【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波元件
本专利技术涉及弹性波元件。
技术介绍
过去,已知以改善电学特性为目的,在将支承基板和压电基板贴合的复合基板设置电极来制作弹性波元件。在此,弹性波元件例如作为便携电话等通信设备中的带通滤波器使用。另外,已知复合基板作为压电基板而使用铌酸锂或钽酸锂,作为支承基板而使用硅或石英、陶瓷等(例如参考特开2006-319679号公报)。
技术实现思路
专利技术要解决的课题但近年来,移动通信中所用的便携终端装置推进小型化、轻量化,并且为了实现高的通信品质而谋求具备更高电学特性的弹性波元件。例如为了减低输入输出信号向相邻信道的泄漏,谋求通频带外的特定频率带中的衰减特性卓越的弹性波元件。本公开鉴于这样的课题而提出,其目的在于,提供电学特性卓越的弹性波元件。用于解决课题的手段本公开的弹性波元件具备IDT电极、第1基板和第2基板。IDT电极具备多个电极指,激振声表面波。第1基板由压电晶体构成,具备上表面和下表面,在下表面直接或间接地接合第2基板。所述IDT电极位于该上表面。并且该第1基板的厚度,小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍定义的声表面波波长λ。第2基板与所述第1基板的下表面接合,由设声阻抗I(MRayl)、横波音速V(m/s)时满足式(1)的材料构成。-0.0085×V+45.75≤I≤-0.0085×V+65.75(1)另外,本公开的弹性波元件具备IDT电极、第1基板和第2基板。IDT电极具备多个电极指,激振声表面波。第1基板由压电晶体构成,具备上表面和下表面,在下表面直接或间接地接合第2基板。所述IDT电极位于该上表面,是小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍 ...
【技术保护点】
1.一种弹性波元件,其特征在于,具备:IDT电极,其具备多个电极指,激振声表面波;第1基板,所述IDT电极位于所述第1基板的上表面,所述第1基板是小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍定义的声表面波波长λ的厚度,由压电晶体构成;和第2基板,其与所述第1基板的下表面直接或间接接合,由在设为声阻抗I(MRayl)、横波音速V(m/s)时满足下述式(1)的材料构成,式(1):‑0.0085×V+45.75≤I≤‑0.0085×V+65.75。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.14 JP 2017-025276;2017.02.14 JP 2017-025271.一种弹性波元件,其特征在于,具备:IDT电极,其具备多个电极指,激振声表面波;第1基板,所述IDT电极位于所述第1基板的上表面,所述第1基板是小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍定义的声表面波波长λ的厚度,由压电晶体构成;和第2基板,其与所述第1基板的下表面直接或间接接合,由在设为声阻抗I(MRayl)、横波音速V(m/s)时满足下述式(1)的材料构成,式(1):-0.0085×V+45.75≤I≤-0.0085×V+65.75。2.根据权利要求1所述的弹性波元件,其特征在于,所述弹性波元件在所述第1基板与所述第2基板之间具备中间层,所述中间层具备第1面和第2面,所述第1面与所述第1基板的下表面接合,由与所述第1基板相比横波音速更慢的材料构成,所述第2基板与所述第1基板以及所述中间层相比,横波音速更快。3.根据权利要求1所述的弹性波元件,其特征在于,所述弹性波元件在所述第1基板与所述第2基板之间具备第1中间层以及第2中间层,所述第1中间层具备第1面和第2面,所述第1面与所述第1基板的下表面接合,由与所述第1基板相比横波音速更快的材料构成,所述第2中间层具备第3面和第4面,所述第3面与所述第2面接合,由与所述第1基板相比横波音速更慢的材料构成,所述第2基板由与所述第1基板以及所述第2中间层相比横波音速更快的材料构成,将所述第1基板、所述第1中间层和所述第2中间层合起来的厚度,是小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍定义的声表面波波长λ的厚度。4.一种弹性波元件,其特征在于,具备:IDT电极,其具备多个电极指,激振声表面波;第1基板,所述IDT电极位于所述第1基板的上表面,所述第1基板是小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍定义的声表面波波长λ的厚度,由压电晶体构成;和第2基板,其与所述第1基板的下表面接合,是由面取向(100)面或(110)面、以及与它们等效的面的Si单晶构成的基板,在从重合的所述第1基板的上表面观察时,相对于弹性波的传播方向,与所述第1基板的上表面平行的所述Si单晶的晶轴以25°~65°、115°~155°、205°~245°以及295°~345°的任一者的角度倾斜。5.根据权利要求1或4所述的弹性波元件,其特征在于,所述第1基板的电阻率为5000Ωcm以上。6.根据权利要求4所述的弹性波元件,其特征在于,在所述第1基板与所述第2基板的接合面,所述压电单晶的晶面与所述Si单晶的晶面直接接触。7.根据权利要求1、4、5、6中任一项所述的弹性波元件,其特征在于,所述第1基板的厚度为0.2λ以上0.8λ以下。8.一种弹性波元件,其特征在于,具备:IDT电极,其具备多个电极指,激振声表面波;第1基板,所述IDT电极位于所述第1基板的上表面,所述第1基板是小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍定义的声表面波波长λ的厚度,由压电晶体构成;中间层,其具备第1面和第2面,所述第1面与所述第1基板的下表面接合,由与所述第1基板相比横波音速更慢的材料构成;和第2基板,其与所述第2面接合,由Si单晶构成。9.根据权利要求2或8所述的弹性波元件,其特征在于,所述中间层由与所述第2基板相比介电常数更小的材料构成。10.根据权利要求2、8、9中任一项所述的弹性波元件,其特征在于,所述中间层由氧化硅构成,其厚度为0.02λ~0.08λ,所述第2基板由面取向(111)的Si单晶构成。11.根据权利要求8所述的弹性波元件,其特征在于,所述中间层由氧化硅构成,其厚度为0.04λ~0.06λ。12.根据权利要求2、8、9、11中任一项所述的弹性波元件,其特征在于,所述中间层由氧化硅构成,其厚度为0.1λ以上,所述第2基板由面取向(100)或(110)的Si单晶构成,若将欧拉角设为则从重合的所述第1基板的上表面观察时,ψ成为-30°~30°、60°~12...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。