动机构，用于将所述第一连结梁和所述第二连结梁中的至少一方与所述间隙驱动机构连结；抵消弹簧机构，在抵消在第一磁铁列与第二磁铁列之间作用的吸引力的方向上进行作用；以及弹簧连动机构，用于连结抵消弹簧机构与所述连结梁，所述弹簧连动机构具有：第一弹簧支撑框架，经由第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结；第二弹簧支撑框架，经由第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结；以及引导机构，用于引导所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的所述磁铁列相对的方向的相对移动，在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的双方安装有所述抵消弹簧机构，当变更了所述间隙的大小时，通过所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的磁铁列相对的方向上的相对移动，从而抵消弹簧机构进行动作。该结构的插入光源的作用/效果如下。第一磁铁支撑体与第一连结梁一体地连结，第二磁铁支撑体与第二连结梁一体地连结。间隙驱动机构通过驱动第一连结梁和第二连结梁中的至少一方，来变更间隙的大小。另一方面，弹簧连动机构具有第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架分别经由第一连结部和第二连结部与第一连结梁、第二连结梁中的任意一方和另一方连结。另外，使第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架能够通过引导机构在磁铁列相对的方向上相对移动。通过这样的结构，使因抵消弹簧机构的动作而产生的力矩能够由引导机构接住，并且能够抑制对经由第一/第二连结部的间隙驱动机构的影响。由此，能够使抵消弹簧的动作不会对精密的间隙驱动造成影响。此外，磁铁列相对的方向取决于设置磁铁列的方式，例如，包含垂直方向、水平方向以及任意的倾斜方向。另外，在磁铁列相对的方向上的移动存在磁铁列靠近的情况和远离的情况两种。另外，“在第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的双方安装有所述抵消弹簧机构”是指抵消弹簧机构的某个部位安装于第一弹簧支撑框架，并且所述抵消弹簧机构的其他部位安装于第二弹簧支撑框架。在本专利技术中，优选地，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有一对第一板部以及板结合部，在俯视时，所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧，将第一板部彼此结合，所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方具有第二板部，在俯视时，该第二板部配置为夹在所述一对板部之间，所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结，在所述板结合部与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间设置有所述引导机构。根据该结构，在俯视时(俯视)，由一对第一板部和板结合部构成门型的形状，并且第二板部配置为夹在一对第一板部之间。即，板部是三层结构。引导机构设置在板结合部与第二板部之间，并且位于远离磁铁列的一侧。因此，虽然由抵消弹簧机构产生的力矩试图作用于第一/第二连结部，但也能够通过引导机构来吸收该力矩，从而能够抑制由抵消弹簧产生的力矩作用于第一/第二连结部。由此，能够更有效地使抵消弹簧的动作不会对精密的间隙驱动造成影响。在本专利技术中，优选地，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有一对第一板部以及板结合部，在俯视时，所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种插入光源，其特征在于，具有：第一磁铁列，多个磁铁列状地配置；第一磁铁支撑体，安装并支撑该第一磁铁列；第二磁铁列，多个磁铁列状地配置，并且经由间隙与所述第一磁铁列相对；第二磁铁支撑体，安装并支撑该第二磁铁列；间隙驱动机构，用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支撑体，以变更所述间隙的大小；第一连结梁，与所述第一磁铁支撑体一体地连结；第二连结梁，与所述第二磁铁支撑体一体地连结；驱动连动机构，用于将所述第一连结梁和所述第二连结梁中的至少一方与所述间隙驱动机构连结；抵消弹簧机构，在抵消在第一磁铁列与第二磁铁列之间作用的吸引力的方向上进行作用；以及弹簧连动机构，用于连结抵消弹簧机构与所述连结梁，所述弹簧连动机构具有：第一弹簧支撑框架，经由第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结；第二弹簧支撑框架，经由第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结；以及引导机构，用于引导所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的所述磁铁列相对的方向的相对移动，在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的双方安装有所述抵消弹簧机构，当变更了所述间隙的大小时，通过所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的磁铁列相对的方向上的相对移动，从而抵消弹簧机构进行动作。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.01 JP 2017-0169091.一种插入光源，其特征在于，具有：第一磁铁列，多个磁铁列状地配置；第一磁铁支撑体，安装并支撑该第一磁铁列；第二磁铁列，多个磁铁列状地配置，并且经由间隙与所述第一磁铁列相对；第二磁铁支撑体，安装并支撑该第二磁铁列；间隙驱动机构，用于在磁铁列相对的方向上驱动所述第一磁铁支撑体和/或所述第二磁铁支撑体，以变更所述间隙的大小；第一连结梁，与所述第一磁铁支撑体一体地连结；第二连结梁，与所述第二磁铁支撑体一体地连结；驱动连动机构，用于将所述第一连结梁和所述第二连结梁中的至少一方与所述间隙驱动机构连结；抵消弹簧机构，在抵消在第一磁铁列与第二磁铁列之间作用的吸引力的方向上进行作用；以及弹簧连动机构，用于连结抵消弹簧机构与所述连结梁，所述弹簧连动机构具有：第一弹簧支撑框架，经由第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结；第二弹簧支撑框架，经由第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结；以及引导机构，用于引导所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的所述磁铁列相对的方向的相对移动，在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的双方安装有所述抵消弹簧机构，当变更了所述间隙的大小时，通过所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架的磁铁列相对的方向上的相对移动，从而抵消弹簧机构进行动作。2.根据权利要求1所述的插入光源，其特征在于，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有一对第一板部以及板结合部，在俯视时，所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧，将第一板部彼此结合，所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方具有第二板部，在俯视时，该第二板部配置为夹在所述一对板部之间，所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结，在所述板结合部与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间设置有所述引导机构。3.根据权利要求1所述的插入光源，其特征在于，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有一对第一板部以及板结合部，在俯视时，所述板结合部设置在所述第一板部的远离磁铁列的一侧，将第一板部彼此结合，所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方具有第二板部，在俯视时，该第二板部配置为夹在所述一对板部之间，所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结，在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧之间设置有所述引导机构。4.根据权利要求1所述的插入光源，其特征在于，在俯视时，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的任意一方具有第一板部，所述第一板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第一连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的任意一方连结，所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的另一方具有第二板部，在俯视时，该第二板部配置为与所述第一板部相对，所述第二板部的靠近磁铁列的一侧经由所述第二连结部与所述第一连结梁、第二连结梁中的另一方连结，在所述第一板部的远离磁铁列的一侧与所述第二板部的远离磁铁列的一侧彼此相对的面之间设置有所述引导机构。5.根据权利要求1至4中任一项所述的插入光源，其特征在于，所述第一连结部和所述第二连结部是通过轴和与轴嵌合的嵌合孔的组合而连结的结构。6.根据权利要求1至5中任一项所述的插入光源，其特征在于，在所述第一弹簧支撑框架和第二弹簧支撑框架中的一方设置有载置部，该载置部载置所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：北村英男，水本真作，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP